| Tesla Batch A34 Summary: | |||||||||||||||||||||||||
| Wafer: A34-04 | Device: | IVS_T01 | IVS_T02 | IVS_T03 | IVS_S04 | IVS_S05 | IVS_S06 | IVS_S07 | IVS_S08 | IVS_S09 | IVS_M10 | IVS_M11 | IVS_M12 | IVS_M13 | CVD_16 | CVD_17 | BOX_22 | BOX_23 | BOX_24 | BOX_25 | MFE_26 | MFE_27 | SCR | ITS_T01 | |
| Criteria: | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vdep Pass | Vdep Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | P-spray Pass | Thickness Pass | Slope Pass | |||||
| 3 Tiles Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Vop Pass | Vop Pass | ||||||||||
| Resistivity Pass | Resistivity Pass | ||||||||||||||||||||||||
| Wafer: A34-06 | Device: | IVS_T01 | IVS_T02 | IVS_T03 | IVS_S04 | IVS_S05 | IVS_S06 | IVS_S07 | IVS_S08 | IVS_S09 | IVS_M10 | IVS_M11 | IVS_M12 | IVS_M13 | CVD_16 | CVD_17 | BOX_22 | BOX_23 | BOX_24 | BOX_25 | MFE_26 | MFE_27 | SCR | ITS | |
| Criteria: | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vdep Pass | Vdep Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | P-spray Pass | Thickness Pass | |||||
| 3 Tiles Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Vop Pass | Vop Pass | ||||||||||
| Resistivity Pass | Resistivity Pass |
| A34-04_IVS01.IV | A34-04_IVS02.IV | A34-04_IVS03.IV | Critera/Quantity: | ||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -9 | -17 | -10 | Slope: | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -70 | -81 | -75 | Slope: | 1.04 | 1.05 | 1.09 | ||
| -10 | -129 | -145 | -140 | Vbd[V]: | -360 | -405 | -300 | ||
| -15 | -181 | -203 | -198 | Iop[nA]: | -508 | -569 | -599 | ||
| -20 | -229 | -256 | -252 | I50[na]: | -487 | -542 | -549 | ||
| -25 | -273 | -305 | -301 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -311 | -347 | -344 | ||||||
| -35 | -346 | -385 | -383 | ||||||
| -40 | -377 | -419 | -418 | ||||||
| -45 | -405 | -450 | -449 | ||||||
| -50 | -434 | -482 | -480 | ||||||
| -55 | -456 | -508 | -505 | ||||||
| -60 | -466 | -519 | -518 | ||||||
| -65 | -470 | -524 | -523 | ||||||
| -70 | -473 | -527 | -527 | ||||||
| -75 | -476 | -530 | -531 | ||||||
| -80 | -478 | -533 | -534 | ||||||
| -85 | -480 | -535 | -538 | ||||||
| -90 | -483 | -538 | -542 | ||||||
| -95 | -485 | -540 | -545 | ||||||
| -100 | -487 | -542 | -549 | ||||||
| -105 | -489 | -545 | -553 | ||||||
| -110 | -491 | -547 | -557 | ||||||
| -115 | -493 | -549 | -561 | ||||||
| -120 | -495 | -552 | -565 | ||||||
| -125 | -497 | -554 | -570 | ||||||
| -130 | -499 | -557 | -575 | ||||||
| -135 | -501 | -560 | -581 | ||||||
| -140 | -503 | -563 | -587 | ||||||
| -145 | -505 | -566 | -593 | ||||||
| -150 | -508 | -569 | -599 | ||||||
| -155 | -510 | -573 | -606 | ||||||
| -160 | -512 | -577 | -616 | ||||||
| -165 | -515 | -580 | -624 | ||||||
| -170 | -517 | -584 | -635 | ||||||
| -175 | -520 | -588 | -646 | ||||||
| -180 | -522 | -592 | -658 | ||||||
| -185 | -525 | -597 | -673 | ||||||
| -190 | -528 | -601 | -688 | ||||||
| -195 | -531 | -606 | -705 | ||||||
| -200 | -534 | -612 | -722 | ||||||
| -205 | -537 | -618 | -738 | ||||||
| -210 | -540 | -623 | -754 | ||||||
| -215 | -544 | -629 | -770 | ||||||
| -220 | -547 | -636 | -784 | ||||||
| -225 | -551 | -642 | -797 | ||||||
| -230 | -555 | -650 | -809 | ||||||
| -235 | -559 | -657 | -818 | ||||||
| -240 | -564 | -666 | -829 | ||||||
| -245 | -569 | -675 | -840 | ||||||
| -250 | -574 | -684 | -853 | ||||||
| -255 | -579 | -694 | -871 | ||||||
| -260 | -585 | -703 | -891 | ||||||
| -265 | -592 | -713 | -918 | ||||||
| -270 | -598 | -722 | -954 | ||||||
| -275 | -605 | -731 | -1002 | ||||||
| -280 | -614 | -739 | -1066 | ||||||
| -285 | -621 | -747 | -1157 | ||||||
| -290 | -629 | -755 | -1287 | ||||||
| -295 | -637 | -763 | -1462 | ||||||
| -300 | -646 | -770 | -1696 | ||||||
| -305 | -655 | -777 | -2006 | ||||||
| -310 | -667 | -785 | -2389 | ||||||
| -315 | -679 | -793 | -2915 | ||||||
| -320 | -685 | -800 | -3588 | ||||||
| -325 | -705 | -808 | -4435 | ||||||
| -330 | -733 | -817 | -5488 | ||||||
| -335 | -778 | -825 | -6599 | ||||||
| -340 | -858 | -834 | -8010 | ||||||
| -345 | -984 | -843 | -9638 | ||||||
| -350 | -1160 | -853 | -11327 | ||||||
| -355 | -1396 | -865 | |||||||
| -360 | -1686 | -879 | |||||||
| -365 | -2030 | -896 | |||||||
| -370 | -2433 | -916 | |||||||
| -375 | -2900 | -941 | |||||||
| -380 | -3360 | -981 | |||||||
| -385 | -3883 | -1024 | |||||||
| -390 | -4445 | -1099 | |||||||
| -395 | -5022 | -1248 | |||||||
| -400 | -5623 | -1460 | |||||||
| -405 | -6228 | -1878 | |||||||
| -410 | -6925 | -2522 | |||||||
| -415 | -7660 | -3377 | |||||||
| -420 | -8448 | -4533 | |||||||
| -425 | -9242 | -5986 | |||||||
| -430 | -10129 | -7586 | |||||||
| -435 | -11075 | -9676 | |||||||
| -440 | -12025 | -11818 | |||||||
| -445 | |||||||||
| -450 | |||||||||
| -455 | |||||||||
| -460 | |||||||||
| -465 | |||||||||
| -470 | |||||||||
| -475 | |||||||||
| -480 | |||||||||
| -485 | |||||||||
| -490 | |||||||||
| -495 | |||||||||
| -500 |
| A34-04_IVS04.IV | A34-04_IVS05.IV | A34-04_IVS06.IV | A34-04_IVS07.IV | A34-04_IVS08.IV | A34-04_IVS09.IV | Critera/Quantity: | |||||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -0.747261 | -0.756695 | -0.868507 | -1 | -1 | -1 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -5.116336 | -5.061008 | -5.317744 | -4 | -5 | -5 | Slope: | 1.29 | 1.07 | 1.12 | 1.08 | 1.06 | 1.07 | ||
| -10 | -9.419127 | -9.318697 | -9.702766 | -8 | -9 | -10 | Vbd[V]: | -250 | -405 | -350 | -430 | -445 | -425 | ||
| -15 | -13.307294 | -13.170344 | -13.667625 | -12 | -13 | -14 | Iop[nA]: | -53 | -40 | -45 | -33 | -40 | -41 | ||
| -20 | -16.83513 | -16.697571 | -17.30989 | -15 | -16 | -17 | I50[nA]: | -41 | -37 | -40 | -31 | -37 | -38 | ||
| -25 | -20.081152 | -19.942376 | -20.691646 | -17 | -20 | -20 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -22.947367 | -22.825633 | -23.750808 | -20 | -23 | -23 | |||||||||
| -35 | -25.490988 | -25.378384 | -26.503809 | -22 | -25 | -26 | |||||||||
| -40 | -27.739406 | -27.658451 | -28.909262 | -24 | -28 | -28 | |||||||||
| -45 | -29.749224 | -29.782701 | -31.071858 | -26 | -30 | -31 | |||||||||
| -50 | -31.811999 | -31.877734 | -33.2868 | -27 | -32 | -33 | |||||||||
| -55 | -33.312972 | -33.37262 | -34.723253 | -28 | -34 | -34 | |||||||||
| -60 | -34.201625 | -34.062242 | -35.490175 | -28 | -35 | -35 | |||||||||
| -65 | -34.900984 | -34.568653 | -36.09945 | -29 | -35 | -35 | |||||||||
| -70 | -35.677036 | -35.022718 | -36.677078 | -29 | -35 | -36 | |||||||||
| -75 | -36.641164 | -35.434786 | -37.22244 | -30 | -36 | -36 | |||||||||
| -80 | -37.659465 | -35.825551 | -37.755027 | -30 | -36 | -37 | |||||||||
| -85 | -38.58525 | -36.222401 | -38.272395 | -30 | -37 | -37 | |||||||||
| -90 | -39.447731 | -36.588821 | -38.775759 | -31 | -37 | -37 | |||||||||
| -95 | -40.286474 | -36.929065 | -39.271822 | -31 | -37 | -38 | |||||||||
| -100 | -41.144695 | -37.244354 | -39.765456 | -31 | -37 | -38 | |||||||||
| -105 | -41.976133 | -37.548079 | -40.254215 | -31 | -38 | -38 | |||||||||
| -110 | -42.885483 | -37.846934 | -40.750888 | -32 | -38 | -38 | |||||||||
| -115 | -43.855091 | -38.134225 | -41.245122 | -32 | -38 | -39 | |||||||||
| -120 | -44.881912 | -38.414821 | -41.734491 | -32 | -38 | -39 | |||||||||
| -125 | -45.98786 | -38.686896 | -42.223254 | -32 | -39 | -39 | |||||||||
| -130 | -47.19728 | -38.958362 | -42.693144 | -33 | -39 | -40 | |||||||||
| -135 | -48.510787 | -39.221304 | -43.159993 | -33 | -39 | -40 | |||||||||
| -140 | -49.897941 | -39.481205 | -43.628058 | -33 | -39 | -40 | |||||||||
| -145 | -51.308829 | -39.742326 | -44.086993 | -33 | -39 | -40 | |||||||||
| -150 | -52.946755 | -39.997358 | -44.571492 | -33 | -40 | -41 | |||||||||
| -155 | -54.47451 | -40.263344 | -45.048076 | -34 | -40 | -41 | |||||||||
