Tesla Batch A34 Summary:                                                  
                                                   
Wafer: A34-04 Device: IVS_T01 IVS_T02 IVS_T03 IVS_S04 IVS_S05 IVS_S06 IVS_S07 IVS_S08 IVS_S09 IVS_M10 IVS_M11 IVS_M12 IVS_M13 CVD_16 CVD_17 BOX_22 BOX_23 BOX_24 BOX_25 MFE_26 MFE_27 SCR ITS_T01  
  Criteria: Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vdep Pass Vdep Pass Vbd Pass Vbd Pass       P-spray Pass Thickness Pass Slope Pass  
3 Tiles Pass   Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Vop Pass Vop Pass                  
                              Resistivity Pass Resistivity Pass                  
Wafer: A34-06 Device: IVS_T01 IVS_T02 IVS_T03 IVS_S04 IVS_S05 IVS_S06 IVS_S07 IVS_S08 IVS_S09 IVS_M10 IVS_M11 IVS_M12 IVS_M13 CVD_16 CVD_17 BOX_22 BOX_23 BOX_24 BOX_25 MFE_26 MFE_27 SCR ITS  
  Criteria: Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vdep Pass Vdep Pass Vbd Pass Vbd Pass   Vbd Pass P-spray Pass   Thickness Pass    
3 Tiles Pass   Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Vop Pass Vop Pass                  
                              Resistivity Pass Resistivity Pass                  

Chart         I-V on Tile

Chart       I-V on Single chip

Chart      I-V on Mini chip

Chart      I-V on Diode with guard ring

Chart      C-V on Diode with guard ring

Chart      I-V on Oxide test structure

Chart       C-V on Oxide test structure

Chart       I-Vgate on Gate controlled diode

Chart      I-Vgate on MOSFET
                                                                                   -Vop = -150V

Chart    I - t  measurement on Tile       Bias = -150 V

Chart         I-V on Tile

Chart       I-V on Single chip

Chart      I-V on Mini chip

Chart      I-V on Diode with guard ring

Chart      C-V on Diode with guard ring

Chart      I-V on Oxide test structure

Chart       C-V on Oxide test structure

Chart       I-Vgate on Gate controlled diode

Chart      I-Vgate on MOSFET
                                                                                   -Vop = -150V

