Tesla Batch A33 Summary:                                                  
                                                   
Wafer: A33-02 Device: IVS_T01 IVS_T02 IVS_T03 IVS_S04 IVS_S05 IVS_S06 IVS_S07 IVS_S08 IVS_S09 IVS_M10 IVS_M11 IVS_M12 IVS_M13 CVD_16 CVD_17 BOX_22 BOX_23 BOX_24 BOX_25 MFE_26 MFE_27 SCR ITS_T01  
  Criteria: Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd No Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vbd No Vbd No Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass Vdep Pass Vdep Pass   Vbd Pass Vbd Pass Vbd Pass P-spray Pass   Thickness Pass Slope Pass  
2 Tiles Pass   Slope Pass Slope No Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Slope Pass Vop Pass Vop Pass                  
                              Resistivity Pass Resistivity Pass                  
                                                   

Chart         I-V on Tile

Chart       I-V on Single chip

Chart      I-V on Mini chip

Chart      I-V on Diode with guard ring

Chart      C-V on Diode with guard ring

Chart      I-V on Oxide test structure

Chart       C-V on Oxide test structure

Chart       I-Vgate on Gate controlled diode

Chart      I-Vgate on MOSFET
                                                                                   -Vop = -150V

Chart    I - t  measurement on Tile       Bias = -150 V

A33-02_IVS01.IV A33-02_IVS02.IV A33-02_IVS03.IV   Critera/Quantity:        
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd Pass Pass Pass  
0 -7 -4 -9   Slope Pass No Pass  
-5 -20 -12 -21   Slope: 1.08 2.06 1.11  
-10 -33 -20 -40   Vbd[V] -395 -195 -260  
-15 -51 -33 -73   Iop[nA]: -148 -182 -268  
-20 -72 -46 -108   I50[nA]: -137 -89 -241  
-25 -88 -54 -140   (Vop[V]} -150 -150 -150  
-30 -98 -59 -168            
-35 -106 -62 -187            
-40 -111 -65 -197            
-45 -116 -67 -205            
-50 -120 -71 -211            
-55 -124 -73 -215            
-60 -126 -75 -219            
-65 -128 -76 -222            
-70 -130 -77 -225            
-75 -131 -79 -228            
-80 -133 -80 -231            
-85 -134 -82 -234            
-90 -135 -83 -236            
-95 -136 -86 -239            
-100 -137 -89 -241            
-105 -138 -92 -244            
-110 -139 -97 -247            
-115 -141 -101 -249            
-120 -142 -107 -252            
-125 -143 -117 -254            
-130 -144 -125 -257            
-135 -145 -134 -260            
-140 -146 -149 -263            
-145 -147 -165 -265            
-150 -148 -182 -268            
-155 -149 -203 -272            
-160 -150 -226 -275            
-165 -151 -254 -278            
-170 -152 -278 -282            
-175 -153 -318 -285            
-180 -155 -410 -289            
-185 -156 -769 -293            
-190 -157 -1151 -297            
-195 -158 -1560 -301            
-200 -159 -2013 -306            
-205 -160 -2499 -311            
-210 -161 -3066 -316            
-215 -163 -3716 -321            
-220 -164 -4371 -327            
-225 -165 -5036 -333            
-230 -166 -5677 -340            
-235 -167 -6317 -349            
-240 -169 -6973 -361            
-245 -170 -7656 -396            
-250 -171 -8305 -495            
-255 -172 -8935 -756            
-260 -174 -9611 -1292            
-265 -175 -10503 -2199            
-270 -176 -11524 -3710            
-275 -178   -6320            
-280 -179                
-285 -181                
-290 -182                
-295 -184                
-300 -185                
-305 -187                
-310 -189                
-315 -190                
-320 -192                