| -160 | -56.288335 | -40.515941 | -45.532575 | -34 | -40 | -41 | |||||||||
| -165 | -58.114339 | -40.771582 | -46.029249 | -34 | -40 | -41 | |||||||||
| -170 | -60.020076 | -41.034524 | -46.552096 | -34 | -41 | -42 | |||||||||
| -175 | -61.658002 | -41.296251 | -47.062765 | -35 | -41 | -42 | |||||||||
| -180 | -63.922243 | -41.557371 | -47.591088 | -35 | -41 | -42 | |||||||||
| -185 | -65.261313 | -41.831272 | -48.123674 | -35 | -41 | -42 | |||||||||
| -190 | -67.489034 | -42.114908 | -48.661127 | -35 | -41 | -42 | |||||||||
| -195 | -70.112388 | -42.401593 | -49.197364 | -35 | -42 | -43 | |||||||||
| -200 | -72.315765 | -42.705924 | -49.780465 | -36 | -42 | -43 | |||||||||
| -205 | -74.43393 | -43.024258 | -50.366005 | -36 | -42 | -43 | |||||||||
| -210 | -75.687779 | -43.362677 | -50.962496 | -36 | -42 | -44 | |||||||||
| -215 | -79.126755 | -43.729705 | -51.610729 | -36 | -43 | -44 | |||||||||
| -220 | -81.470118 | -44.121687 | -52.282697 | -36 | -43 | -44 | |||||||||
| -225 | -83.064834 | -44.562362 | -52.996054 | -37 | -43 | -45 | |||||||||
| -230 | -85.103867 | -45.052336 | -53.773323 | -37 | -43 | -45 | |||||||||
| -235 | -89.096725 | -45.598923 | -54.61998 | -37 | -44 | -45 | |||||||||
| -240 | -91.756598 | -46.196633 | -55.5342 | -37 | -44 | -46 | |||||||||
| -245 | -94.623423 | -46.877121 | -56.57441 | -37 | -45 | -46 | |||||||||
| -250 | -97.313734 | -47.622131 | -57.697403 | -37 | -45 | -47 | |||||||||
| -255 | -100.764879 | -48.443834 | -58.918388 | -38 | -45 | -47 | |||||||||
| -260 | -103.284757 | -49.33127 | -60.302497 | -38 | -46 | -48 | |||||||||
| -265 | -105.841162 | -50.262529 | -61.688432 | -38 | -46 | -49 | |||||||||
| -270 | -110.241827 | -51.206573 | -63.24662 | -38 | -47 | -49 | |||||||||
| -275 | -113.145171 | -52.140877 | -64.810898 | -38 | -47 | -50 | |||||||||
| -280 | -115.531142 | -53.036227 | -66.448214 | -39 | -48 | -51 | |||||||||
| -285 | -119.724863 | -53.8628 | -68.07944 | -39 | -48 | -52 | |||||||||
| -290 | -121.94041 | -54.616935 | -69.716756 | -39 | -48 | -52 | |||||||||
| -295 | -125.050698 | -55.283428 | -71.347982 | -39 | -49 | -53 | |||||||||
| -300 | -129.19573 | -55.869574 | -72.960949 | -40 | -49 | -54 | |||||||||
| -305 | -132.865989 | -56.389376 | -74.762609 | -40 | -49 | -54 | |||||||||
| -310 | -135.203272 | -56.838572 | -76.52166 | -40 | -49 | -55 | |||||||||
| -315 | -137.723158 | -57.247598 | -78.548515 | -40 | -50 | -55 | |||||||||
| -320 | -140.7178 | -57.613406 | -80.49625 | -40 | -50 | -55 | |||||||||
| -325 | -143.870695 | -57.951215 | -82.675287 | -41 | -50 | -56 | |||||||||
| -330 | -146.384484 | -58.270159 | -85.170816 | -41 | -50 | -56 | |||||||||
| -335 | -147.03577 | -58.575709 | -87.556796 | -41 | -51 | -56 | |||||||||
| -340 | -150.639072 | -58.869695 | -90.301886 | -41 | -51 | -57 | |||||||||
| -345 | -152.732884 | -59.15881 | -93.436522 | -42 | -51 | -57 | |||||||||
| -350 | -156.470118 | -59.44306 | -97.045922 | -42 | -51 | -57 | |||||||||
| -355 | -159.324755 | -59.720002 | -101.337021 | -42 | -52 | -58 | |||||||||
| -360 | -160.04908 | -60.003032 | -106.011587 | -42 | -52 | -58 | |||||||||
| -365 | -163.877585 | -60.282413 | -110.893105 | -43 | -52 | -58 | |||||||||
| -370 | -165.855768 | -60.446752 | -117.868425 | -43 | -52 | -58 | |||||||||
| -375 | -167.718287 | -60.732828 | -127.290594 | -43 | -53 | -59 | |||||||||
| -380 | -171.972858 | -61.024988 | -140.803016 | -43 | -53 | -59 | |||||||||
| -385 | -172.605876 | -61.402361 | -162.575047 | -44 | -53 | -59 | |||||||||
| -390 | -176.434399 | -62.193629 | -205.741722 | -44 | -53 | -59 | |||||||||
| -395 | -179.264696 | -64.482219 | -266.371086 | -44 | -54 | -60 | |||||||||
| -400 | -181.25504 | -70.958435 | -378.60932 | -44 | -54 | -60 | |||||||||
| -405 | -182.953233 | -87.848957 | -533.868188 | -45 | -54.047834 | -61 | |||||||||
| -410 | -187.286931 | -124.831584 | -46 | -54.30834 | -62 | ||||||||||
| -415 | -191.681507 | -201.621048 | -48 | -54.585286 | -65 | ||||||||||
| -420 | -197.676896 | -344.177043 | -54 | -54.91762 | -73 | ||||||||||
| -425 | -210.270212 | -573.851555 | -64 | -55.559764 | -89 | ||||||||||
| -430 | -244.824259 | -87 | -57.436892 | -120 | |||||||||||
| -435 | -343.288375 | -159 | -61.499747 | -178 | |||||||||||
| -440 | -543.065154 | -429 | -70.994959 | -283 | |||||||||||
| -445 | -90.496659 | -467 | |||||||||||||
| -450 | -129.926126 | ||||||||||||||
| -455 | -203.142717 | ||||||||||||||
| -460 | -339.052037 | ||||||||||||||
| -465 | -581.910327 | ||||||||||||||
| -470 | |||||||||||||||
| -475 | |||||||||||||||
| -480 | |||||||||||||||
| -485 | |||||||||||||||
| -490 | |||||||||||||||
| -495 | |||||||||||||||
| -500 |
| A34-04_IVS10.IV | A34-04_IVS11.IV | A34-04_IVS12.IV | A34-04_IVS13.IV | Critera/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -0.2 | -0.2 | -0.3 | -0.1 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -1.3 | -1.2 | -1.5 | -0.8 | Slope: | 1.10 | 1.09 | 1.12 | 1.11 | ||
| -10 | -2.4 | -2.3 | -2.7 | -1.5 | Vbd[V]: | -500 | -500 | -475 | -480 | ||
| -15 | -3.4 | -3.2 | -3.8 | -2.2 | Iop[nA]: | -11.9 | -10.4 | -13.2 | -7.4 | ||
| -20 | -4.3 | -4.1 | -4.8 | -2.7 | I50[nA]: | -10.8 | -9.5 | -11.8 | -6.7 | ||
| -25 | -5.2 | -4.9 | -5.7 | -3.3 | (Vop[V]}: | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -6.0 | -5.6 | -6.5 | -3.8 | |||||||
| -35 | -6.7 | -6.3 | -7.3 | -4.2 | |||||||
| -40 | -7.4 | -6.9 | -8.0 | -4.6 | |||||||
| -45 | -8.0 | -7.4 | -8.6 | -5.0 | |||||||
| -50 | -8.5 | -8.0 | -9.2 | -5.4 | |||||||
| -55 | -9.1 | -8.2 | -9.8 | -5.7 | |||||||
| -60 | -9.5 | -8.4 | -10.1 | -5.8 | |||||||
| -65 | -9.7 | -8.6 | -10.4 | -6.0 | |||||||
| -70 | -9.9 | -8.8 | -10.6 | -6.1 | |||||||
| -75 | -10.1 | -8.9 | -10.8 | -6.2 | |||||||
| -80 | -10.2 | -9.0 | -11.0 | -6.3 | |||||||
| -85 | -10.4 | -9.2 | -11.2 | -6.4 | |||||||
| -90 | -10.6 | -9.3 | -11.4 | -6.5 | |||||||
| -95 | -10.7 | -9.4 | -11.6 | -6.6 | |||||||
| -100 | -10.8 | -9.5 | -11.8 | -6.7 | |||||||
| -105 | -11.0 | -9.6 | -11.9 | -6.8 | |||||||
| -110 | -11.1 | -9.7 | -12.1 | -6.9 | |||||||
| -115 | -11.2 | -9.8 | -12.2 | -6.9 | |||||||
| -120 | -11.3 | -9.9 | -12.4 | -7.0 | |||||||
| -125 | -11.4 | -10.0 | -12.5 | -7.1 | |||||||
| -130 | -11.5 | -10.0 | -12.6 | -7.2 | |||||||
| -135 | -11.6 | -10.1 | -12.8 | -7.2 | |||||||
| -140 | -11.7 | -10.2 | -12.9 | -7.3 | |||||||
| -145 | -11.8 | -10.3 | -13.0 | -7.4 | |||||||
| -150 | -11.9 | -10.4 | -13.2 | -7.4 | |||||||
| -155 | -12.0 | -10.4 | -13.3 | -7.5 | |||||||
| -160 | -12.1 | -10.5 | -13.4 | -7.6 | |||||||
| -165 | -12.2 | -10.6 | -13.6 | -7.6 | |||||||
| -170 | -12.3 | -10.7 | -13.7 | -7.7 | |||||||
| -175 | -12.4 | -10.7 | -13.8 | -7.7 | |||||||
| -180 | -12.5 | -10.8 | -13.9 | -7.8 | |||||||
| -185 | -12.6 | -10.9 | -14.1 | -7.9 | |||||||
| -190 | -12.7 | -11.0 | -14.2 | -7.9 | |||||||
| -195 | -12.8 | -11.0 | -14.3 | -8.0 | |||||||
| -200 | -12.9 | -11.1 | -14.4 | -8.0 | |||||||
| -205 | -13.0 | -11.2 | -14.6 | -8.1 | |||||||
| -210 | -13.1 | -11.3 | -14.7 | -8.1 | |||||||
| -215 | -13.2 | -11.4 | -14.8 | -8.2 | |||||||
| -220 | -13.3 | -11.5 | -14.9 | -8.3 | |||||||
| -225 | -13.4 | -11.6 | -15.0 | -8.3 | |||||||
| -230 | -13.5 | -11.7 | -15.1 | -8.4 | |||||||
| -235 | -13.6 | -11.8 | -15.2 | -8.4 | |||||||
| -240 | -13.8 | -11.9 | -15.4 | -8.5 | |||||||
| -245 | -13.9 | -12.0 | -15.5 | -8.5 | |||||||
| -250 | -14.1 | -12.2 | -15.6 | -8.6 | |||||||
| -255 | -14.2 | -12.3 | -15.7 | -8.6 | |||||||
| -260 | -14.4 | -12.4 | -15.8 | -8.7 | |||||||
| -265 | -14.6 | -12.6 | -15.9 | -8.7 | |||||||
| -270 | -14.9 | -12.7 | -16.0 | -8.8 | |||||||
| -275 | -15.1 | -12.9 | -16.1 | -8.8 | |||||||
| -280 | -15.3 | -13.0 | -16.2 | -8.9 | |||||||
| -285 | -15.5 | -13.2 | -16.3 | -8.9 | |||||||