A34-04_IVS01.IV A34-04_IVS02.IV A34-04_IVS03.IV   Critera/Quantity:        
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass  
0 -9 -17 -10   Slope: Pass Pass Pass  
-5 -70 -81 -75   Slope: 1.04 1.05 1.09  
-10 -129 -145 -140   Vbd[V]: -360 -405 -300  
-15 -181 -203 -198   Iop[nA]: -508 -569 -599  
-20 -229 -256 -252   I50[na]: -487 -542 -549  
-25 -273 -305 -301   (Vop[V]): -150 -150 -150  
-30 -311 -347 -344            
-35 -346 -385 -383            
-40 -377 -419 -418            
-45 -405 -450 -449            
-50 -434 -482 -480            
-55 -456 -508 -505            
-60 -466 -519 -518            
-65 -470 -524 -523            
-70 -473 -527 -527            
-75 -476 -530 -531            
-80 -478 -533 -534            
-85 -480 -535 -538            
-90 -483 -538 -542            
-95 -485 -540 -545            
-100 -487 -542 -549            
-105 -489 -545 -553            
-110 -491 -547 -557            
-115 -493 -549 -561            
-120 -495 -552 -565            
-125 -497 -554 -570            
-130 -499 -557 -575            
-135 -501 -560 -581            
-140 -503 -563 -587            
-145 -505 -566 -593            
-150 -508 -569 -599            
-155 -510 -573 -606            
-160 -512 -577 -616            
-165 -515 -580 -624            
-170 -517 -584 -635            
-175 -520 -588 -646            
-180 -522 -592 -658            
-185 -525 -597 -673            
-190 -528 -601 -688            
-195 -531 -606 -705            
-200 -534 -612 -722            
-205 -537 -618 -738            
-210 -540 -623 -754            
-215 -544 -629 -770            
-220 -547 -636 -784            
-225 -551 -642 -797            
-230 -555 -650 -809            
-235 -559 -657 -818            
-240 -564 -666 -829            
-245 -569 -675 -840            
-250 -574 -684 -853            
-255 -579 -694 -871            
-260 -585 -703 -891            
-265 -592 -713 -918            
-270 -598 -722 -954            
-275 -605 -731 -1002            
-280 -614 -739 -1066            
-285 -621 -747 -1157            
-290 -629 -755 -1287            
-295 -637 -763 -1462            
-300 -646 -770 -1696            
-305 -655 -777 -2006            
-310 -667 -785 -2389            
-315 -679 -793 -2915            
-320 -685 -800 -3588            
-325 -705 -808 -4435            
-330 -733 -817 -5488            
-335 -778 -825 -6599            
-340 -858 -834 -8010            
-345 -984 -843 -9638            
-350 -1160 -853 -11327            
-355 -1396 -865              
-360 -1686 -879              
-365 -2030 -896              
-370 -2433 -916              
-375 -2900 -941              
-380 -3360 -981              
-385 -3883 -1024              
-390 -4445 -1099              
-395 -5022 -1248              
-400 -5623 -1460              
-405 -6228 -1878              
-410 -6925 -2522              
-415 -7660 -3377              
-420 -8448 -4533              
-425 -9242 -5986              
-430 -10129 -7586              
-435 -11075 -9676              
-440 -12025 -11818              
-445                  
-450                  
-455                  
-460                  
-465                  
-470                  
-475                  
-480                  
-485                  
-490                  
-495                  
-500                  
A34-04_IVS04.IV A34-04_IVS05.IV A34-04_IVS06.IV A34-04_IVS07.IV A34-04_IVS08.IV A34-04_IVS09.IV   Critera/Quantity:              
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass Pass Pass Pass  
0 -0.747261 -0.756695 -0.868507 -1 -1 -1   Slope: Pass Pass Pass Pass Pass Pass  
-5 -5.116336 -5.061008 -5.317744 -4 -5 -5   Slope: 1.29 1.07 1.12 1.08 1.06 1.07  
-10 -9.419127 -9.318697 -9.702766 -8 -9 -10   Vbd[V]: -250 -405 -350 -430 -445 -425  
-15 -13.307294 -13.170344 -13.667625 -12 -13 -14   Iop[nA]: -53 -40 -45 -33 -40 -41  
-20 -16.83513 -16.697571 -17.30989 -15 -16 -17   I50[nA]: -41 -37 -40 -31 -37 -38  
-25 -20.081152 -19.942376 -20.691646 -17 -20 -20   (Vop[V]): -150 -150 -150 -150 -150 -150  
-30 -22.947367 -22.825633 -23.750808 -20 -23 -23                  
-35 -25.490988 -25.378384 -26.503809 -22 -25 -26                  
-40 -27.739406 -27.658451 -28.909262 -24 -28 -28                  
-45 -29.749224 -29.782701 -31.071858 -26 -30 -31                  
-50 -31.811999 -31.877734 -33.2868 -27 -32 -33                  
-55 -33.312972 -33.37262 -34.723253 -28 -34 -34                  
-60 -34.201625 -34.062242 -35.490175 -28 -35 -35                  
-65 -34.900984 -34.568653 -36.09945 -29 -35 -35                  
-70 -35.677036 -35.022718 -36.677078 -29 -35 -36                  
-75 -36.641164 -35.434786 -37.22244 -30 -36 -36                  
-80 -37.659465 -35.825551 -37.755027 -30 -36 -37                  
-85 -38.58525 -36.222401 -38.272395 -30 -37 -37                  
-90 -39.447731 -36.588821 -38.775759 -31 -37 -37                  
-95 -40.286474 -36.929065 -39.271822 -31 -37 -38                  
-100 -41.144695 -37.244354 -39.765456 -31 -37 -38                  
-105 -41.976133 -37.548079 -40.254215 -31 -38 -38                  
-110 -42.885483 -37.846934 -40.750888 -32 -38 -38                  
-115 -43.855091 -38.134225 -41.245122 -32 -38 -39                  
-120 -44.881912 -38.414821 -41.734491 -32 -38 -39                  
-125 -45.98786 -38.686896 -42.223254 -32 -39 -39                  
-130 -47.19728 -38.958362 -42.693144 -33 -39 -40                  
-135 -48.510787 -39.221304 -43.159993 -33 -39 -40                  
-140 -49.897941 -39.481205 -43.628058 -33 -39 -40                  
-145 -51.308829 -39.742326 -44.086993 -33 -39 -40                  
-150 -52.946755 -39.997358 -44.571492 -33 -40 -41                  
-155 -54.47451 -40.263344 -45.048076 -34 -40 -41                  
-160 -56.288335 -40.515941 -45.532575 -34 -40 -41                  
-165 -58.114339 -40.771582 -46.029249 -34 -40 -41                  
-170 -60.020076 -41.034524 -46.552096 -34 -41 -42                  
-175 -61.658002 -41.296251 -47.062765 -35 -41 -42                  
-180 -63.922243 -41.557371 -47.591088 -35 -41 -42                  
-185 -65.261313 -41.831272 -48.123674 -35 -41 -42                  
-190 -67.489034 -42.114908 -48.661127 -35 -41 -42                  
-195 -70.112388 -42.401593 -49.197364 -35 -42 -43                  
-200 -72.315765 -42.705924 -49.780465 -36 -42 -43                  
-205 -74.43393 -43.024258 -50.366005 -36 -42 -43                  
-210 -75.687779 -43.362677 -50.962496 -36 -42 -44                  
-215 -79.126755 -43.729705 -51.610729 -36 -43 -44                  
-220 -81.470118 -44.121687 -52.282697 -36 -43 -44                  
-225 -83.064834 -44.562362 -52.996054 -37 -43 -45                  
-230 -85.103867 -45.052336 -53.773323 -37 -43 -45                  
-235 -89.096725 -45.598923 -54.61998 -37 -44 -45                  
-240 -91.756598 -46.196633 -55.5342 -37 -44 -46                  
-245 -94.623423 -46.877121 -56.57441 -37 -45 -46                  
-250 -97.313734 -47.622131 -57.697403 -37 -45 -47                  
-255 -100.764879 -48.443834 -58.918388 -38 -45 -47                  
-260 -103.284757 -49.33127 -60.302497 -38 -46 -48                  
-265 -105.841162 -50.262529 -61.688432 -38 -46 -49                  
-270 -110.241827 -51.206573 -63.24662 -38 -47 -49                  
-275 -113.145171 -52.140877 -64.810898 -38 -47 -50                  
-280 -115.531142 -53.036227 -66.448214 -39 -48 -51                  
-285 -119.724863 -53.8628 -68.07944 -39 -48 -52                  
-290 -121.94041 -54.616935 -69.716756 -39 -48 -52                  
-295 -125.050698 -55.283428 -71.347982 -39 -49 -53                  
-300 -129.19573 -55.869574 -72.960949 -40 -49 -54                  
-305 -132.865989 -56.389376 -74.762609 -40 -49 -54                  
-310 -135.203272 -56.838572 -76.52166 -40 -49 -55                  
-315 -137.723158 -57.247598 -78.548515 -40 -50 -55                  
-320 -140.7178 -57.613406 -80.49625 -40 -50 -55                  
-325 -143.870695 -57.951215 -82.675287 -41 -50 -56                  
-330 -146.384484 -58.270159 -85.170816 -41 -50 -56                  
-335 -147.03577 -58.575709 -87.556796 -41 -51 -56                  
-340 -150.639072 -58.869695 -90.301886 -41 -51 -57                  