| -290 | -15.8 | -13.3 | -16.5 | -9.0 | |||||||
| -295 | -16.0 | -13.4 | -16.6 | -9.0 | |||||||
| -300 | -16.1 | -13.5 | -16.7 | -9.1 | |||||||
| -305 | -16.3 | -13.6 | -16.8 | -9.2 | |||||||
| -310 | -16.5 | -13.6 | -16.9 | -9.2 | |||||||
| -315 | -16.6 | -13.7 | -17.0 | -9.3 | |||||||
| -320 | -16.7 | -13.8 | -17.1 | -9.3 | |||||||
| -325 | -16.8 | -13.9 | -17.2 | -9.4 | |||||||
| -330 | -16.9 | -13.9 | -17.4 | -9.4 | |||||||
| -335 | -17.0 | -14.0 | -17.5 | -9.5 | |||||||
| -340 | -17.1 | -14.1 | -17.6 | -9.5 | |||||||
| -345 | -17.2 | -14.1 | -17.7 | -9.6 | |||||||
| -350 | -17.3 | -14.2 | -17.8 | -9.6 | |||||||
| -355 | -17.4 | -14.3 | -18.0 | -9.7 | |||||||
| -360 | -17.5 | -14.3 | -18.1 | -9.7 | |||||||
| -365 | -17.5 | -14.4 | -18.2 | -9.8 | |||||||
| -370 | -17.6 | -14.5 | -18.4 | -9.8 | |||||||
| -375 | -17.7 | -14.5 | -18.5 | -9.9 | |||||||
| -380 | -17.8 | -14.6 | -18.6 | -9.9 | |||||||
| -385 | -17.9 | -14.7 | -18.8 | -10.0 | |||||||
| -390 | -17.9 | -14.7 | -18.9 | -10.1 | |||||||
| -395 | -18.0 | -14.8 | -19.0 | -10.1 | |||||||
| -400 | -18.1 | -14.9 | -19.2 | -10.2 | |||||||
| -405 | -18.2 | -14.9 | -19.3 | -10.2 | |||||||
| -410 | -18.3 | -15.0 | -19.5 | -10.3 | |||||||
| -415 | -18.4 | -15.1 | -19.6 | -10.4 | |||||||
| -420 | -18.4 | -15.1 | -19.8 | -10.4 | |||||||
| -425 | -18.5 | -15.2 | -19.9 | -10.5 | |||||||
| -430 | -18.6 | -15.3 | -20.0 | -10.5 | |||||||
| -435 | -18.7 | -15.3 | -20.2 | -10.6 | |||||||
| -440 | -18.8 | -15.4 | -20.4 | -10.7 | |||||||
| -445 | -18.9 | -15.5 | -20.5 | -10.7 | |||||||
| -450 | -19.0 | -15.5 | -20.7 | -10.8 | |||||||
| -455 | -19.2 | -15.6 | -20.9 | -10.9 | |||||||
| -460 | -19.4 | -15.7 | -21.1 | -11.2 | |||||||
| -465 | -19.6 | -15.8 | -21.4 | -11.9 | |||||||
| -470 | -19.9 | -15.8 | -21.9 | -13.6 | |||||||
| -475 | -20.1 | -15.9 | -23.3 | -17.1 | |||||||
| -480 | -20.3 | -16.1 | -26.4 | -24.4 | |||||||
| -485 | -20.6 | -16.3 | -32.5 | -38.5 | |||||||
| -490 | -21.0 | -16.5 | -43.6 | -60.6 | |||||||
| -495 | -21.1 | -16.7 | -62.4 | -105.1 | |||||||
| -500 | -21.4 | -16.8 | -96.2 |
| A34-04_IVD16.IV | A34-04_IVD17.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd[V] | -500 | -500 | ||
| 0 | -0.1 | -0.1 | Iop[nA]: | -8.90 | -9.44 | ||
| -5 | -0.8 | -0.7 | (Vop[V]): | -150 | -150 | ||
| -10 | -1.5 | -1.4 | |||||
| -15 | -2.3 | -2.1 | |||||
| -20 | -2.9 | -2.8 | |||||
| -25 | -3.6 | -3.4 | |||||
| -30 | -4.2 | -4.0 | |||||
| -35 | -4.8 | -4.6 | |||||
| -40 | -5.3 | -5.1 | |||||
| -45 | -5.8 | -5.6 | |||||
| -50 | -6.2 | -6.1 | |||||
| -55 | -6.6 | -6.5 | |||||
| -60 | -6.9 | -6.9 | |||||
| -65 | -7.1 | -7.2 | |||||
| -70 | -7.3 | -7.4 | |||||
| -75 | -7.4 | -7.6 | |||||
| -80 | -7.6 | -7.8 | |||||
| -85 | -7.7 | -7.9 | |||||
| -90 | -7.8 | -8.1 | |||||
| -95 | -7.9 | -8.2 | |||||
| -100 | -8.1 | -8.4 | |||||
| -105 | -8.2 | -8.5 | |||||
| -110 | -8.2 | -8.6 | |||||
| -115 | -8.3 | -8.7 | |||||
| -120 | -8.4 | -8.8 | |||||
| -125 | -8.5 | -9.0 | |||||
| -130 | -8.6 | -9.1 | |||||
| -135 | -8.7 | -9.2 | |||||
| -140 | -8.8 | -9.3 | |||||
| -145 | -8.8 | -9.3 | |||||
| -150 | -8.9 | -9.4 | |||||
| -155 | -9.0 | -9.5 | |||||
| -160 | -9.0 | -9.6 | |||||
| -165 | -9.1 | -9.7 | |||||
| -170 | -9.2 | -9.8 | |||||
| -175 | -9.2 | -9.9 | |||||
| -180 | -9.3 | -10.0 | |||||
| -185 | -9.4 | -10.0 | |||||
| -190 | -9.4 | -10.1 | |||||
| -195 | -9.5 | -10.2 | |||||
| -200 | -9.6 | -10.3 | |||||
| -205 | -9.6 | -10.4 | |||||
| -210 | -9.7 | -10.4 | |||||
| -215 | -9.7 | -10.5 | |||||
| -220 | -9.8 | -10.6 | |||||
| -225 | -9.9 | -10.7 | |||||
| -230 | -9.9 | -10.7 | |||||
| -235 | -10.0 | -10.8 | |||||
| -240 | -10.0 | -10.9 | |||||
| -245 | -10.1 | -10.9 | |||||
| -250 | -10.1 | -11.0 | |||||
| -255 | -10.2 | -11.1 | |||||
| -260 | -10.2 | -11.1 | |||||
| -265 | -10.3 | -11.2 | |||||
| -270 | -10.4 | -11.3 | |||||
| -275 | -10.4 | -11.4 | |||||
| -280 | -10.5 | -11.4 | |||||
| -285 | -10.5 | -11.5 | |||||
| -290 | -10.6 | -11.6 | |||||
| -295 | -10.6 | -11.6 | |||||
| -300 | -10.7 | -11.7 | |||||
| -305 | -10.7 | -11.8 | |||||
| -310 | -10.8 | -11.8 | |||||
| -315 | -10.8 | -11.9 | |||||
| -320 | -10.9 | -12.0 | |||||
| -325 | -10.9 | -12.0 | |||||
| -330 | -11.0 | -12.1 | |||||
| -335 | -11.0 | -12.2 | |||||
| -340 | -11.1 | -12.2 | |||||
| -345 | -11.2 | -12.3 | |||||
| -350 | -11.2 | -12.3 | |||||
| -355 | -11.2 | -12.4 | |||||
| -360 | -11.3 | -12.5 | |||||
| -365 | -11.4 | -12.5 | |||||
| -370 | -11.4 | -12.6 | |||||
| -375 | -11.5 | -12.7 | |||||
| -380 | -11.5 | -12.7 | |||||
| -385 | -11.5 | -12.8 | |||||
| -390 | -11.6 | -12.9 | |||||
| -395 | -11.6 | -12.9 | |||||
| -400 | -11.7 | -13.0 | |||||
| -405 | -11.7 | -13.0 | |||||
| -410 | -11.8 | -13.1 | |||||
| -415 | -11.8 | -13.2 | |||||
| -420 | -11.9 | -13.2 | |||||
| -425 | -11.9 | -13.3 | |||||
| -430 | -12.0 | -13.3 | |||||
| -435 | -12.0 | -13.4 | |||||
| -440 | -12.1 | -13.5 | |||||
| -445 | -12.1 | -13.5 | |||||
| -450 | -12.2 | -13.6 | |||||
| -455 | -12.2 | -13.6 | |||||
| -460 | -12.3 | -13.7 | |||||
| -465 | -12.4 | -13.7 | |||||
| -470 | -12.5 | -13.8 | |||||
| -475 | -12.6 | -13.9 | |||||
| -480 | -12.8 | -13.9 | |||||
| -485 | -12.9 | -14.0 | |||||
| -490 | -13.1 | -14.1 | |||||
| -495 | -13.3 | -14.2 | |||||
| -500 | -13.5 | -14.4 |
| A34-04_CVD16.CV | A34-04_CVD17.CV | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Vdep[V] | Pass | Pass | |||
| 0 | 0.000249 | 63.3605 | 0.000239 | 64.6844 | Vop[V] | Pass | Pass | |||
| -5 | 0.005259 | 13.7895 | 0.004964 | 14.193 | Resistivity | Pass | Pass | |||
| -10 | 0.009611 | 10.2001 | 0.009113 | 10.4752 | Vdep[V]: | -80 | -90 | |||
| -15 | 0.013584 | 8.57995 | 0.01291 | 8.80119 | Vop [V]: | -150 | -150 | |||
| -20 | 0.017256 | 7.61247 | 0.016435 | 7.80026 | Resistivity[kOhmcm]: | 2.73 | 2.42 | |||
| -25 | 0.02072 | 6.94718 | 0.019766 | 7.11276 | Cdep[pF] | 3.19 | 3.09 | |||
| -30 | 0.023996 | 6.45545 | 0.022932 | 6.6036 | Cmin[pF] | 2.87 | 2.33 | |||
| -35 | 0.027126 | 6.07162 | 0.02598 | 6.20412 | (Thickness[um]): | 254.5 | 254.5 | |||
| -40 | 0.030004 | 5.77314 | 0.028834 | 5.8891 | (Vbd[V]): | -500 | -500 | |||
| -45 | 0.032659 | 5.53346 | 0.031495 | 5.6348 | ||||||
| -50 | 0.034921 | 5.35123 | 0.03392 | 5.42962 | ||||||
| -55 | 0.036707 | 5.21943 | 0.035988 | 5.27131 | ||||||
| -60 | 0.037794 | 5.14387 | 0.037607 | 5.15665 | ||||||
| -65 | 0.03841 | 5.10242 | 0.038597 | 5.09006 | ||||||
| -70 | 0.038881 | 5.07141 | 0.039138 | 5.05473 | ||||||
| -75 | 0.064094 | 3.94996 | 0.03956 | 5.0277 | ||||||
| -80 | 0.097994 | 3.19448 | 0.058639 | 4.12959 | ||||||
| -85 | 0.101072 | 3.14547 | 0.099635 | 3.16807 | ||||||
| -90 | 0.103386 | 3.11006 | 0.104581 | 3.09224 | ||||||
| -95 | 0.105385 | 3.08042 | 0.117117 | 2.92207 | ||||||
| -100 | 0.107084 | 3.05589 | 0.151378 | 2.57021 | ||||||
| -105 | 0.108486 | 3.03608 | 0.162098 | 2.48377 | ||||||
| -110 | 0.109509 | 3.02187 | 0.165982 | 2.45454 | ||||||
| -115 | 0.110621 | 3.00664 | 0.167579 | 2.44281 | ||||||
| -120 | 0.112119 | 2.98649 | 0.169355 | 2.42997 | ||||||
| -125 | 0.113362 | 2.97007 | 0.171322 | 2.41598 | ||||||
| -130 | 0.114279 | 2.95813 | 0.172738 | 2.40606 | ||||||
| -135 | 0.114935 | 2.94967 | 0.174169 | 2.39615 | ||||||
| -140 | 0.115903 | 2.93733 | 0.175161 | 2.38936 | ||||||
| -145 | 0.116295 | 2.93238 | 0.176417 | 2.38084 | ||||||
| -150 | 0.116834 | 2.9256 | 0.177566 | 2.37312 | ||||||
| -155 | 0.117227 | 2.9207 | 0.178284 | 2.36834 | ||||||
| -160 | 0.117456 | 2.91785 | 0.179209 | 2.36222 | ||||||
| -165 | 0.11769 | 2.91495 | 0.179916 | 2.35757 | ||||||
| -170 | 0.11842 | 2.90594 | 0.181236 | 2.34897 | ||||||
| -175 | 0.118678 | 2.90278 | 0.181576 | 2.34677 | ||||||
| -180 | 0.119528 | 2.89245 | 0.182173 | 2.34292 | ||||||
| -185 | 0.120177 | 2.88463 | 0.182852 | 2.33857 | ||||||
| -190 | 0.120813 | 2.87702 | 0.183286 | 2.3358 | ||||||
| -195 | 0.120881 | 2.87621 | 0.183639 | 2.33355 | ||||||
| -200 | 0.121822 | 2.86508 | 0.184117 | 2.33052 |
| A34-04_BOX22.IV | A34-04_BOX23.IV | Criteria/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd[V] | Pass | Pass | ||
| 0 | 0.000 | -0.000925 | Vbd[V]: | 100 | 100 | ||||
| 2 | 0.000 | -0.00028 | |||||||
| 4 | 0.000 | -0.000073 | |||||||
| 6 | 0.001 | 0.000189 | |||||||
| 8 | 0.001 | 0.000225 | |||||||
| 10 | 0.001 | 0.000408 | |||||||
| 12 | 0.001 | 0.000578 | |||||||
| 14 | 0.001 | 0.000706 | |||||||
| 16 | 0.001 | 0.00084 | |||||||
| 18 | 0.001 | 0.00095 | |||||||
| 20 | 0.001 | 0.001077 | |||||||
| 22 | 0.001 | 0.001284 | |||||||
| 24 | 0.001 | 0.001455 | |||||||
| 26 | 0.002 | 0.001607 | |||||||
| 28 | 0.002 | 0.001777 | |||||||
| 30 | 0.002 | 0.002009 | |||||||
| 32 | 0.002 | 0.002149 | |||||||
| 34 | 0.002 | 0.002319 | |||||||
| 36 | 0.002 | 0.002629 | |||||||
| 38 | 0.002 | 0.002733 | |||||||
| 40 | 0.002 | 0.002916 | |||||||
| 42 | 0.003 | 0.003062 | |||||||
| 44 | 0.003 | 0.003189 | |||||||
| 46 | 0.003 | 0.003329 | |||||||
| 48 | 0.003 | 0.003402 | |||||||
| 50 | 0.003 | 0.003445 | |||||||
| 52 | 0.003 | 0.003597 | |||||||
| 54 | 0.003 | 0.003664 | |||||||
| 56 | 0.003 | 0.00378 | |||||||
| 58 | 0.003 | 0.00378 | |||||||
| 60 | 0.003 | 0.003914 | |||||||
| 62 | 0.003 | 0.003926 | |||||||
| 64 | 0.003 | 0.004023 | |||||||
| 66 | 0.003 | 0.004078 | |||||||
| 68 | 0.003 | 0.004127 | |||||||
| 70 | 0.003 | 0.004133 | |||||||
| 72 | 0.003 | 0.0042 | |||||||
| 74 | 0.003 | 0.004218 | |||||||
| 76 | 0.003 | 0.004224 | |||||||
| 78 | 0.004 | 0.004267 | |||||||
| 80 | 0.004 | 0.00434 | |||||||
| 82 | 0.004 | 0.004273 | |||||||
| 84 | 0.004 | 0.004297 | |||||||
| 86 | 0.004 | 0.004358 | |||||||
| 88 | 0.004 | 0.004352 | |||||||
| 90 | 0.004 | 0.004425 | |||||||
| 92 | 0.004 | 0.004388 | |||||||
| 94 | 0.005 | 0.004778 | |||||||
| 96 | 0.005 | 0.004815 | |||||||
| 98 | 0.005 | 0.00493 | |||||||
| 100 | 0.007 | 0.005222 |
| A34-04_COX22.CV | A34-04_COX23.CV | A34-04_COX24.CV | A34-04_COX25.CV | Criteria/Quantity: | ||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Cox [pF]: | 281.6 | 284.6 | 278.1 | 280.7 | |
| 0 | 281.56999 | 284.637008 | 278.05 | 280.734991 | Cmin [pF]: | 6.8 | 7.8 | 1.8 | 1.8 | |
| -2 | 28.0291 | 169.004005 | 13.3413 | 11.573 | CFB [pF]: | 48.5 | 48.6 | 48.4 | 48.4 | |
| -4 | 8.37194 | 11.179 | 4.98348 | 5.02409 | VFB [V]: | 2 | 4 | 2 | 2 | |
| -6 | 7.16471 | 8.51509 | 3.85983 | 3.90236 | (Vdep[V]): | -80 | -80 | -80 | -80 | |
| -8 | 6.88287 | 8.42203 | 3.34613 | 3.37626 | CFB [pF]: | 50.9 | 51.0 | 50.8 | 50.9 | |
| -10 | 6.82137 | 8.39318 | 3.03434 | 3.05693 | VFB [V]: | 2 | 4 | 2 | 2 | |
| -12 | 6.82572 | 8.21465 | 2.8219 | 2.8359 | (Vdep[V]): | -90 | -90 | -90 | -90 | |
| -14 | 6.82957 | 8.36757 | 2.66341 | 2.67228 | (Thickness[um]): | 254.5 | 254.5 | 254.5 | 254.5 | |
| -16 | 6.72375 | 8.30054 | 2.53954 | 2.54481 | (T[C]): | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| -18 | 6.93301 | 8.20729 | 2.4418 | 2.44224 | ||||||
| -20 | 6.82489 | 8.36553 | 2.36061 | 2.35647 | ||||||
| -22 | 6.78221 | 8.32471 | 2.28824 | 2.28309 | ||||||
| -24 | 6.79591 | 8.24152 | 2.22824 | 2.21901 | ||||||
| -26 | 6.80966 | 8.30081 | 2.1765 | 2.16571 | ||||||
| -28 | 6.75516 | 8.32389 | 2.12892 | 2.1163 | ||||||
| -30 | 6.84005 | 8.26678 | 2.08764 | 2.07406 | ||||||
| -32 | 6.86535 | 7.99415 | 2.04798 | 2.03053 | ||||||
| -34 | 6.58449 | 8.1414 | 2.01479 | 1.99576 | ||||||
| -36 | 6.75231 | 7.92082 | 1.9847 | 1.96497 | ||||||
| -38 | 6.59318 | 8.1436 | 1.95592 | 1.93707 | ||||||
| -40 | 6.52165 | 7.92654 | 1.92935 | 1.91105 | ||||||
| -42 | 6.77247 | 7.84165 | 1.90504 | 1.88623 | ||||||
| -44 | 6.63696 | 8.15268 | 1.88624 | 1.86545 | ||||||
| -46 | 6.57108 | 7.9521 | 1.86374 | 1.84636 | ||||||
| -48 | 6.83255 | 8.22806 | 1.84879 | 1.82436 | ||||||
| -50 | 6.6881 | 7.98542 | 1.82872 | 1.8112 |
| A34-04_IVG24.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | I_K487ox[nA]@20C | I_K487ox[nA]@20C | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.12295 | ||
| 0 | 0.0002 | Ibot(VFB-3) [nA]: | 0.0002 | |||
| -1 | -0.021466 | Iox [nA]: | -0.1231 | |||
| -2 | -0.043914 | (VFB)[V]: | 2 | |||
| -3 | -0.086916 | (VFB+3)[V]: | 5 | |||
| -4 | -0.104875 | (VFB-3)[V]: | 0 | |||
| -5 | -0.122945 | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.15769 | |||
| -6 | -0.141957 | Ibot(VFB-3) [nA]: | -0.02147 | |||
| -7 | -0.157686 | Iox [nA]: | -0.13622 | |||
| -8 | -0.182005 | (VFB)[V]: | 4 | |||
| -9 | -0.199735 | (VFB+3)[V]: | 7 | |||
| -10 | -0.218682 | (VFB-3)[V]: | 1 | |||
| -11 | -0.237453 | |||||
| -12 | -0.255994 | |||||
| -13 | -0.274317 | |||||
| -14 | -0.292882 | |||||
| -15 | -0.311253 | |||||
| -16 | -0.329576 | |||||
| -17 | -0.348011 | |||||
| -18 | -0.365988 | |||||
| -19 | -0.389919 | |||||
| -20 | -0.404188 | |||||
| -21 | -0.421029 | |||||
| -22 | -0.438393 | |||||
| -23 | -0.455575 | |||||
| -24 | -0.472281 | |||||
| -25 | -0.490186 | |||||
| -26 | -0.506586 | |||||
| -27 | -0.540355 | |||||
| -28 | -0.539802 | |||||
| -29 | -0.556325 | |||||
| -30 | -0.579421 |
| A34-04_MFE27D.IV | A34-04_MFE27H.IV | Criteria/Quantity: | ||||||||||
| Bias [V] | I_K487[nA]@20C | I_K487[nA]@20C | P-spray | Pass | Pass | |||||||
| 0 | -0.010484 | -0.011077 | Vth[V]: | 26 | 26 | |||||||
| 2 | -0.011648 | -0.011499 | P-spray [cm-2]: | 2.58E+12 | 2.58E+12 | |||||||
| 4 | -0.017049 | -0.011507 | (Cox[pF]:) | 281.0 | 281 | |||||||
| 6 | -0.01247 | -0.013004 | (VFB[V]:) | 0 | 0 | |||||||
| 8 | -0.013344 | -0.013011 | ||||||||||
| 10 | -0.01433 | -0.014159 | Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB. | |||||||||
| 12 | -0.015397 | -0.015463 | ||||||||||
| 14 | -0.016945 | -0.017027 | ||||||||||
| 16 | -0.018879 | -0.01925 | ||||||||||
| 18 | -0.021287 | -0.021739 | ||||||||||
| 20 | -0.017946 | -0.02763 | ||||||||||
| 22 | -0.027615 | -0.033639 | ||||||||||
| 24 | -0.032201 | -0.033209 | ||||||||||
| 26 | -0.037366 | -0.03821 | ||||||||||
| 28 | 1345.105565 | 1155.217083 | ||||||||||
| 30 | 5169.031701 | 5156.139317 | ||||||||||
| 32 | 7031.684886 | 7154.236496 | ||||||||||
| 34 | 8044.626744 | 8244.829167 | ||||||||||
| 36 | ||||||||||||
| 38 | ||||||||||||
| 40 |
| A34-06_IVS01.IV | A34-06_IVS02.IV | A34-06_IVS03.IV | Critera/Quantity: | ||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -7 | -8 | -8 | Slope: | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -61 | -65 | -60 | Slope: | 1.15 | 1.24 | 1.25 | ||
| -10 | -115 | -121 | -112 | Vbd[V]: | -220 | -210 | -170 | ||
| -15 | -163 | -172 | -158 | Iop[nA]: | -515 | -619 | -613 | ||
| -20 | -207 | -218 | -200 | I50[na]: | -448 | -500 | -491 | ||
| -25 | -246 | -261 | -240 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -280 | -299 | -275 | ||||||
| -35 | -310 | -333 | -307 | ||||||
| -40 | -337 | -363 | -337 | ||||||
| -45 | -360 | -390 | -364 | ||||||
| -50 | -383 | -413 | -389 | ||||||
| -55 | -406 | -439 | -414 | ||||||
| -60 | -420 | -458 | -434 | ||||||
| -65 | -425 | -467 | -443 | ||||||
| -70 | -428 | -472 | -449 | ||||||
| -75 | -431 | -476 | -455 | ||||||
| -80 | -434 | -480 | -462 | ||||||
| -85 | -438 | -485 | -468 | ||||||
| -90 | -441 | -489 | -475 | ||||||
| -95 | -444 | -494 | -482 | ||||||
| -100 | -448 | -500 | -491 | ||||||
| -105 | -452 | -506 | -500 | ||||||
| -110 | -456 | -513 | -509 | ||||||
| -115 | -461 | -520 | -520 | ||||||
| -120 | -466 | -530 | -531 | ||||||
| -125 | -472 | -541 | -544 | ||||||
| -130 | -479 | -553 | -558 | ||||||
| -135 | -486 | -567 | -571 | ||||||
| -140 | -494 | -582 | -584 | ||||||
| -145 | -504 | -599 | -597 | ||||||
| -150 | -515 | -619 | -613 | ||||||
| -155 | -529 | -643 | -701 | ||||||