-345 -152.732884 -59.15881 -93.436522 -42 -51 -57                  
-350 -156.470118 -59.44306 -97.045922 -42 -51 -57                  
-355 -159.324755 -59.720002 -101.337021 -42 -52 -58                  
-360 -160.04908 -60.003032 -106.011587 -42 -52 -58                  
-365 -163.877585 -60.282413 -110.893105 -43 -52 -58                  
-370 -165.855768 -60.446752 -117.868425 -43 -52 -58                  
-375 -167.718287 -60.732828 -127.290594 -43 -53 -59                  
-380 -171.972858 -61.024988 -140.803016 -43 -53 -59                  
-385 -172.605876 -61.402361 -162.575047 -44 -53 -59                  
-390 -176.434399 -62.193629 -205.741722 -44 -53 -59                  
-395 -179.264696 -64.482219 -266.371086 -44 -54 -60                  
-400 -181.25504 -70.958435 -378.60932 -44 -54 -60                  
-405 -182.953233 -87.848957 -533.868188 -45 -54.047834 -61                  
-410 -187.286931 -124.831584   -46 -54.30834 -62                  
-415 -191.681507 -201.621048   -48 -54.585286 -65                  
-420 -197.676896 -344.177043   -54 -54.91762 -73                  
-425 -210.270212 -573.851555   -64 -55.559764 -89                  
-430 -244.824259     -87 -57.436892 -120                  
-435 -343.288375     -159 -61.499747 -178                  
-440 -543.065154     -429 -70.994959 -283                  
-445         -90.496659 -467                  
-450         -129.926126                    
-455         -203.142717                    
-460         -339.052037                    
-465         -581.910327                    
-470                              
-475                              
-480                              
-485                              
-490                              
-495                              
-500                              
A34-04_IVS10.IV A34-04_IVS11.IV A34-04_IVS12.IV A34-04_IVS13.IV   Critera/Quantity:          
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass Pass  
0 -0.2 -0.2 -0.3 -0.1   Slope: Pass Pass Pass Pass  
-5 -1.3 -1.2 -1.5 -0.8   Slope: 1.10 1.09 1.12 1.11  
-10 -2.4 -2.3 -2.7 -1.5   Vbd[V]: -500 -500 -475 -480  
-15 -3.4 -3.2 -3.8 -2.2   Iop[nA]: -11.9 -10.4 -13.2 -7.4  
-20 -4.3 -4.1 -4.8 -2.7   I50[nA]: -10.8 -9.5 -11.8 -6.7  
-25 -5.2 -4.9 -5.7 -3.3   (Vop[V]}: -150 -150 -150 -150  
-30 -6.0 -5.6 -6.5 -3.8              
-35 -6.7 -6.3 -7.3 -4.2              
-40 -7.4 -6.9 -8.0 -4.6              
-45 -8.0 -7.4 -8.6 -5.0              
-50 -8.5 -8.0 -9.2 -5.4              
-55 -9.1 -8.2 -9.8 -5.7              
-60 -9.5 -8.4 -10.1 -5.8              
-65 -9.7 -8.6 -10.4 -6.0              
-70 -9.9 -8.8 -10.6 -6.1              
-75 -10.1 -8.9 -10.8 -6.2              
-80 -10.2 -9.0 -11.0 -6.3              
-85 -10.4 -9.2 -11.2 -6.4              
-90 -10.6 -9.3 -11.4 -6.5              
-95 -10.7 -9.4 -11.6 -6.6              
-100 -10.8 -9.5 -11.8 -6.7              
-105 -11.0 -9.6 -11.9 -6.8              
-110 -11.1 -9.7 -12.1 -6.9              
-115 -11.2 -9.8 -12.2 -6.9              
-120 -11.3 -9.9 -12.4 -7.0              
-125 -11.4 -10.0 -12.5 -7.1              
-130 -11.5 -10.0 -12.6 -7.2              
-135 -11.6 -10.1 -12.8 -7.2              
-140 -11.7 -10.2 -12.9 -7.3              
-145 -11.8 -10.3 -13.0 -7.4              
-150 -11.9 -10.4 -13.2 -7.4              
-155 -12.0 -10.4 -13.3 -7.5              
-160 -12.1 -10.5 -13.4 -7.6              
-165 -12.2 -10.6 -13.6 -7.6              
-170 -12.3 -10.7 -13.7 -7.7              
-175 -12.4 -10.7 -13.8 -7.7              
-180 -12.5 -10.8 -13.9 -7.8              
-185 -12.6 -10.9 -14.1 -7.9              
-190 -12.7 -11.0 -14.2 -7.9              
-195 -12.8 -11.0 -14.3 -8.0              
-200 -12.9 -11.1 -14.4 -8.0              
-205 -13.0 -11.2 -14.6 -8.1              
-210 -13.1 -11.3 -14.7 -8.1              
-215 -13.2 -11.4 -14.8 -8.2              
-220 -13.3 -11.5 -14.9 -8.3              
-225 -13.4 -11.6 -15.0 -8.3              
-230 -13.5 -11.7 -15.1 -8.4              
-235 -13.6 -11.8 -15.2 -8.4              
-240 -13.8 -11.9 -15.4 -8.5              
-245 -13.9 -12.0 -15.5 -8.5              
-250 -14.1 -12.2 -15.6 -8.6              
-255 -14.2 -12.3 -15.7 -8.6              
-260 -14.4 -12.4 -15.8 -8.7              
-265 -14.6 -12.6 -15.9 -8.7              
-270 -14.9 -12.7 -16.0 -8.8              
-275 -15.1 -12.9 -16.1 -8.8              
-280 -15.3 -13.0 -16.2 -8.9              
-285 -15.5 -13.2 -16.3 -8.9              
-290 -15.8 -13.3 -16.5 -9.0              
-295 -16.0 -13.4 -16.6 -9.0              
-300 -16.1 -13.5 -16.7 -9.1              
-305 -16.3 -13.6 -16.8 -9.2              
-310 -16.5 -13.6 -16.9 -9.2              
-315 -16.6 -13.7 -17.0 -9.3              
-320 -16.7 -13.8 -17.1 -9.3              
-325 -16.8 -13.9 -17.2 -9.4              
-330 -16.9 -13.9 -17.4 -9.4              
-335 -17.0 -14.0 -17.5 -9.5              
-340 -17.1 -14.1 -17.6 -9.5              
-345 -17.2 -14.1 -17.7 -9.6              
-350 -17.3 -14.2 -17.8 -9.6              
-355 -17.4 -14.3 -18.0 -9.7              
-360 -17.5 -14.3 -18.1 -9.7              
-365 -17.5 -14.4 -18.2 -9.8              
-370 -17.6 -14.5 -18.4 -9.8              
-375 -17.7 -14.5 -18.5 -9.9              
-380 -17.8 -14.6 -18.6 -9.9              
-385 -17.9 -14.7 -18.8 -10.0              
-390 -17.9 -14.7 -18.9 -10.1              
-395 -18.0 -14.8 -19.0 -10.1              
-400 -18.1 -14.9 -19.2 -10.2              
-405 -18.2 -14.9 -19.3 -10.2              
-410 -18.3 -15.0 -19.5 -10.3              
-415 -18.4 -15.1 -19.6 -10.4              
-420 -18.4 -15.1 -19.8 -10.4              
-425 -18.5 -15.2 -19.9 -10.5              
-430 -18.6 -15.3 -20.0 -10.5              
-435 -18.7 -15.3 -20.2 -10.6              
-440 -18.8 -15.4 -20.4 -10.7              
-445 -18.9 -15.5 -20.5 -10.7              
-450 -19.0 -15.5 -20.7 -10.8              
-455 -19.2 -15.6 -20.9 -10.9              
-460 -19.4 -15.7 -21.1 -11.2              
-465 -19.6 -15.8 -21.4 -11.9              
-470 -19.9 -15.8 -21.9 -13.6              
-475 -20.1 -15.9 -23.3 -17.1              
-480 -20.3 -16.1 -26.4 -24.4              
-485 -20.6 -16.3 -32.5 -38.5              
-490 -21.0 -16.5 -43.6 -60.6              
-495 -21.1 -16.7 -62.4 -105.1              
-500 -21.4 -16.8 -96.2                
  A34-04_IVD16.IV A34-04_IVD17.IV   Criteria/Quantity:      
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd[V] -500 -500  
0 -0.1 -0.1   Iop[nA]: -8.90 -9.44  
-5 -0.8 -0.7   (Vop[V]): -150 -150  
-10 -1.5 -1.4          
-15 -2.3 -2.1          
-20 -2.9 -2.8          
-25 -3.6 -3.4          
-30 -4.2 -4.0          
-35 -4.8 -4.6          
-40 -5.3 -5.1          
-45 -5.8 -5.6          
-50 -6.2 -6.1          
-55 -6.6 -6.5          
-60 -6.9 -6.9          
-65 -7.1 -7.2          
-70 -7.3 -7.4          
-75 -7.4 -7.6          
-80 -7.6 -7.8          
-85 -7.7 -7.9          
-90 -7.8 -8.1          
-95 -7.9 -8.2          
-100 -8.1 -8.4          
-105 -8.2 -8.5          
-110 -8.2 -8.6          
-115 -8.3 -8.7          
-120 -8.4 -8.8          
-125 -8.5 -9.0          
-130 -8.6 -9.1          
-135 -8.7 -9.2          
-140 -8.8 -9.3          
-145 -8.8 -9.3          
-150 -8.9 -9.4          
-155 -9.0 -9.5          
-160 -9.0 -9.6          
-165 -9.1 -9.7          
-170 -9.2 -9.8          
-175 -9.2 -9.9          
-180 -9.3 -10.0          
-185 -9.4 -10.0          
-190 -9.4 -10.1          
-195 -9.5 -10.2          
-200 -9.6 -10.3          
-205 -9.6 -10.4          
-210 -9.7 -10.4          
-215 -9.7 -10.5          
-220 -9.8 -10.6          
-225 -9.9 -10.7          
-230 -9.9 -10.7          
-235 -10.0 -10.8          
-240 -10.0 -10.9          
-245 -10.1 -10.9          
-250 -10.1 -11.0          
-255 -10.2 -11.1          
-260 -10.2 -11.1          
-265 -10.3 -11.2          
-270 -10.4 -11.3          
-275 -10.4 -11.4          
-280 -10.5 -11.4          
-285 -10.5 -11.5          
-290 -10.6 -11.6          
-295 -10.6 -11.6          
-300 -10.7 -11.7          
-305 -10.7 -11.8          
-310 -10.8 -11.8          
-315 -10.8 -11.9          
-320 -10.9 -12.0          
-325 -10.9 -12.0          
-330 -11.0 -12.1          
-335 -11.0 -12.2          
-340 -11.1 -12.2          
-345 -11.2 -12.3          
-350 -11.2 -12.3          
-355 -11.2 -12.4          
-360 -11.3 -12.5          
-365 -11.4 -12.5          