| -160 | -545 | -671 | -937 | ||||||
| -165 | -566 | -705 | -1303 | ||||||
| -170 | -593 | -748 | -1819 | ||||||
| -175 | -628 | -801 | -2512 | ||||||
| -180 | -674 | -868 | -3547 | ||||||
| -185 | -735 | -953 | -5054 | ||||||
| -190 | -812 | -1057 | -6859 | ||||||
| -195 | -909 | -1185 | -9063 | ||||||
| -200 | -1032 | -1344 | -11417 | ||||||
| -205 | -1177 | -1531 | |||||||
| -210 | -1349 | -1755 | |||||||
| -215 | -1550 | -2020 | |||||||
| -220 | -1775 | -2317 | |||||||
| -225 | -2026 | -2656 | |||||||
| -230 | -2306 | -3044 | |||||||
| -235 | -2605 | -3468 | |||||||
| -240 | -2926 | -3936 | |||||||
| -245 | -3272 | -4454 | |||||||
| -250 | -3632 | -5008 | |||||||
| -255 | -4006 | -5607 | |||||||
| -260 | -4402 | -6261 | |||||||
| -265 | -4804 | -6968 | |||||||
| -270 | -5217 | -7751 | |||||||
| -275 | -5647 | -8648 | |||||||
| -280 | -6078 | -9669 | |||||||
| -285 | -6535 | -10800 | |||||||
| -290 | -7082 | -12083 | |||||||
| -295 | -7977 | ||||||||
| -300 | -9748 | ||||||||
| -305 | |||||||||
| -310 | |||||||||
| -315 | |||||||||
| -320 | |||||||||
| -325 | |||||||||
| -330 | |||||||||
| -335 | |||||||||
| -340 | |||||||||
| -345 | |||||||||
| -350 | |||||||||
| -355 | |||||||||
| -360 | |||||||||
| -365 | |||||||||
| -370 | |||||||||
| -375 | |||||||||
| -380 | |||||||||
| -385 | |||||||||
| -390 | |||||||||
| -395 | |||||||||
| -400 | |||||||||
| -405 | |||||||||
| -410 | |||||||||
| -415 | |||||||||
| -420 | |||||||||
| -425 | |||||||||
| -430 | |||||||||
| -435 | |||||||||
| -440 | |||||||||
| -445 | |||||||||
| -450 | |||||||||
| -455 | |||||||||
| -460 | |||||||||
| -465 | |||||||||
| -470 | |||||||||
| -475 | |||||||||
| -480 | |||||||||
| -485 | |||||||||
| -490 | |||||||||
| -495 | |||||||||
| -500 |
| A34-06_IVS04.IV | A34-06_IVS05.IV | A34-06_IVS06.IV | A34-04_IVS07.IV | A34-06_IVS08.IV | A34-06_IVS09.IV | Critera/Quantity: | |||||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -0.604041 | -0.707271 | -0.68262 | -1 | -1 | -1 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -4.490139 | -4.4762 | -5.714534 | -4 | -5 | -5 | Slope: | 1.10 | 1.11 | 1.12 | 1.08 | 1.07 | 1.07 | ||
| -10 | -8.44039 | -8.223096 | -10.157441 | -8 | -8 | -9 | Vbd[V]: | -345 | -410 | -355 | -430 | -290 | -290 | ||
| -15 | -12.048569 | -11.63711 | -14.051086 | -12 | -12 | -13 | Iop[nA]: | -41 | -40 | -47 | -33 | -36 | -42 | ||
| -20 | -15.386501 | -14.79366 | -17.604486 | -15 | -15 | -17 | I50[nA]: | -37 | -36 | -42 | -31 | -34 | -39 | ||
| -25 | -18.492531 | -17.747522 | -20.894332 | -17 | -18 | -20 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -21.296661 | -20.470699 | -23.92306 | -20 | -20 | -23 | |||||||||
| -35 | -23.825673 | -22.979018 | -26.745451 | -22 | -23 | -26 | |||||||||
| -40 | -26.134959 | -25.282824 | -29.321331 | -24 | -25 | -29 | |||||||||
| -45 | -28.162429 | -27.362031 | -31.567314 | -26 | -26 | -31 | |||||||||
| -50 | -30.230681 | -29.475933 | -33.739647 | -27 | -28 | -33 | |||||||||
| -55 | -32.093202 | -31.31776 | -35.728772 | -28 | -30 | -35 | |||||||||
| -60 | -33.326971 | -32.399969 | -37.112273 | -28 | -31 | -36 | |||||||||
| -65 | -33.985549 | -33.023854 | -37.951626 | -29 | -31 | -36 | |||||||||
| -70 | -34.480395 | -33.560698 | -38.646113 | -29 | -32 | -37 | |||||||||
| -75 | -34.927766 | -34.046415 | -39.292521 | -30 | -32 | -37 | |||||||||
| -80 | -35.343485 | -34.504742 | -39.896317 | -30 | -32 | -38 | |||||||||
| -85 | -35.751293 | -34.96246 | -40.478202 | -30 | -33 | -38 | |||||||||
| -90 | -36.153623 | -35.38731 | -41.044873 | -31 | -33 | -39 | |||||||||
| -95 | -36.548647 | -35.797552 | -41.589021 | -31 | -33 | -39 | |||||||||
| -100 | -36.933324 | -36.196836 | -42.135603 | -31 | -34 | -39 | |||||||||
| -105 | -37.311917 | -36.577256 | -42.67184 | -31 | -34 | -40 | |||||||||
| -110 | -37.683204 | -36.956454 | -43.205032 | -32 | -34 | -40 | |||||||||
| -115 | -38.047187 | -37.325916 | -43.689531 | -32 | -34 | -40 | |||||||||
| -120 | -38.400211 | -37.689899 | -44.211769 | -32 | -35 | -41 | |||||||||
| -125 | -38.766024 | -38.071532 | -44.729137 | -32 | -35 | -41 | |||||||||
| -130 | -39.116007 | -38.451949 | -45.23981 | -33 | -35 | -41 | |||||||||
| -135 | -39.459901 | -38.840281 | -45.731003 | -33 | -35 | -41 | |||||||||
| -140 | -39.813539 | -39.250523 | -46.239847 | -33 | -36 | -42 | |||||||||
| -145 | -40.168392 | -39.668069 | -46.74687 | -33 | -36 | -42 | |||||||||
| -150 | -40.529331 | -40.113004 | -47.284932 | -33 | -36 | -42 | |||||||||
| -155 | -40.904878 | -40.574374 | -47.846119 | -34 | -36 | -42 | |||||||||
| -160 | -41.29808 | -41.058873 | -48.403051 | -34 | -36 | -43 | |||||||||
| -165 | -41.710756 | -41.557371 | -48.940503 | -34 | -37 | -43 | |||||||||
| -170 | -42.165431 | -42.067435 | -49.493784 | -34 | -37 | -43 | |||||||||
| -175 | -42.651145 | -42.575063 | -50.030627 | -35 | -37 | -44 | |||||||||
| -180 | -43.170338 | -43.066867 | -50.613122 | -35 | -37 | -44 | |||||||||
| -185 | -43.745529 | -43.548321 | -51.14814 | -35 | -38 | -44 | |||||||||
| -190 | -44.365154 | -43.990212 | -51.702636 | -35 | -38 | -44 | |||||||||
| -195 | -45.020077 | -44.403498 | -52.224874 | -35 | -38 | -45 | |||||||||
| -200 | -45.70422 | -44.783915 | -52.719722 | -36 | -38 | -45 | |||||||||
| -205 | -46.387147 | -45.133899 | -53.325343 | -36 | -38 | -46 | |||||||||
| -210 | -47.053635 | -45.458928 | -53.756279 | -36 | -39 | -46 | |||||||||
| -215 | -47.706738 | -45.766913 | -54.231043 | -36 | -39 | -47 | |||||||||
| -220 | -48.303229 | -46.059073 | -54.7758 | -36 | -39 | -47 | |||||||||
| -225 | -48.861985 | -46.338453 | -55.201256 | -37 | -39 | -48 | |||||||||
| -230 | -49.371443 | -46.60505 | -55.717408 | -37 | -40 | -48 | |||||||||
| -235 | -49.824289 | -46.863122 | -56.161734 | -37 | -40 | -49 | |||||||||
| -240 | -50.249139 | -47.114503 | -56.684581 | -37 | -40 | -50 | |||||||||
| -245 | -50.628947 | -47.370144 | -57.240293 | -37 | -40 | -51 | |||||||||
| -250 | -50.98319 | -47.614827 | -57.814265 | -37 | -41 | -51 | |||||||||
| -255 | -51.308829 | -47.865598 | -58.313983 | -38 | -41 | -52 | |||||||||
| -260 | -51.630814 | -48.11211 | -58.802132 | -38 | -41 | -53 | |||||||||
| -265 | -51.932714 | -48.360447 | -59.375498 | -38 | -42 | -54 | |||||||||
| -270 | -52.229744 | -48.605129 | -59.877646 | -38 | -42 | -55 | |||||||||
| -275 | -52.531644 | -48.854075 | -60.234329 | -38 | -43 | -55 | |||||||||
| -280 | -52.827454 | -49.100583 | -60.598918 | -39 | -47 | -57 | |||||||||
| -285 | -53.123875 | -49.348314 | -61.371927 | -39 | -59 | -63 | |||||||||
| -290 | -53.430034 | -49.602126 | -61.816252 | -39 | -90 | -83 | |||||||||
| -295 | -53.736194 | -49.852897 | -62.406662 | -39 | -169 | -136 | |||||||||
| -300 | -54.045399 | -50.110364 | -62.844903 | -40 | -366 | -262 | |||||||||
| -305 | -54.366773 | -50.37635 | -63.325747 | -40 | -521 | ||||||||||
| -310 | -54.692412 | -50.636252 | -63.928328 | -40 | |||||||||||
| -315 | -55.029612 | -50.921107 | -64.60395 | -40 | |||||||||||
| -320 | -55.375945 | -51.244921 | -65.163926 | -40 | |||||||||||
| -325 | -55.753927 | -51.603425 | -65.443912 | -41 | |||||||||||
| -330 | -56.314509 | -51.977757 | -66.277785 | -41 | |||||||||||
| -335 | -58.039472 | -52.308871 | -67.014271 | -41 | |||||||||||
| -340 | -63.715295 | -52.720938 | -67.848148 | -41 | |||||||||||
| -345 | -81.001444 | -53.214566 | -69.241996 | -42 | |||||||||||
| -350 | -125.5559 | -53.767848 | -73.630487 | -42 | |||||||||||
| -355 | -232.96134 | -54.428857 | -86.765523 | -42 | |||||||||||
| -360 | -477.937747 | -55.286473 | -121.599561 | -42 | |||||||||||
| -365 | -56.244511 | -201.280198 | -43 | ||||||||||||
| -370 | -57.398548 | -364.06218 | -43 | ||||||||||||
| -375 | -58.463713 | -43 | |||||||||||||
| -380 | -60.811951 | -43 | |||||||||||||
| -385 | -63.605738 | -44 | |||||||||||||