-370 -11.4 -12.6          
-375 -11.5 -12.7          
-380 -11.5 -12.7          
-385 -11.5 -12.8          
-390 -11.6 -12.9          
-395 -11.6 -12.9          
-400 -11.7 -13.0          
-405 -11.7 -13.0          
-410 -11.8 -13.1          
-415 -11.8 -13.2          
-420 -11.9 -13.2          
-425 -11.9 -13.3          
-430 -12.0 -13.3          
-435 -12.0 -13.4          
-440 -12.1 -13.5          
-445 -12.1 -13.5          
-450 -12.2 -13.6          
-455 -12.2 -13.6          
-460 -12.3 -13.7          
-465 -12.4 -13.7          
-470 -12.5 -13.8          
-475 -12.6 -13.9          
-480 -12.8 -13.9          
-485 -12.9 -14.0          
-490 -13.1 -14.1          
-495 -13.3 -14.2          
-500 -13.5 -14.4          
A34-04_CVD16.CV   A34-04_CVD17.CV     Criteria/Quantity:        
Bias [V] Capacitance [pF^-2] C[pF] Capacitance [pF^-2] C[pF]     Vdep[V] Pass Pass  
0 0.000249 63.3605 0.000239 64.6844     Vop[V] Pass Pass  
-5 0.005259 13.7895 0.004964 14.193     Resistivity Pass Pass  
-10 0.009611 10.2001 0.009113 10.4752   Vdep[V]:   -80 -90  
-15 0.013584 8.57995 0.01291 8.80119   Vop [V]:   -150 -150  
-20 0.017256 7.61247 0.016435 7.80026   Resistivity[kOhmcm]:   2.73 2.42  
-25 0.02072 6.94718 0.019766 7.11276   Cdep[pF]   3.19 3.09  
-30 0.023996 6.45545 0.022932 6.6036   Cmin[pF]   2.87 2.33  
-35 0.027126 6.07162 0.02598 6.20412   (Thickness[um]):   254.5 254.5  
-40 0.030004 5.77314 0.028834 5.8891   (Vbd[V]):   -500 -500  
-45 0.032659 5.53346 0.031495 5.6348            
-50 0.034921 5.35123 0.03392 5.42962            
-55 0.036707 5.21943 0.035988 5.27131            
-60 0.037794 5.14387 0.037607 5.15665            
-65 0.03841 5.10242 0.038597 5.09006            
-70 0.038881 5.07141 0.039138 5.05473            
-75 0.064094 3.94996 0.03956 5.0277            
-80 0.097994 3.19448 0.058639 4.12959            
-85 0.101072 3.14547 0.099635 3.16807            
-90 0.103386 3.11006 0.104581 3.09224            
-95 0.105385 3.08042 0.117117 2.92207            
-100 0.107084 3.05589 0.151378 2.57021            
-105 0.108486 3.03608 0.162098 2.48377            
-110 0.109509 3.02187 0.165982 2.45454            
-115 0.110621 3.00664 0.167579 2.44281            
-120 0.112119 2.98649 0.169355 2.42997            
-125 0.113362 2.97007 0.171322 2.41598            
-130 0.114279 2.95813 0.172738 2.40606            
-135 0.114935 2.94967 0.174169 2.39615            
-140 0.115903 2.93733 0.175161 2.38936            
-145 0.116295 2.93238 0.176417 2.38084            
-150 0.116834 2.9256 0.177566 2.37312            
-155 0.117227 2.9207 0.178284 2.36834            
-160 0.117456 2.91785 0.179209 2.36222            
-165 0.11769 2.91495 0.179916 2.35757            
-170 0.11842 2.90594 0.181236 2.34897            
-175 0.118678 2.90278 0.181576 2.34677            
-180 0.119528 2.89245 0.182173 2.34292            
-185 0.120177 2.88463 0.182852 2.33857            
-190 0.120813 2.87702 0.183286 2.3358            
-195 0.120881 2.87621 0.183639 2.33355            
-200 0.121822 2.86508 0.184117 2.33052            
A34-04_BOX22.IV A34-04_BOX23.IV       Criteria/Quantity:      
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd[V] Pass Pass  
0 0.000 -0.000925       Vbd[V]: 100 100  
2 0.000 -0.00028              
4 0.000 -0.000073              
6 0.001 0.000189              
8 0.001 0.000225              
10 0.001 0.000408              
12 0.001 0.000578              
14 0.001 0.000706              
16 0.001 0.00084              
18 0.001 0.00095              
20 0.001 0.001077              
22 0.001 0.001284              
24 0.001 0.001455              
26 0.002 0.001607              
28 0.002 0.001777              
30 0.002 0.002009              
32 0.002 0.002149              
34 0.002 0.002319              
36 0.002 0.002629              
38 0.002 0.002733              
40 0.002 0.002916              
42 0.003 0.003062              
44 0.003 0.003189              
46 0.003 0.003329              
48 0.003 0.003402              
50 0.003 0.003445              
52 0.003 0.003597              
54 0.003 0.003664              
56 0.003 0.00378              
58 0.003 0.00378              
60 0.003 0.003914              
62 0.003 0.003926              
64 0.003 0.004023              
66 0.003 0.004078              
68 0.003 0.004127              
70 0.003 0.004133              
72 0.003 0.0042              
74 0.003 0.004218              
76 0.003 0.004224              
78 0.004 0.004267              
80 0.004 0.00434              
82 0.004 0.004273              
84 0.004 0.004297              
86 0.004 0.004358              
88 0.004 0.004352              
90 0.004 0.004425              
92 0.004 0.004388              
94 0.005 0.004778              
96 0.005 0.004815              
98 0.005 0.00493              
100 0.007 0.005222              
  A34-04_COX22.CV A34-04_COX23.CV A34-04_COX24.CV A34-04_COX25.CV   Criteria/Quantity:        
Bias [V] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF]   Cox [pF]: 281.6 284.6 278.1 280.7
0 281.56999 284.637008 278.05 280.734991   Cmin [pF]: 6.8 7.8 1.8 1.8
-2 28.0291 169.004005 13.3413 11.573   CFB [pF]: 48.5 48.6 48.4 48.4
-4 8.37194 11.179 4.98348 5.02409   VFB [V]: 2 4 2 2
-6 7.16471 8.51509 3.85983 3.90236   (Vdep[V]): -80 -80 -80 -80
-8 6.88287 8.42203 3.34613 3.37626   CFB [pF]: 50.9 51.0 50.8 50.9
-10 6.82137 8.39318 3.03434 3.05693   VFB [V]: 2 4 2 2
-12 6.82572 8.21465 2.8219 2.8359   (Vdep[V]): -90 -90 -90 -90
-14 6.82957 8.36757 2.66341 2.67228   (Thickness[um]): 254.5 254.5 254.5 254.5
-16 6.72375 8.30054 2.53954 2.54481   (T[C]): 25 25 25 25
-18 6.93301 8.20729 2.4418 2.44224            
-20 6.82489 8.36553 2.36061 2.35647            
-22 6.78221 8.32471 2.28824 2.28309            
-24 6.79591 8.24152 2.22824 2.21901            
-26 6.80966 8.30081 2.1765 2.16571            
-28 6.75516 8.32389 2.12892 2.1163            
-30 6.84005 8.26678 2.08764 2.07406            
-32 6.86535 7.99415 2.04798 2.03053            
-34 6.58449 8.1414 2.01479 1.99576            
-36 6.75231 7.92082 1.9847 1.96497            
-38 6.59318 8.1436 1.95592 1.93707            
-40 6.52165 7.92654 1.92935 1.91105            
-42 6.77247 7.84165 1.90504 1.88623            
-44 6.63696 8.15268 1.88624 1.86545            
-46 6.57108 7.9521 1.86374 1.84636            
-48 6.83255 8.22806 1.84879 1.82436            
-50 6.6881 7.98542 1.82872 1.8112            
  A34-04_IVG24.IV     Criteria/Quantity:    
Bias [V] I_K487ox[nA]@20C I_K487ox[nA]@20C   Itop(VFB+3) [nA]: -0.12295  
0 0.0002     Ibot(VFB-3) [nA]: 0.0002  
-1 -0.021466     Iox [nA]: -0.1231  
-2 -0.043914     (VFB)[V]: 2  
-3 -0.086916     (VFB+3)[V]: 5  
-4 -0.104875     (VFB-3)[V]: 0  
-5 -0.122945     Itop(VFB+3) [nA]: -0.15769  
-6 -0.141957     Ibot(VFB-3) [nA]: -0.02147  
-7 -0.157686     Iox [nA]: -0.13622  
-8 -0.182005     (VFB)[V]: 4  
-9 -0.199735     (VFB+3)[V]: 7  
-10 -0.218682     (VFB-3)[V]: 1  
-11 -0.237453          
-12 -0.255994          
-13 -0.274317          
-14 -0.292882          
-15 -0.311253          
-16 -0.329576          
-17 -0.348011          
-18 -0.365988          
-19 -0.389919          
-20 -0.404188          
-21 -0.421029          
-22 -0.438393          
-23 -0.455575          
-24 -0.472281          
-25 -0.490186          
-26 -0.506586          
-27 -0.540355          
-28 -0.539802          
-29 -0.556325          
-30 -0.579421          
  A34-04_MFE27D.IV A34-04_MFE27H.IV   Criteria/Quantity:                
Bias [V] I_K487[nA]@20C I_K487[nA]@20C   P-spray Pass Pass            
0 -0.010484 -0.011077   Vth[V]: 26 26            
2 -0.011648 -0.011499   P-spray [cm-2]: 2.58E+12 2.58E+12            
4 -0.017049 -0.011507   (Cox[pF]:) 281.0 281            
6 -0.01247 -0.013004   (VFB[V]:) 0 0            
8 -0.013344 -0.013011                    
10 -0.01433 -0.014159   Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB.                
12 -0.015397 -0.015463                    
14 -0.016945 -0.017027                    
16 -0.018879 -0.01925                    
18 -0.021287 -0.021739                    
20 -0.017946 -0.02763                    
22 -0.027615 -0.033639                    
24 -0.032201 -0.033209                    
26 -0.037366 -0.03821                    
28 1345.105565 1155.217083                    
30 5169.031701 5156.139317                    