| -390 | -65.778676 | -44 | |||||||||||||
| -395 | -70.867138 | -44 | |||||||||||||
| -400 | -75.973859 | -44 | |||||||||||||
| -405 | -83.850009 | -45 | |||||||||||||
| -410 | -99.231031 | -46 | |||||||||||||
| -415 | -119.554439 | -48 | |||||||||||||
| -420 | -166.586164 | -54 | |||||||||||||
| -425 | -236.436817 | -64 | |||||||||||||
| -430 | -401.647405 | -87 | |||||||||||||
| -435 | -159 | ||||||||||||||
| -440 | -429 | ||||||||||||||
| -445 | |||||||||||||||
| -450 | |||||||||||||||
| -455 | |||||||||||||||
| -460 | |||||||||||||||
| -465 | |||||||||||||||
| -470 | |||||||||||||||
| -475 | |||||||||||||||
| -480 | |||||||||||||||
| -485 | |||||||||||||||
| -490 | |||||||||||||||
| -495 | |||||||||||||||
| -500 |
| A34-06_IVS10.IV | A34-06_IVS11.IV | A34-06_IVS12.IV | A34-06_IVS13.IV | Critera/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -0.2 | -0.2 | -0.2 | -0.2 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -0.4 | -1.2 | -1.1 | -1.2 | Slope: | 1.12 | 1.11 | 1.12 | 1.12 | ||
| -10 | -0.8 | -2.2 | -2.0 | -2.2 | Vbd[V]: | -395 | -330 | -500 | -335 | ||
| -15 | -1.4 | -3.1 | -2.8 | -3.1 | Iop[nA]: | -12 | -11 | -11 | -11 | ||
| -20 | -2.1 | -4.0 | -3.6 | -4.0 | I50[nA]: | -10 | -10 | -9 | -10 | ||
| -25 | -2.8 | -4.8 | -4.4 | -4.8 | (Vop[V]}: | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -3.5 | -5.6 | -5.0 | -5.5 | |||||||
| -35 | -4.3 | -6.3 | -5.7 | -6.2 | |||||||
| -40 | -5.0 | -6.9 | -6.2 | -6.8 | |||||||
| -45 | -5.7 | -7.5 | -6.7 | -7.4 | |||||||
| -50 | -6.3 | -8.0 | -7.2 | -7.9 | |||||||
| -55 | -6.9 | -8.6 | -7.7 | -8.4 | |||||||
| -60 | -7.5 | -9.0 | -8.0 | -8.8 | |||||||
| -65 | -8.1 | -9.2 | -8.3 | -9.0 | |||||||
| -70 | -8.6 | -9.4 | -8.5 | -9.2 | |||||||
| -75 | -9.1 | -9.6 | -8.7 | -9.4 | |||||||
| -80 | -9.6 | -9.7 | -8.8 | -9.6 | |||||||
| -85 | -9.9 | -9.9 | -9.0 | -9.7 | |||||||
| -90 | -10.1 | -10.0 | -9.2 | -9.9 | |||||||
| -95 | -10.3 | -10.2 | -9.3 | -10.1 | |||||||
| -100 | -10.4 | -10.3 | -9.4 | -10.2 | |||||||
| -105 | -10.6 | -10.4 | -9.6 | -10.4 | |||||||
| -110 | -10.7 | -10.6 | -9.7 | -10.5 | |||||||
| -115 | -10.8 | -10.7 | -9.8 | -10.6 | |||||||
| -120 | -11.0 | -10.8 | -10.0 | -10.8 | |||||||
| -125 | -11.1 | -10.9 | -10.1 | -10.9 | |||||||
| -130 | -11.2 | -11.0 | -10.2 | -11.0 | |||||||
| -135 | -11.3 | -11.1 | -10.3 | -11.1 | |||||||
| -140 | -11.4 | -11.2 | -10.4 | -11.2 | |||||||
| -145 | -11.5 | -11.4 | -10.5 | -11.3 | |||||||
| -150 | -11.7 | -11.5 | -10.6 | -11.5 | |||||||
| -155 | -11.8 | -11.6 | -10.7 | -11.6 | |||||||
| -160 | -11.9 | -11.7 | -10.8 | -11.7 | |||||||
| -165 | -12.0 | -11.8 | -10.9 | -11.8 | |||||||
| -170 | -12.1 | -11.9 | -11.0 | -11.9 | |||||||
| -175 | -12.2 | -12.0 | -11.1 | -12.0 | |||||||
| -180 | -12.3 | -12.2 | -11.2 | -12.1 | |||||||
| -185 | -12.4 | -12.3 | -11.3 | -12.2 | |||||||
| -190 | -12.5 | -12.5 | -11.4 | -12.3 | |||||||
| -195 | -12.6 | -12.6 | -11.5 | -12.4 | |||||||
| -200 | -12.8 | -12.8 | -11.6 | -12.5 | |||||||
| -205 | -12.9 | -13.0 | -11.8 | -12.6 | |||||||
| -210 | -13.0 | -13.1 | -11.9 | -12.6 | |||||||
| -215 | -13.2 | -13.3 | -12.0 | -12.8 | |||||||
| -220 | -13.3 | -13.5 | -12.1 | -12.8 | |||||||
| -225 | -13.5 | -13.7 | -12.2 | -12.9 | |||||||
| -230 | -13.7 | -13.9 | -12.3 | -13.0 | |||||||
| -235 | -13.9 | -14.1 | -12.4 | -13.1 | |||||||
| -240 | -14.1 | -14.2 | -12.5 | -13.2 | |||||||
| -245 | -14.3 | -14.4 | -12.5 | -13.3 | |||||||
| -250 | -14.4 | -14.6 | -12.6 | -13.4 | |||||||
| -255 | -14.6 | -14.7 | -12.7 | -13.5 | |||||||
| -260 | -14.8 | -14.8 | -12.8 | -13.6 | |||||||
| -265 | -15.0 | -15.0 | -12.9 | -13.7 | |||||||
| -270 | -15.1 | -15.1 | -13.0 | -13.8 | |||||||
| -275 | -15.2 | -15.2 | -13.1 | -13.9 | |||||||
| -280 | -15.4 | -15.4 | -13.2 | -14.1 | |||||||
| -285 | -15.5 | -15.5 | -13.3 | -14.2 | |||||||
| -290 | -15.6 | -15.6 | -13.3 | -14.3 | |||||||
| -295 | -15.7 | -15.8 | -13.4 | -14.4 | |||||||
| -300 | -15.8 | -15.9 | -13.5 | -14.5 | |||||||
| -305 | -15.9 | -16.0 | -13.6 | -14.6 | |||||||
| -310 | -16.0 | -16.2 | -13.7 | -14.7 | |||||||
| -315 | -16.1 | -16.3 | -13.8 | -14.8 | |||||||
| -320 | -16.2 | -16.5 | -13.9 | -14.9 | |||||||
| -325 | -16.3 | -17.3 | -14.0 | -15.3 | |||||||
| -330 | -16.4 | -20.4 | -14.1 | -16.6 | |||||||
| -335 | -16.5 | -32.5 | -14.2 | -21.7 | |||||||
| -340 | -16.6 | -63.7 | -14.3 | -38.6 | |||||||
| -345 | -16.7 | -132.9 | -14.4 | -84.6 | |||||||
| -350 | -16.8 | -14.5 | |||||||||
| -355 | -16.9 | -14.6 | |||||||||
| -360 | -17.0 | -14.7 | |||||||||
| -365 | -17.1 | -14.8 | |||||||||
| -370 | -17.2 | -14.9 | |||||||||
| -375 | -17.3 | -15.0 | |||||||||
| -380 | -17.5 | -15.1 | |||||||||
| -385 | -17.7 | -15.2 | |||||||||
| -390 | -18.5 | -15.3 | |||||||||
| -395 | -20.8 | -15.4 | |||||||||
| -400 | -26.2 | -15.5 | |||||||||
| -405 | -38.2 | -15.7 | |||||||||
| -410 | -65.7 | -15.8 | |||||||||
| -415 | -122.1 | -15.9 | |||||||||
| -420 | -16.1 | ||||||||||
| -425 | -16.2 | ||||||||||
| -430 | -16.3 | ||||||||||
| -435 | -16.5 | ||||||||||
| -440 | -16.6 | ||||||||||
| -445 | -16.8 | ||||||||||
| -450 | -17.0 | ||||||||||
| -455 | -17.2 | ||||||||||
| -460 | -17.6 | ||||||||||
| -465 | -18.1 | ||||||||||
| -470 | -18.6 | ||||||||||
| -475 | -19.2 | ||||||||||
| -480 | -19.8 | ||||||||||
| -485 | -20.4 | ||||||||||
| -490 | -21.1 | ||||||||||
| -495 | -21.9 | ||||||||||
| -500 | -22.9 |
| A34-06_IVD16.IV | A34-06_IVD17.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd[V] | -500 | -500 | ||
| 0 | -0.1 | -0.1 | Iop[nA]: | -9.23 | -9.02 | ||
| -5 | -0.8 | -0.7 | (Vop[V]): | -150 | -150 | ||
| -10 | -1.6 | -1.4 | |||||
| -15 | -2.3 | -2.1 | |||||
| -20 | -3.0 | -2.7 | |||||
| -25 | -3.6 | -3.4 | |||||
| -30 | -4.2 | -4.0 | |||||
| -35 | -4.8 | -4.5 | |||||
| -40 | -5.4 | -5.0 | |||||
| -45 | -5.9 | -5.5 | |||||
| -50 | -6.3 | -6.0 | |||||
| -55 | -6.7 | -6.4 | |||||
| -60 | -7.0 | -6.7 | |||||
| -65 | -7.3 | -7.0 | |||||
| -70 | -7.5 | -7.2 | |||||
| -75 | -7.6 | -7.4 | |||||
| -80 | -7.8 | -7.5 | |||||
| -85 | -7.9 | -7.7 | |||||
| -90 | -8.1 | -7.8 | |||||
| -95 | -8.2 | -7.9 | |||||
| -100 | -8.3 | -8.1 | |||||
| -105 | -8.4 | -8.2 | |||||
| -110 | -8.5 | -8.3 | |||||
| -115 | -8.6 | -8.4 | |||||
| -120 | -8.7 | -8.5 | |||||
| -125 | -8.8 | -8.6 | |||||
| -130 | -8.9 | -8.7 | |||||
| -135 | -9.0 | -8.8 | |||||
| -140 | -9.1 | -8.9 | |||||
| -145 | -9.1 | -8.9 | |||||
| -150 | -9.2 | -9.0 | |||||
| -155 | -9.3 | -9.1 | |||||
| -160 | -9.4 | -9.2 | |||||
| -165 | -9.5 | -9.3 | |||||
| -170 | -9.5 | -9.3 | |||||
| -175 | -9.6 | -9.4 | |||||
| -180 | -9.7 | -9.5 | |||||
| -185 | -9.7 | -9.6 | |||||
| -190 | -9.8 | -9.6 | |||||
| -195 | -9.9 | -9.7 | |||||
| -200 | -9.9 | -9.8 | |||||
| -205 | -10.0 | -9.9 | |||||
| -210 | -10.1 | -9.9 | |||||
| -215 | -10.1 | -10.0 | |||||
| -220 | -10.2 | -10.1 | |||||
| -225 | -10.3 | -10.1 | |||||
| -230 | -10.3 | -10.2 | |||||
| -235 | -10.4 | -10.3 | |||||
| -240 | -10.4 | -10.3 | |||||
| -245 | -10.5 | -10.4 | |||||
| -250 | -10.6 | -10.5 | |||||
| -255 | -10.6 | -10.5 | |||||
| -260 | -10.7 | -10.6 | |||||
| -265 | -10.7 | -10.6 | |||||
| -270 | -10.8 | -10.7 | |||||
| -275 | -10.8 | -10.8 | |||||
| -280 | -10.9 | -10.8 | |||||
| -285 | -11.0 | -10.9 | |||||
| -290 | -11.0 | -11.0 | |||||
| -295 | -11.1 | -11.0 | |||||
| -300 | -11.1 | -11.1 | |||||
| -305 | -11.2 | -11.1 | |||||
| -310 | -11.2 | -11.2 | |||||
| -315 | -11.3 | -11.3 | |||||
| -320 | -11.3 | -11.3 | |||||
| -325 | -11.4 | -11.4 | |||||
| -330 | -11.5 | -11.4 | |||||
| -335 | -11.5 | -11.5 | |||||
| -340 | -11.6 | -11.6 | |||||
| -345 | -11.6 | -11.6 | |||||
| -350 | -11.7 | -11.7 | |||||
| -355 | -11.7 | -11.7 | |||||
| -360 | -11.8 | -11.8 | |||||
| -365 | -11.8 | -11.8 | |||||
| -370 | -11.9 | -11.9 | |||||
| -375 | -11.9 | -12.0 | |||||
| -380 | -12.0 | -12.0 | |||||
| -385 | -12.0 | -12.1 | |||||
| -390 | -12.1 | -12.1 | |||||
| -395 | -12.1 | -12.2 | |||||
| -400 | -12.2 | -12.2 | |||||
| -405 | -12.2 | -12.3 | |||||
| -410 | -12.3 | -12.3 | |||||
| -415 | -12.3 | -12.4 | |||||
| -420 | -12.4 | -12.5 | |||||
| -425 | -12.4 | -12.5 | |||||
| -430 | -12.5 | -12.6 | |||||
| -435 | -12.5 | -12.6 | |||||
| -440 | -12.6 | -12.7 | |||||
| -445 | -12.6 | -12.7 | |||||
| -450 | -12.7 | -12.8 | |||||
| -455 | -12.7 | -12.9 | |||||
| -460 | -12.8 | -13.0 | |||||
| -465 | -12.8 | -13.2 | |||||
| -470 | -12.9 | -13.4 | |||||
| -475 | -12.9 | -13.6 | |||||
| -480 | -13.0 | -13.8 | |||||
| -485 | -13.0 | -14.1 | |||||
| -490 | -13.1 | -14.5 | |||||
| -495 | -13.1 | -14.9 | |||||
| -500 | -13.2 | -15.3 |
| A34-06_CVD16.CV | A34-06_CVD17.CV | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Vdep[V] | Pass | Pass | |||
| 0 | 0.000247 | 63.6497 | 0.000232 | 65.5901 | Vop[V] | Pass | Pass | |||
| -5 | 0.005153 | 13.9312 | 0.004971 | 14.1839 | Resistivity | Pass | Pass | |||
| -10 | 0.009444 | 10.2902 | 0.009188 | 10.4325 | Vdep[V]: | -100 | -60 | |||
| -15 | 0.013366 | 8.64954 | 0.01306 | 8.7505 | Vop [V]: | -150 | -150 | |||
| -20 | 0.017015 | 7.66621 | 0.016673 | 7.74452 | Resistivity[kOhmcm]: | 2.18 | 3.63 | |||
| -25 | 0.02045 | 6.99278 | 0.020078 | 7.05724 | Cdep[pF] | 3.38 | 5.10 | |||
| -30 | 0.023695 | 6.49638 | 0.023357 | 6.54328 | Cmin[pF] | 3.14 | 4.91 | |||
| -35 | 0.026848 | 6.10299 | 0.026435 | 6.15045 | (Thickness[um]): | 254.3 | 254.3 | |||
| -40 | 0.029774 | 5.79542 | 0.029383 | 5.83379 | (Vbd[V]): | -500 | -500 | |||
| -45 | 0.032464 | 5.55009 | 0.032091 | 5.58228 | ||||||
| -50 | 0.034905 | 5.35248 | 0.034607 | 5.37551 | ||||||
| -55 | 0.036854 | 5.20903 | 0.036819 | 5.21151 | ||||||
| -60 | 0.038086 | 5.12412 | 0.038498 | 5.0966 | ||||||
| -65 | 0.038805 | 5.07639 | 0.039494 | 5.03193 | ||||||
| -70 | 0.039203 | 5.05054 | 0.040058 | 4.99638 | ||||||
| -75 | 0.039458 | 5.03423 | 0.040394 | 4.97557 | ||||||
| -80 | 0.039559 | 5.02777 | 0.040565 | 4.96505 | ||||||
| -85 | 0.039778 | 5.01392 | 0.040745 | 4.95409 | ||||||
| -90 | 0.041157 | 4.92921 | 0.040874 | 4.94628 | ||||||
| -95 | 0.059518 | 4.09897 | 0.040963 | 4.94086 | ||||||
| -100 | 0.087532 | 3.37999 | 0.041011 | 4.93801 | ||||||
| -105 | 0.089578 | 3.34117 | 0.041102 | 4.9325 | ||||||
| -110 | 0.091296 | 3.30959 | 0.041178 | 4.92794 | ||||||
| -115 | 0.092813 | 3.28243 | 0.041044 | 4.93602 | ||||||
| -120 | 0.093733 | 3.26629 | 0.041117 | 4.93159 | ||||||
| -125 | 0.094734 | 3.24898 | 0.041242 | 4.92414 | ||||||
| -130 | 0.0953 | 3.23931 | 0.04124 | 4.92427 | ||||||
| -135 | 0.095653 | 3.23334 | 0.041202 | 4.92653 | ||||||
| -140 | 0.09651 | 3.21895 | 0.041265 | 4.92276 | ||||||
| -145 | 0.096947 | 3.21168 | 0.041188 | 4.92736 | ||||||
| -150 | 0.097168 | 3.20803 | 0.041362 | 4.91699 | ||||||
| -155 | 0.097934 | 3.19546 | 0.041346 | 4.91794 | ||||||
| -160 | 0.098159 | 3.1918 | 0.041361 | 4.91705 | ||||||
| -165 | 0.098527 | 3.18583 | 0.041253 | 4.92346 | ||||||
| -170 | 0.099255 | 3.17412 | 0.04139 | 4.9153 | ||||||
| -175 | 0.099647 | 3.16787 | 0.041392 | 4.9152 | ||||||
| -180 | 0.099874 | 3.16427 | 0.041381 | 4.91585 | ||||||
| -185 | 0.100401 | 3.15596 | 0.041428 | 4.91309 | ||||||
| -190 | 0.100738 | 3.15067 | 0.041458 | 4.91132 | ||||||
| -195 | 0.100921 | 3.14782 | 0.041442 | 4.91225 | ||||||
| -200 | 0.101151 | 3.14424 | 0.041381 | 4.91585 |
| A34-06_BOX22.IV | A34-06_BOX23.IV | A34-06_BOX25.IV | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd[V] | Pass | Pass | Pass | |||
| 0 | -0.001 | -0.000286 | -0.000274 | Vbd[V]: | 100 | 100 | 100 | ||||
| 2 | 0.000 | 0.000219 | 0.000347 | ||||||||
| 4 | 0.000 | 0.000438 | 0.000548 | ||||||||
| 6 | 0.000 | 0.000633 | 0.000688 | ||||||||
| 8 | 0.000 | 0.000712 | 0.00081 | ||||||||
| 10 | 0.000 | 0.00087 | 0.000986 | ||||||||
| 12 | 0.001 | 0.001023 | 0.001096 | ||||||||
| 14 | 0.001 | 0.00112 | 0.001296 | ||||||||
| 16 | 0.001 | 0.001205 | 0.001473 | ||||||||
| 18 | 0.001 | 0.001315 | 0.00168 | ||||||||
| 20 | 0.001 | 0.001388 | 0.001887 | ||||||||
| 22 | 0.001 | 0.001613 | 0.002222 | ||||||||
| 24 | 0.002 | 0.001723 | 0.002422 | ||||||||
| 26 | 0.002 | 0.001875 | 0.002782 | ||||||||
| 28 | 0.002 | 0.001996 | 0.002989 | ||||||||
| 30 | 0.002 | 0.002216 | 0.003238 | ||||||||
| 32 | 0.002 | 0.002313 | 0.003542 | ||||||||
| 34 | 0.002 | 0.002502 | 0.003847 | ||||||||
| 36 | 0.003 | 0.002581 | 0.003999 | ||||||||
| 38 | 0.003 | 0.002715 | 0.004169 | ||||||||
| 40 | 0.003 | 0.002794 | 0.004352 | ||||||||
| 42 | 0.003 | 0.003025 | 0.004565 | ||||||||
| 44 | 0.003 | 0.003056 | 0.004693 | ||||||||
| 46 | 0.003 | 0.003214 | 0.004717 | ||||||||
| 48 | 0.003 | 0.003311 | 0.004845 | ||||||||
| 50 | 0.004 | 0.003348 | 0.004979 | ||||||||
| 52 | 0.003 | 0.003457 | 0.005028 | ||||||||
| 54 | 0.004 | 0.003549 | 0.005101 | ||||||||
| 56 | 0.004 | 0.00367 | 0.005125 | ||||||||
| 58 | 0.004 | 0.003737 | 0.00518 | ||||||||
| 60 | 0.004 | 0.003755 | 0.005168 | ||||||||
| 62 | 0.004 | 0.003932 | 0.005253 | ||||||||
| 64 | 0.004 | 0.003914 | 0.005228 | ||||||||
| 66 | 0.004 | 0.003969 | 0.005338 | ||||||||
| 68 | 0.004 | 0.004096 | 0.005314 | ||||||||
| 70 | 0.004 | 0.004121 | 0.005338 | ||||||||
| 72 | 0.004 | 0.004096 | 0.005301 | ||||||||
| 74 | 0.004 | 0.004133 | 0.005289 | ||||||||
| 76 | 0.004 | 0.004224 | 0.005228 | ||||||||
| 78 | 0.004 | 0.004358 | 0.00532 | ||||||||
| 80 | 0.004 | 0.004291 | 0.005368 | ||||||||
| 82 | 0.004 | 0.00437 | 0.005295 | ||||||||
| 84 | 0.004 | 0.004437 | 0.005271 | ||||||||
| 86 | 0.004 | 0.004376 | 0.005356 | ||||||||
| 88 | 0.004 | 0.004498 | 0.005271 | ||||||||
| 90 | 0.004 | 0.004516 | 0.005247 | ||||||||
| 92 | 0.005 | 0.004535 | 0.005204 | ||||||||
| 94 | 0.005 | 0.004559 | 0.005283 | ||||||||
| 96 | 0.005 | 0.004541 | 0.005259 | ||||||||
| 98 | 0.006 | 0.004486 | 0.005204 | ||||||||
| 100 | 0.007 | 0.004614 | 0.005125 |
| A34-06_COX22.CV | A34-06_COX23.CV | A34-06_COX24.CV | A34-06_COX25.CV | Criteria/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Cox [pF]: | 281.8 | 281.8 | 276.3 | 281.5 | ||
| 0 | 281.768997 | 281.798002 | 276.278 | 281.507012 | Cmin [pF]: | 7.43933 | 8.1298 | 1.88959 | 6.12808 | ||
| -2 | 277.674994 | 276.889012 | 17.665799 | 265.665989 | CFB [pF]: | 43.0 | 43.0 | 42.9 | 43.0 | ||
| -4 | 180.877993 | 91.681503 | 6.3375 | 13.5495 | VFB [V]: | 6 | 5 | 2 | 4 | ||
| -6 | 11.7412 | 11.8975 | 4.82624 | 8.05883 | (Vdep[V]): | -60 | -60 | -60 | -60 | ||
| -8 | 8.43332 | 9.10503 | 4.09846 | 7.24242 | CFB [pF]: | 53.2 | 53.2 | 53.0 | 53.1 | ||
| -10 | 8.21159 | 8.93565 | 3.64935 | 6.81064 | VFB [V]: | 6 | 5 | 2 | 4 | ||
| -12 | 8.03256 | 8.7414 | 3.33153 | 6.67264 | (Vdep[V]): | -100 | -100 | -100 | -100 | ||
| -14 | 8.10317 | 8.82587 | 3.09509 | 6.62672 | (Thickness[um]): | 254.3 | 254.3 | 254.3 | 254.3 | ||
| -16 | 7.86409 | 8.72025 | 2.90731 | 6.57667 | (T[C]): | 25 | 25 | 25 | 25 | ||
| -18 | 8.08018 | 8.80292 | 2.75837 | 6.63025 | |||||||
| -20 | 7.88439 | 8.70172 | 2.63655 | 6.4204 | |||||||
| -22 | 7.69456 | 8.77121 | 2.53335 | 6.48866 | |||||||
| -24 | 8.015 | 8.63398 | 2.44378 | 6.42976 | |||||||
| -26 | 7.80639 | 8.76369 | 2.36822 | 6.38414 | |||||||
| -28 | 7.82644 | 8.71338 | 2.30219 | 6.56445 | |||||||
| -30 | 7.7484 | 8.71356 | 2.24312 | 6.45001 | |||||||
| -32 | 7.82506 | 8.68121 | 2.18859 | 6.36113 | |||||||
| -34 | 7.42662 | 8.22692 | 2.13971 | 6.34834 | |||||||
| -36 | 7.68552 | 8.47274 | 2.10089 | 6.38068 | |||||||
| -38 | 7.47197 | 8.21701 | 2.06205 | 6.19631 | |||||||
| -40 | 7.37038 | 8.471 | 2.0283 | 6.26389 | |||||||
| -42 | 7.73793 | 8.25981 | 1.99481 | 6.14447 | |||||||
| -44 | 7.5393 | 8.1298 | 1.96663 | 6.24489 | |||||||