32 7031.684886 7154.236496                    
34 8044.626744 8244.829167                    
36                        
38                        
40                        
A34-06_IVS01.IV A34-06_IVS02.IV A34-06_IVS03.IV   Critera/Quantity:        
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass  
0 -7 -8 -8   Slope: Pass Pass Pass  
-5 -61 -65 -60   Slope: 1.15 1.24 1.25  
-10 -115 -121 -112   Vbd[V]: -220 -210 -170  
-15 -163 -172 -158   Iop[nA]: -515 -619 -613  
-20 -207 -218 -200   I50[na]: -448 -500 -491  
-25 -246 -261 -240   (Vop[V]): -150 -150 -150  
-30 -280 -299 -275            
-35 -310 -333 -307            
-40 -337 -363 -337            
-45 -360 -390 -364            
-50 -383 -413 -389            
-55 -406 -439 -414            
-60 -420 -458 -434            
-65 -425 -467 -443            
-70 -428 -472 -449            
-75 -431 -476 -455            
-80 -434 -480 -462            
-85 -438 -485 -468            
-90 -441 -489 -475            
-95 -444 -494 -482            
-100 -448 -500 -491            
-105 -452 -506 -500            
-110 -456 -513 -509            
-115 -461 -520 -520            
-120 -466 -530 -531            
-125 -472 -541 -544            
-130 -479 -553 -558            
-135 -486 -567 -571            
-140 -494 -582 -584            
-145 -504 -599 -597            
-150 -515 -619 -613            
-155 -529 -643 -701            
-160 -545 -671 -937            
-165 -566 -705 -1303            
-170 -593 -748 -1819            
-175 -628 -801 -2512            
-180 -674 -868 -3547            
-185 -735 -953 -5054            
-190 -812 -1057 -6859            
-195 -909 -1185 -9063            
-200 -1032 -1344 -11417            
-205 -1177 -1531              
-210 -1349 -1755              
-215 -1550 -2020              
-220 -1775 -2317              
-225 -2026 -2656              
-230 -2306 -3044              
-235 -2605 -3468              
-240 -2926 -3936              
-245 -3272 -4454              
-250 -3632 -5008              
-255 -4006 -5607              
-260 -4402 -6261              
-265 -4804 -6968              
-270 -5217 -7751              
-275 -5647 -8648              
-280 -6078 -9669              
-285 -6535 -10800              
-290 -7082 -12083              
-295 -7977                
-300 -9748                
-305                  
-310                  
-315                  
-320                  
-325                  
-330                  
-335                  
-340                  
-345                  
-350                  
-355                  
-360                  
-365                  
-370                  
-375                  
-380                  
-385                  
-390                  
-395                  
-400                  
-405                  
-410                  
-415                  
-420                  
-425                  
-430                  
-435                  
-440                  
-445                  
-450                  
-455                  
-460                  
-465                  
-470                  
-475                  
-480                  
-485                  
-490                  
-495                  
-500                  
A34-06_IVS04.IV A34-06_IVS05.IV A34-06_IVS06.IV A34-04_IVS07.IV A34-06_IVS08.IV A34-06_IVS09.IV   Critera/Quantity:              
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass Pass Pass Pass  
0 -0.604041 -0.707271 -0.68262 -1 -1 -1   Slope: Pass Pass Pass Pass Pass Pass  
-5 -4.490139 -4.4762 -5.714534 -4 -5 -5   Slope: 1.10 1.11 1.12 1.08 1.07 1.07  
-10 -8.44039 -8.223096 -10.157441 -8 -8 -9   Vbd[V]: -345 -410 -355 -430 -290 -290  
-15 -12.048569 -11.63711 -14.051086 -12 -12 -13   Iop[nA]: -41 -40 -47 -33 -36 -42  
-20 -15.386501 -14.79366 -17.604486 -15 -15 -17   I50[nA]: -37 -36 -42 -31 -34 -39  
-25 -18.492531 -17.747522 -20.894332 -17 -18 -20   (Vop[V]): -150 -150 -150 -150 -150 -150  
-30 -21.296661 -20.470699 -23.92306 -20 -20 -23                  
-35 -23.825673 -22.979018 -26.745451 -22 -23 -26                  
-40 -26.134959 -25.282824 -29.321331 -24 -25 -29                  
-45 -28.162429 -27.362031 -31.567314 -26 -26 -31                  
-50 -30.230681 -29.475933 -33.739647 -27 -28 -33                  
-55 -32.093202 -31.31776 -35.728772 -28 -30 -35                  
-60 -33.326971 -32.399969 -37.112273 -28 -31 -36                  
-65 -33.985549 -33.023854 -37.951626 -29 -31 -36                  
-70 -34.480395 -33.560698 -38.646113 -29 -32 -37                  
-75 -34.927766 -34.046415 -39.292521 -30 -32 -37                  
-80 -35.343485 -34.504742 -39.896317 -30 -32 -38                  
-85 -35.751293 -34.96246 -40.478202 -30 -33 -38                  
-90 -36.153623 -35.38731 -41.044873 -31 -33 -39                  
-95 -36.548647 -35.797552 -41.589021 -31 -33 -39                  
-100 -36.933324 -36.196836 -42.135603 -31 -34 -39                  
-105 -37.311917 -36.577256 -42.67184 -31 -34 -40                  
-110 -37.683204 -36.956454 -43.205032 -32 -34 -40                  
-115 -38.047187 -37.325916 -43.689531 -32 -34 -40                  
-120 -38.400211 -37.689899 -44.211769 -32 -35 -41                  
-125 -38.766024 -38.071532 -44.729137 -32 -35 -41                  
-130 -39.116007 -38.451949 -45.23981 -33 -35 -41                  
-135 -39.459901 -38.840281 -45.731003 -33 -35 -41                  
-140 -39.813539 -39.250523 -46.239847 -33 -36 -42                  
-145 -40.168392 -39.668069 -46.74687 -33 -36 -42                  
-150 -40.529331 -40.113004 -47.284932 -33 -36 -42                  
-155 -40.904878 -40.574374 -47.846119 -34 -36 -42                  
-160 -41.29808 -41.058873 -48.403051 -34 -36 -43                  
-165 -41.710756 -41.557371 -48.940503 -34 -37 -43                  
-170 -42.165431 -42.067435 -49.493784 -34 -37 -43                  
-175 -42.651145 -42.575063 -50.030627 -35 -37 -44                  
-180 -43.170338 -43.066867 -50.613122 -35 -37 -44                  
-185 -43.745529 -43.548321 -51.14814 -35 -38 -44                  
-190 -44.365154 -43.990212 -51.702636 -35 -38 -44                  
-195 -45.020077 -44.403498 -52.224874 -35 -38 -45                  
-200 -45.70422 -44.783915 -52.719722 -36 -38 -45                  
-205 -46.387147 -45.133899 -53.325343 -36 -38 -46                  
-210 -47.053635 -45.458928 -53.756279 -36 -39 -46                  
-215 -47.706738 -45.766913 -54.231043 -36 -39 -47                  
-220 -48.303229 -46.059073 -54.7758 -36 -39 -47                  
-225 -48.861985 -46.338453 -55.201256 -37 -39 -48                  
-230 -49.371443 -46.60505 -55.717408 -37 -40 -48                  
-235 -49.824289 -46.863122 -56.161734 -37 -40 -49                  
-240 -50.249139 -47.114503 -56.684581 -37 -40 -50                  
-245 -50.628947 -47.370144 -57.240293 -37 -40 -51                  
-250 -50.98319 -47.614827 -57.814265 -37 -41 -51                  
-255 -51.308829 -47.865598 -58.313983 -38 -41 -52                  
-260 -51.630814 -48.11211 -58.802132 -38 -41 -53                  
-265 -51.932714 -48.360447 -59.375498 -38 -42 -54                  
-270 -52.229744 -48.605129 -59.877646 -38 -42 -55                  
-275 -52.531644 -48.854075 -60.234329 -38 -43 -55                  
-280 -52.827454 -49.100583 -60.598918 -39 -47 -57                  
-285 -53.123875 -49.348314 -61.371927 -39 -59 -63                  
-290 -53.430034 -49.602126 -61.816252 -39 -90 -83                  
-295 -53.736194 -49.852897 -62.406662 -39 -169 -136                  
-300 -54.045399 -50.110364 -62.844903 -40 -366 -262                  
-305 -54.366773 -50.37635 -63.325747 -40   -521                  
-310 -54.692412 -50.636252 -63.928328 -40                      
-315 -55.029612 -50.921107 -64.60395 -40                      
-320 -55.375945 -51.244921 -65.163926 -40                      
-325 -55.753927 -51.603425 -65.443912 -41                      
-330 -56.314509 -51.977757 -66.277785 -41                      
-335 -58.039472 -52.308871 -67.014271 -41                      
-340 -63.715295 -52.720938 -67.848148 -41                      
-345 -81.001444 -53.214566 -69.241996 -42                      
-350 -125.5559 -53.767848 -73.630487 -42                      
-355 -232.96134 -54.428857 -86.765523 -42                      
-360 -477.937747 -55.286473 -121.599561 -42                      
-365   -56.244511 -201.280198 -43                      
-370   -57.398548 -364.06218 -43                      
-375   -58.463713   -43                      
-380   -60.811951   -43                      
-385   -63.605738   -44                      
-390   -65.778676   -44                      
-395   -70.867138   -44                      
-400   -75.973859   -44                      
-405   -83.850009   -45                      
-410   -99.231031   -46                      
-415   -119.554439   -48                      
-420   -166.586164   -54                      
-425   -236.436817   -64                      
-430   -401.647405   -87                      
-435       -159                      
-440       -429                      
-445                              
-450                              
-455                              
-460                              
-465                              
-470                              
-475                              
-480                              
-485                              
-490                              
-495                              
-500                              
A34-06_IVS10.IV A34-06_IVS11.IV A34-06_IVS12.IV A34-06_IVS13.IV   Critera/Quantity:          
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass Pass  
0 -0.2 -0.2 -0.2 -0.2   Slope: Pass Pass Pass Pass  
-5 -0.4 -1.2 -1.1 -1.2   Slope: 1.12 1.11 1.12 1.12  
-10 -0.8 -2.2 -2.0 -2.2   Vbd[V]: -395 -330 -500 -335  
-15 -1.4 -3.1 -2.8 -3.1   Iop[nA]: -12 -11 -11 -11  
-20 -2.1 -4.0 -3.6 -4.0   I50[nA]: -10 -10 -9 -10  
-25 -2.8 -4.8 -4.4 -4.8   (Vop[V]}: -150 -150 -150 -150  
-30 -3.5 -5.6 -5.0 -5.5              
-35 -4.3 -6.3 -5.7 -6.2              
-40 -5.0 -6.9 -6.2 -6.8              
-45 -5.7 -7.5 -6.7 -7.4              
-50 -6.3 -8.0 -7.2 -7.9              
-55 -6.9 -8.6 -7.7 -8.4              
-60 -7.5 -9.0 -8.0 -8.8              
-65 -8.1 -9.2 -8.3 -9.0              
-70 -8.6 -9.4 -8.5 -9.2              
-75 -9.1 -9.6 -8.7 -9.4              
-80 -9.6 -9.7 -8.8 -9.6              
-85 -9.9 -9.9 -9.0 -9.7              
-90 -10.1 -10.0 -9.2 -9.9              
-95 -10.3 -10.2 -9.3 -10.1              
-100 -10.4 -10.3 -9.4 -10.2              
-105 -10.6 -10.4 -9.6 -10.4              
-110 -10.7 -10.6 -9.7 -10.5              
-115 -10.8 -10.7 -9.8 -10.6              
-120 -11.0 -10.8 -10.0 -10.8              
-125 -11.1 -10.9 -10.1 -10.9              
-130 -11.2 -11.0 -10.2 -11.0              
-135 -11.3 -11.1 -10.3 -11.1              
-140 -11.4 -11.2 -10.4 -11.2              
-145 -11.5 -11.4 -10.5 -11.3              
-150 -11.7 -11.5 -10.6 -11.5              
-155 -11.8 -11.6 -10.7 -11.6              
-160 -11.9 -11.7 -10.8 -11.7              
-165 -12.0 -11.8 -10.9 -11.8              
-170 -12.1 -11.9 -11.0 -11.9              
-175 -12.2 -12.0 -11.1 -12.0              
-180 -12.3 -12.2 -11.2 -12.1              
-185 -12.4 -12.3 -11.3 -12.2              
-190 -12.5 -12.5 -11.4 -12.3              
-195 -12.6 -12.6 -11.5 -12.4              
-200 -12.8 -12.8 -11.6 -12.5              
-205 -12.9 -13.0 -11.8 -12.6              
-210 -13.0 -13.1 -11.9 -12.6              
-215 -13.2 -13.3 -12.0 -12.8              
-220 -13.3 -13.5 -12.1 -12.8              
-225 -13.5 -13.7 -12.2 -12.9              
-230 -13.7 -13.9 -12.3 -13.0              
-235 -13.9 -14.1 -12.4 -13.1              
-240 -14.1 -14.2 -12.5 -13.2              
-245 -14.3 -14.4 -12.5 -13.3              
-250 -14.4 -14.6 -12.6 -13.4              
-255 -14.6 -14.7 -12.7 -13.5              
-260 -14.8 -14.8 -12.8 -13.6              
-265 -15.0 -15.0 -12.9 -13.7              
-270 -15.1 -15.1 -13.0 -13.8              
-275 -15.2 -15.2 -13.1 -13.9              
-280 -15.4 -15.4 -13.2 -14.1              
-285 -15.5 -15.5 -13.3 -14.2              
-290 -15.6 -15.6 -13.3 -14.3              
-295 -15.7 -15.8 -13.4 -14.4              
-300 -15.8 -15.9 -13.5 -14.5              
-305 -15.9 -16.0 -13.6 -14.6              
-310 -16.0 -16.2 -13.7 -14.7              
-315 -16.1 -16.3 -13.8 -14.8              
-320 -16.2 -16.5 -13.9 -14.9              
-325 -16.3 -17.3 -14.0 -15.3              
-330 -16.4 -20.4 -14.1 -16.6              
-335 -16.5 -32.5 -14.2 -21.7              
-340 -16.6 -63.7 -14.3 -38.6              
-345 -16.7 -132.9 -14.4 -84.6              
-350 -16.8   -14.5                
-355 -16.9   -14.6                
-360 -17.0   -14.7                
-365 -17.1   -14.8                
-370 -17.2   -14.9                
-375 -17.3   -15.0                
-380 -17.5   -15.1                
-385 -17.7   -15.2                
-390 -18.5   -15.3                
-395 -20.8   -15.4                
-400 -26.2   -15.5                
-405 -38.2   -15.7                
-410 -65.7   -15.8                
-415 -122.1   -15.9                
-420     -16.1                
-425     -16.2                
-430     -16.3                
-435     -16.5                
-440     -16.6                
-445     -16.8                
-450     -17.0                
-455     -17.2                
-460     -17.6                
-465     -18.1                
-470     -18.6                
-475     -19.2                
-480     -19.8                
-485     -20.4                
-490     -21.1                
-495     -21.9                
-500     -22.9                
  A34-06_IVD16.IV A34-06_IVD17.IV   Criteria/Quantity:      
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd[V] -500 -500  
0 -0.1 -0.1   Iop[nA]: -9.23 -9.02  
-5 -0.8 -0.7   (Vop[V]): -150 -150  
-10 -1.6 -1.4          
-15 -2.3 -2.1          
-20 -3.0 -2.7          
-25 -3.6 -3.4          
-30 -4.2 -4.0          
-35 -4.8 -4.5          
-40 -5.4 -5.0          
-45 -5.9 -5.5          
-50 -6.3 -6.0          
-55 -6.7 -6.4          
-60 -7.0 -6.7          
-65 -7.3 -7.0          
-70 -7.5 -7.2          
-75 -7.6 -7.4          
-80 -7.8 -7.5          
-85 -7.9 -7.7          
-90 -8.1 -7.8          
-95 -8.2 -7.9          
-100 -8.3 -8.1          
-105 -8.4 -8.2          
-110 -8.5 -8.3          
-115 -8.6 -8.4          
-120 -8.7 -8.5          
-125 -8.8 -8.6          
-130 -8.9 -8.7          
-135 -9.0 -8.8          
-140 -9.1 -8.9          
-145 -9.1 -8.9          
-150 -9.2 -9.0          
-155 -9.3 -9.1          
-160 -9.4 -9.2          
-165 -9.5 -9.3          
-170 -9.5 -9.3          
-175 -9.6 -9.4          
-180 -9.7 -9.5          
-185 -9.7 -9.6          
-190 -9.8 -9.6          
-195 -9.9 -9.7          
-200 -9.9 -9.8          
-205 -10.0 -9.9          
-210 -10.1 -9.9          
-215 -10.1 -10.0          
-220 -10.2 -10.1          
-225 -10.3 -10.1          
-230 -10.3 -10.2          
-235 -10.4 -10.3          
-240 -10.4 -10.3          
-245 -10.5 -10.4          
-250 -10.6 -10.5          
-255 -10.6 -10.5          
-260 -10.7 -10.6          
-265 -10.7 -10.6          
-270 -10.8 -10.7          
-275 -10.8 -10.8          
-280 -10.9 -10.8          
-285 -11.0 -10.9          
-290 -11.0 -11.0          
-295 -11.1 -11.0          
-300 -11.1 -11.1          
-305 -11.2 -11.1          
-310 -11.2 -11.2          
-315 -11.3 -11.3          
-320 -11.3 -11.3          
-325 -11.4 -11.4          
-330 -11.5 -11.4          
-335 -11.5 -11.5          
-340 -11.6 -11.6          
-345 -11.6 -11.6          
-350 -11.7 -11.7          
-355 -11.7 -11.7          
-360 -11.8 -11.8          
-365 -11.8 -11.8          
-370 -11.9 -11.9          
-375 -11.9 -12.0          
-380 -12.0 -12.0          
-385 -12.0 -12.1          
-390 -12.1 -12.1          
-395 -12.1 -12.2          
-400 -12.2 -12.2          
-405 -12.2 -12.3          
-410 -12.3 -12.3          
-415 -12.3 -12.4          
-420 -12.4 -12.5          
-425 -12.4 -12.5          
-430 -12.5 -12.6          
-435 -12.5 -12.6          
-440 -12.6 -12.7          
-445 -12.6 -12.7          
-450 -12.7 -12.8          
-455 -12.7 -12.9          
-460 -12.8 -13.0          
-465 -12.8 -13.2          
-470 -12.9 -13.4          
-475 -12.9 -13.6          
-480 -13.0 -13.8          
-485 -13.0 -14.1          
-490 -13.1 -14.5          
-495 -13.1 -14.9          
-500 -13.2 -15.3          
A34-06_CVD16.CV   A34-06_CVD17.CV     Criteria/Quantity:        