| -46 | 7.43933 | 8.46772 | 1.93977 | 6.12808 | |||||||
| -48 | 7.82552 | 8.61158 | 1.91371 | 6.25005 | |||||||
| -50 | 7.61408 | 8.30886 | 1.88959 | 6.13184 |
| A34-06_IVG24.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | I_K487ox[nA]@20C | I_K487ox[nA]@20C | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.17161 | ||
| 0 | 0.001559 | Ibot(VFB-3) [nA]: | 0.001559 | |||
| -1 | -0.014911 | Iox [nA]: | -0.1732 | |||
| -2 | -0.075795 | (VFB)[V]: | 2 | |||
| -3 | -0.144093 | (VFB+3)[V]: | 5 | |||
| -4 | -0.160351 | (VFB-3)[V]: | 0 | |||
| -5 | -0.171608 | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.20813 | |||
| -6 | -0.181146 | Ibot(VFB-3) [nA]: | -0.14409 | |||
| -7 | -0.189996 | Iox [nA]: | -0.06403 | |||
| -8 | -0.198799 | (VFB)[V]: | 6 | |||
| -9 | -0.208125 | (VFB+3)[V]: | 9 | |||
| -10 | -0.218399 | (VFB-3)[V]: | 3 | |||
| -11 | -0.229244 | |||||
| -12 | -0.241342 | |||||
| -13 | -0.253028 | |||||
| -14 | -0.265226 | |||||
| -15 | -0.278107 | |||||
| -16 | -0.290481 | |||||
| -17 | -0.303668 | |||||
| -18 | -0.317096 | |||||
| -19 | -0.330165 | |||||
| -20 | -0.345517 | |||||
| -21 | -0.36098 | |||||
| -22 | -0.377103 | |||||
| -23 | -0.391684 | |||||
| -24 | -0.405524 | |||||
| -25 | -0.418452 | |||||
| -26 | -0.430903 | |||||
| -27 | -0.443395 | |||||
| -28 | -0.457864 | |||||
| -29 | -0.468944 | |||||
| -30 | -0.481054 |
| A34-06_MFE26D.IV | Criteria/Quantity: | |||||||||||
| Bias [V] | I_K487[nA]@20C | I_K487[nA]@20C | P-spray | Pass | ||||||||
| 0 | -0.0143 | Vth[V]: | 25 | |||||||||
| 2 | -0.015071 | P-spray [cm-2]: | 2.47E+12 | |||||||||
| 4 | -0.015471 | (Cox[pF]:) | 280.0 | |||||||||
| 6 | -0.016945 | (VFB[V]:) | 0 | |||||||||
| 8 | -0.018642 | |||||||||||
| 10 | -0.019872 | Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB. | ||||||||||
| 12 | -0.022095 | |||||||||||
| 14 | -0.025414 | |||||||||||
| 16 | -0.029349 | |||||||||||
| 18 | -0.038462 | |||||||||||
| 20 | -0.039877 | |||||||||||
| 22 | -0.046642 | |||||||||||
| 24 | -0.054578 | |||||||||||
| 26 | 1.513388 | |||||||||||
| 28 | 3688.926484 | |||||||||||
| 30 | 6822.51713 | |||||||||||
| 32 | 8446.365204 | |||||||||||
| 34 | ||||||||||||
| 36 | ||||||||||||
| 38 | ||||||||||||
| 40 |
| Wafer: | A34-04 | A34-06 | |
| Measured Thickness[um]: | |||
| Vendor's Thickness [um]: | 254.5 | 254.3 | |
| Criteria/Quantity: | |||
| Thickness Pass | Thickness Pass | ||
| A34-04_ITS01.IT | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Time[s.10] | Bias[V] | I[nA]@20C | Slope: | Pass | |||||
| 0 | -150 | -483.318369 | Start 25/11/2001 | Slope: | 0.94 | ||||
| 1 | -150 | -483.324458 | at 20:45 | Istart[nA]: | -483.318 | ||||
| 2 | -150 | -483.56184 | T= 25C | Iend[nA]: | -456.026 | ||||
| 3 | -150 | -483.774864 | |||||||
| 4 | -150 | -483.92703 | Stop 26/11/2001 | ||||||
| 5 | -150 | -484.109642 | at 12:10 | ||||||
| 6 | -150 | -484.213127 | T= 23.5C | ||||||
| 7 | -150 | -484.401793 | |||||||
| 8 | -150 | -484.541815 | |||||||
| 9 | -150 | -484.602674 | |||||||
| 10 | -150 | -484.706124 | |||||||
| 11 | -150 | -484.840056 | |||||||
| 12 | -150 | -484.840056 | |||||||
| 13 | -150 | -484.949595 | |||||||
| 14 | -150 | -484.937416 | |||||||
| 15 | -150 | -485.028722 | |||||||
| 16 | -150 | -485.0044 | |||||||
| 17 | -150 | -485.040901 | |||||||
| 18 | -150 | -485.120029 | |||||||
| 19 | -150 | -485.113939 | |||||||
| 20 | -150 | -485.193066 | |||||||
| 21 | -150 | -485.205245 | |||||||
| 22 | -150 | -485.223513 | |||||||
| 23 | -150 | -485.241781 | |||||||
| 24 | -150 | -485.211335 | |||||||
| 25 | -150 | -485.235692 | |||||||
| 26 | -150 | -485.247836 | |||||||
| 27 | -150 | -485.253926 | |||||||
| 28 | -150 | -485.253926 | |||||||
| 29 | -150 | -485.284372 | |||||||
| 30 | -150 | -485.30873 | |||||||
| 31 | -150 | -485.30873 | |||||||
| 32 | -150 | -485.320909 | |||||||
| 33 | -150 | -485.369589 | |||||||
| 34 | -150 | -485.345232 | |||||||
| 35 | -150 | -485.387857 | |||||||
| 36 | -150 | -485.35741 | |||||||
| 37 | -150 | -485.3635 | |||||||
| 38 | -150 | -485.339142 | |||||||
| 39 | -150 | -485.381768 | |||||||
| 40 | -150 | -485.326964 | |||||||
| 41 | -150 | -485.3635 | |||||||
| 42 | -150 | -485.375679 | |||||||
| 43 | -150 | -485.345232 | |||||||
| 44 | -150 | -485.326964 | |||||||
| 45 | -150 | -485.278283 | |||||||
| 46 | -150 | -485.30873 | |||||||
| 47 | -150 | -485.260015 | |||||||
| 48 | -150 | -485.290462 | |||||||
| 49 | -150 | -485.223513 | |||||||
| 50 | -150 | -485.217424 | |||||||
| 51 | -150 | -485.199156 | |||||||
| 52 | -150 | -485.223513 | |||||||
| 53 | -150 | -485.199156 | |||||||
| 54 | -150 | -485.241781 | |||||||
| 55 | -150 | -485.199156 | |||||||
| 56 | -150 | -485.193066 | |||||||
| 57 | -150 | -485.235692 | |||||||
| 58 | -150 | -485.205245 | |||||||
| 59 | -150 | -485.199156 | |||||||
| 60 | -150 | -485.235692 | |||||||
| 61 | -150 | -485.211335 | |||||||
| 62 | -150 | -485.211335 | |||||||
| 63 | -150 | -485.278283 | |||||||
| 64 | -150 | -485.284372 | |||||||
| 65 | -150 | -485.241781 | |||||||
| 66 | -150 | -485.296551 | |||||||
| 67 | -150 | -485.320909 | |||||||
| 68 | -150 | -485.284372 | |||||||
| 69 | -150 | -485.296551 | |||||||
| 70 | -150 | -485.296551 | |||||||
| 71 | -150 | -485.339142 | |||||||
| 72 | -150 | -485.333053 | |||||||
| 73 | -150 | -485.339142 | |||||||
| 74 | -150 | -485.345232 | |||||||
| 75 | -150 | -485.351321 | |||||||
| 76 | -150 | -485.333053 | |||||||
| 77 | -150 | -485.333053 | |||||||
| 78 | -150 | -485.339142 | |||||||
| 79 | -150 | -485.333053 | |||||||
| 80 | -150 | -485.284372 | |||||||
| 81 | -150 | -485.339142 | |||||||
| 82 | -150 | -485.290462 | |||||||
| 83 | -150 | -485.35741 | |||||||
| 84 | -150 | -485.369589 | |||||||
| 85 | -150 | -485.320909 | |||||||
| 86 | -150 | -485.345232 | |||||||
| 87 | -150 | -485.3635 | |||||||
| 88 | -150 | -485.3635 | |||||||
| 89 | -150 | -485.448716 | |||||||
| 90 | -150 | -485.406091 | |||||||
| 91 | -150 | -485.436538 | |||||||
| 92 | -150 | -485.424359 | |||||||
| 93 | -150 | -485.430448 | |||||||
| 94 | -150 | -485.466985 | |||||||
| 95 | -150 | -485.515665 | |||||||
| 96 | -150 | -485.473074 | |||||||
| 97 | -150 | -485.515665 | |||||||
| 98 | -150 | -485.479163 | |||||||
| 99 | -150 | -485.497397 | |||||||
| 100 | -150 | -485.448716 | |||||||
| 101 | -150 | -485.466985 | |||||||
| 102 | -150 | -485.454806 | |||||||
| 103 | -150 | -485.430448 | |||||||
| 104 | -150 | -485.41218 | |||||||
| 105 | -150 | -485.442627 | |||||||
| 106 | -150 | -485.369589 | |||||||
| 107 | -150 | -485.406091 | |||||||
| 108 | -150 | -485.369589 | |||||||
| 109 | -150 | -485.302641 | |||||||
| 110 | -150 | -485.326964 | |||||||
| 111 | -150 | -485.266104 | |||||||
| 112 | -150 | -485.302641 | |||||||
| 113 | -150 | -485.266104 | |||||||
| 114 | -150 | -485.193066 | |||||||
| 115 | -150 | -485.223513 | |||||||
| 116 | -150 | -485.150475 | |||||||
| 117 | -150 | -485.132207 | |||||||
| 118 | -150 | -485.156565 | |||||||
| 119 | -150 | -485.138297 | |||||||
| 120 | -150 | -485.089616 | |||||||
| 121 | -150 | -485.120029 | |||||||
| 122 | -150 | -485.059169 | |||||||
| 123 | -150 | -485.10176 | |||||||
| 124 | -150 | -485.028722 | |||||||
| 125 | -150 | -485.059169 | |||||||
| 126 | -150 | -485.022633 | |||||||
| 127 | -150 | -485.059169 | |||||||
| 128 | -150 | -485.0044 | |||||||
| 129 | -150 | -484.980042 | |||||||
| 130 | -150 | -484.967863 | |||||||
| 131 | -150 | -485.022633 | |||||||
| 132 | -150 | -484.937416 | |||||||
| 133 | -150 | -484.973953 | |||||||
| 134 | -150 | -484.931362 | |||||||
| 135 | -150 | -484.876557 | |||||||
| 136 | -150 | -484.894825 | |||||||
| 137 | -150 | -484.858289 | |||||||
| 138 | -150 | -484.840056 | |||||||
| 139 | -150 | -484.785251 | |||||||
| 140 | -150 | -484.74266 | &nbs |