Bias [V] Capacitance [pF^-2] C[pF] Capacitance [pF^-2] C[pF]     Vdep[V] Pass Pass  
0 0.000247 63.6497 0.000232 65.5901     Vop[V] Pass Pass  
-5 0.005153 13.9312 0.004971 14.1839     Resistivity Pass Pass  
-10 0.009444 10.2902 0.009188 10.4325   Vdep[V]:   -100 -60  
-15 0.013366 8.64954 0.01306 8.7505   Vop [V]:   -150 -150  
-20 0.017015 7.66621 0.016673 7.74452   Resistivity[kOhmcm]:   2.18 3.63  
-25 0.02045 6.99278 0.020078 7.05724   Cdep[pF]   3.38 5.10  
-30 0.023695 6.49638 0.023357 6.54328   Cmin[pF]   3.14 4.91  
-35 0.026848 6.10299 0.026435 6.15045   (Thickness[um]):   254.3 254.3  
-40 0.029774 5.79542 0.029383 5.83379   (Vbd[V]):   -500 -500  
-45 0.032464 5.55009 0.032091 5.58228            
-50 0.034905 5.35248 0.034607 5.37551            
-55 0.036854 5.20903 0.036819 5.21151            
-60 0.038086 5.12412 0.038498 5.0966            
-65 0.038805 5.07639 0.039494 5.03193            
-70 0.039203 5.05054 0.040058 4.99638            
-75 0.039458 5.03423 0.040394 4.97557            
-80 0.039559 5.02777 0.040565 4.96505            
-85 0.039778 5.01392 0.040745 4.95409            
-90 0.041157 4.92921 0.040874 4.94628            
-95 0.059518 4.09897 0.040963 4.94086            
-100 0.087532 3.37999 0.041011 4.93801            
-105 0.089578 3.34117 0.041102 4.9325            
-110 0.091296 3.30959 0.041178 4.92794            
-115 0.092813 3.28243 0.041044 4.93602            
-120 0.093733 3.26629 0.041117 4.93159            
-125 0.094734 3.24898 0.041242 4.92414            
-130 0.0953 3.23931 0.04124 4.92427            
-135 0.095653 3.23334 0.041202 4.92653            
-140 0.09651 3.21895 0.041265 4.92276            
-145 0.096947 3.21168 0.041188 4.92736            
-150 0.097168 3.20803 0.041362 4.91699            
-155 0.097934 3.19546 0.041346 4.91794            
-160 0.098159 3.1918 0.041361 4.91705            
-165 0.098527 3.18583 0.041253 4.92346            
-170 0.099255 3.17412 0.04139 4.9153            
-175 0.099647 3.16787 0.041392 4.9152            
-180 0.099874 3.16427 0.041381 4.91585            
-185 0.100401 3.15596 0.041428 4.91309            
-190 0.100738 3.15067 0.041458 4.91132            
-195 0.100921 3.14782 0.041442 4.91225            
-200 0.101151 3.14424 0.041381 4.91585            
A34-06_BOX22.IV A34-06_BOX23.IV   A34-06_BOX25.IV   Criteria/Quantity:          
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd[V] Pass Pass   Pass  
0 -0.001 -0.000286   -0.000274   Vbd[V]: 100 100   100  
2 0.000 0.000219   0.000347              
4 0.000 0.000438   0.000548              
6 0.000 0.000633   0.000688              
8 0.000 0.000712   0.00081              
10 0.000 0.00087   0.000986              
12 0.001 0.001023   0.001096              
14 0.001 0.00112   0.001296              
16 0.001 0.001205   0.001473              
18 0.001 0.001315   0.00168              
20 0.001 0.001388   0.001887              
22 0.001 0.001613   0.002222              
24 0.002 0.001723   0.002422              
26 0.002 0.001875   0.002782              
28 0.002 0.001996   0.002989              
30 0.002 0.002216   0.003238              
32 0.002 0.002313   0.003542              
34 0.002 0.002502   0.003847              
36 0.003 0.002581   0.003999              
38 0.003 0.002715   0.004169              
40 0.003 0.002794   0.004352              
42 0.003 0.003025   0.004565              
44 0.003 0.003056   0.004693              
46 0.003 0.003214   0.004717              
48 0.003 0.003311   0.004845              
50 0.004 0.003348   0.004979              
52 0.003 0.003457   0.005028              
54 0.004 0.003549   0.005101              
56 0.004 0.00367   0.005125              
58 0.004 0.003737   0.00518              
60 0.004 0.003755   0.005168              
62 0.004 0.003932   0.005253              
64 0.004 0.003914   0.005228              
66 0.004 0.003969   0.005338              
68 0.004 0.004096   0.005314              
70 0.004 0.004121   0.005338              
72 0.004 0.004096   0.005301              
74 0.004 0.004133   0.005289              
76 0.004 0.004224   0.005228              
78 0.004 0.004358   0.00532              
80 0.004 0.004291   0.005368              
82 0.004 0.00437   0.005295              
84 0.004 0.004437   0.005271              
86 0.004 0.004376   0.005356              
88 0.004 0.004498   0.005271              
90 0.004 0.004516   0.005247              
92 0.005 0.004535   0.005204              
94 0.005 0.004559   0.005283              
96 0.005 0.004541   0.005259              
98 0.006 0.004486   0.005204              
100 0.007 0.004614   0.005125              
  A34-06_COX22.CV A34-06_COX23.CV A34-06_COX24.CV A34-06_COX25.CV   Criteria/Quantity:          
Bias [V] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF]   Cox [pF]: 281.8 281.8 276.3 281.5  
0 281.768997 281.798002 276.278 281.507012   Cmin [pF]: 7.43933 8.1298 1.88959 6.12808  
-2 277.674994 276.889012 17.665799 265.665989   CFB [pF]: 43.0 43.0 42.9 43.0  
-4 180.877993 91.681503 6.3375 13.5495   VFB [V]: 6 5 2 4  
-6 11.7412 11.8975 4.82624 8.05883   (Vdep[V]): -60 -60 -60 -60  
-8 8.43332 9.10503 4.09846 7.24242   CFB [pF]: 53.2 53.2 53.0 53.1  
-10 8.21159 8.93565 3.64935 6.81064   VFB [V]: 6 5 2 4  
-12 8.03256 8.7414 3.33153 6.67264   (Vdep[V]): -100 -100 -100 -100  
-14 8.10317 8.82587 3.09509 6.62672   (Thickness[um]): 254.3 254.3 254.3 254.3  
-16 7.86409 8.72025 2.90731 6.57667   (T[C]): 25 25 25 25  
-18 8.08018 8.80292 2.75837 6.63025              
-20 7.88439 8.70172 2.63655 6.4204              
-22 7.69456 8.77121 2.53335 6.48866              
-24 8.015 8.63398 2.44378 6.42976              
-26 7.80639 8.76369 2.36822 6.38414              
-28 7.82644 8.71338 2.30219 6.56445              
-30 7.7484 8.71356 2.24312 6.45001              
-32 7.82506 8.68121 2.18859 6.36113              
-34 7.42662 8.22692 2.13971 6.34834              
-36 7.68552 8.47274 2.10089 6.38068              
-38 7.47197 8.21701 2.06205 6.19631              
-40 7.37038 8.471 2.0283 6.26389              
-42 7.73793 8.25981 1.99481 6.14447              
-44 7.5393 8.1298 1.96663 6.24489              
-46 7.43933 8.46772 1.93977 6.12808              
-48 7.82552 8.61158 1.91371 6.25005              
-50 7.61408 8.30886 1.88959 6.13184              
  A34-06_IVG24.IV     Criteria/Quantity:    
Bias [V] I_K487ox[nA]@20C I_K487ox[nA]@20C   Itop(VFB+3) [nA]: -0.17161  
0 0.001559     Ibot(VFB-3) [nA]: 0.001559  
-1 -0.014911     Iox [nA]: -0.1732  
-2 -0.075795     (VFB)[V]: 2  
-3 -0.144093     (VFB+3)[V]: 5  
-4 -0.160351     (VFB-3)[V]: 0  
-5 -0.171608     Itop(VFB+3) [nA]: -0.20813  
-6 -0.181146     Ibot(VFB-3) [nA]: -0.14409  
-7 -0.189996     Iox [nA]: -0.06403  
-8 -0.198799     (VFB)[V]: 6  
-9 -0.208125     (VFB+3)[V]: 9  
-10 -0.218399     (VFB-3)[V]: 3  
-11 -0.229244          
-12 -0.241342          
-13 -0.253028          
-14 -0.265226          
-15 -0.278107          
-16 -0.290481          
-17 -0.303668          
-18 -0.317096          
-19 -0.330165          
-20 -0.345517          
-21 -0.36098          
-22 -0.377103          
-23 -0.391684          
-24 -0.405524          
-25 -0.418452          
-26 -0.430903          
-27 -0.443395          
-28 -0.457864          
-29 -0.468944          
-30 -0.481054          
  A34-06_MFE26D.IV     Criteria/Quantity:                
Bias [V] I_K487[nA]@20C I_K487[nA]@20C   P-spray Pass              
0 -0.0143     Vth[V]: 25              
2 -0.015071     P-spray [cm-2]: 2.47E+12              
4 -0.015471     (Cox[pF]:) 280.0              
6 -0.016945     (VFB[V]:) 0              
8 -0.018642                      
10 -0.019872     Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB.                
12 -0.022095                      
14 -0.025414                      
16 -0.029349                      
18 -0.038462                      
20 -0.039877                      
22 -0.046642                      
24 -0.054578                      
26 1.513388                      
28 3688.926484                      
30 6822.51713                      
32 8446.365204                      
34                        
36                        
38                        
40                        
Wafer: A34-04 A34-06  
Measured Thickness[um]:      
Vendor's Thickness [um]: 254.5 254.3  
       
Criteria/Quantity:      
  Thickness Pass Thickness Pass  
       
    A34-04_ITS01.IT       Criteria/Quantity:      
Time[s.10] Bias[V] I[nA]@20C         Slope: Pass  
0 -150 -483.318369   Start 25/11/2001     Slope: 0.94  
1 -150 -483.324458   at 20:45     Istart[nA]: -483.318  
2 -150 -483.56184   T= 25C     Iend[nA]: -456.026  
3 -150 -483.774864              
4 -150 -483.92703   Stop 26/11/2001          
5 -150 -484.109642   at 12:10          
6 -150 -484.213127   T= 23.5C          
7 -150 -484.401793              
8 -150 -484.541815              
9 -150 -484.602674              
10 -150 -484.706124              
11 -150 -484.840056              
12 -150 -484.840056              
13 -150 -484.949595              
14 -150 -484.937416              
15 -150 -485.028722              
16 -150 -485.0044              
17 -150 -485.040901              
18 -150 -485.120029              
19 -150 -485.113939              
20 -150 -485.193066              
21 -150 -485.205245              
22 -150 -485.223513              
23 -150 -485.241781              
24 -150 -485.211335              
25 -150 -485.235692              
26 -150 -485.247836              
27 -150 -485.253926              
28 -150 -485.253926              
29 -150 -485.284372              
30 -150 -485.30873              
31 -150 -485.30873              
32 -150 -485.320909              
33 -150 -485.369589              
34 -150 -485.345232              
35 -150 -485.387857              
36 -150 -485.35741              
37 -150 -485.3635              
38 -150 -485.339142              
39 -150 -485.381768              
40 -150 -485.326964              
41 -150 -485.3635              
42 -150 -485.375679              
43 -150 -485.345232              
44 -150 -485.326964              
45 -150 -485.278283              
46 -150 -485.30873              
47 -150 -485.260015              
48 -150 -485.290462              
49 -150 -485.223513              
50 -150 -485.217424              
51 -150 -485.199156              
52 -150 -485.223513              
53 -150 -485.199156              
54 -150 -485.241781              
55 -150 -485.199156              
56 -150 -485.193066              
57 -150 -485.235692              
58 -150 -485.205245              
59 -150 -485.199156              
60 -150 -485.235692              
61 -150 -485.211335              
62 -150 -485.211335              
63 -150 -485.278283              
64 -150 -485.284372              
65 -150 -485.241781              
66 -150 -485.296551              
67 -150 -485.320909              
68 -150 -485.284372              
69 -150 -485.296551              
70 -150 -485.296551              
71 -150 -485.339142              
72 -150 -485.333053              
73 -150 -485.339142              
74 -150 -485.345232              
75 -150 -485.351321              
76 -150 -485.333053              
77 -150 -485.333053              
78 -150 -485.339142              
79 -150 -485.333053              
80 -150 -485.284372              
81 -150 -485.339142              
82 -150 -485.290462              
83 -150 -485.35741              
84 -150 -485.369589              
85 -150 -485.320909              
86 -150 -485.345232              
87 -150 -485.3635              
88 -150 -485.3635              
89 -150 -485.448716              
90 -150 -485.406091              
91 -150 -485.436538              
92 -150 -485.424359              
93 -150 -485.430448              
94 -150 -485.466985              
95 -150 -485.515665              
96 -150 -485.473074              
97 -150 -485.515665              
98 -150 -485.479163              
99 -150 -485.497397              
100 -150 -485.448716              
101 -150 -485.466985              
102 -150 -485.454806              
103 -150 -485.430448              
104 -150 -485.41218              
105 -150 -485.442627              
106 -150 -485.369589              
107 -150 -485.406091              
108 -150 -485.369589              
109 -150 -485.302641              
110 -150 -485.326964              
111 -150 -485.266104              
112 -150 -485.302641              
113 -150 -485.266104              
114 -150 -485.193066              
115 -150 -485.223513              
116 -150 -485.150475              
117 -150 -485.132207              
118 -150 -485.156565              
119 -150 -485.138297              
120 -150 -485.089616              
121 -150 -485.120029              
122 -150 -485.059169              
123 -150 -485.10176              
124 -150 -485.028722              
125 -150 -485.059169              
126 -150 -485.022633              
127 -150 -485.059169              
128 -150 -485.0044              
129 -150 -484.980042              
130 -150 -484.967863              
131 -150 -485.022633              
132 -150 -484.937416              
133 -150 -484.973953              
134 -150 -484.931362              
135 -150 -484.876557              
136 -150 -484.894825              
137 -150 -484.858289              
138 -150 -484.840056              
139 -150 -484.785251              
140 -150 -484.74266       &nbs