-325 -194                
-330 -197                
-335 -201                
-340 -205                
-345 -212                
-350 -221                
-355 -239                
-360 -263                
-365 -307                
-370 -380                
-375 -467                
-380 -645                
-385 -883                
-390 -1218                
-395 -1763                
-400 -2429                
-405 -3270                
-410 -4394                
-415 -5847                
-420 -7919                
-425 -10493                
-430 -11665                
-435                  
-440                  
-445                  
-450                  
-455                  
-460                  
-465                  
-470                  
-475                  
-480                  
-485                  
-490                  
-495                  
-500                  
A33-02_IVS04.IV A33-02_IVS05.IV A33-02_IVS06.IV A33-02_IVS07.IV A33-02_IVS08.IV A33-02_IVS09.IV   Critera/Quantity:              
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd: No Pass Pass Pass Pass No  
0 -3 -0.421277 -0.447462 0 -1 -3   Slope: Pass Pass Pass Pass Pass Pass  
-5 -8 -1.218856 -1.763979 -1 -2 -11   Slope: 1.10 1.06 1.07 1.09 1.06 1.08  
-10 -36 -2.061861 -2.913264 -1 -3 -28   Vbd[V]: -10 -495 -445 -500 -500 -30  
-15 -111 -4.209847 -3.911479 -2 -4 -46   Iop[nA]: -325 -11.0345 -11.7692 -5 -12 -165  
-20 -176 -5.592496 -4.800864 -2 -5 -63   I50[nA]: -294 -10.4581 -10.9627 -4 -11 -153  
-25 -214 -6.341705 -5.611365 -2 -6 -79   (Vop[V]): -150 -150 -150 -150 -150 -150  
-30 -236 -6.889505 -6.333792 -2 -7 -94                  
-35 -247 -7.375831 -6.983849 -3 -8 -109                  
-40 -253 -7.815289 -7.582778 -3 -8 -121                  
-45 -258 -8.397783 -8.394131 -3 -9 -130                  
-50 -262 -8.906629 -9.109924 -4 -10 -136                  
-55 -265 -9.301654 -9.640681 -4 -10 -140                  
-60 -268 -9.570076 -9.969362 -4 -10 -142                  
-65 -271 -9.755111 -10.164744 -4 -10 -144                  
-70 -274 -9.91093 -10.318129 -4 -11 -146                  
-75 -277 -10.033881 -10.44534 -4 -11 -147                  
-80 -281 -10.13918 -10.573161 -4 -11 -148                  
-85 -284 -10.229872 -10.681503 -4 -11 -150                  
-90 -288 -10.311433 -10.781325 -4 -11 -151                  
-95 -291 -10.389343 -10.87019 -4 -11 -152                  
-100 -294 -10.458122 -10.962708 -4 -11 -153                  
-105 -298 -10.51838 -11.043051 -5 -11 -154                  
-110 -301 -10.579855 -11.130091 -5 -11 -156                  
-115 -304 -10.643766 -11.215304 -5 -11 -157                  
-120 -307 -10.696719 -11.290779 -5 -11 -158                  
-125 -310 -10.758195 -11.372949 -5 -11 -159                  
-130 -313 -10.812366 -11.45451 -5 -12 -160                  
-135 -316 -10.873842 -11.531811 -5 -12 -161                  
-140 -319 -10.931056 -11.612764 -5 -12 -163                  
-145 -322 -10.982793 -11.689456 -5 -12 -164                  
-150 -325 -11.03453 -11.769191 -5 -12 -165                  
-155 -328 -11.08931 -11.845884 -5 -12 -166                  
-160 -331 -11.14409 -11.918315 -5 -12 -167                  
-165 -335 -11.195218 -12.000485 -5 -12 -168                  
-170 -338 -11.246955 -12.079003 -5 -12 -170                  
-175 -342 -11.305995 -12.162999 -5 -12 -171                  
-180 -345 -11.361993 -12.237866 -5 -12 -172                  
-185 -349 -11.410078 -12.31334 -5 -12 -174                  
-190 -352 -11.461206 -12.400988 -5 -12 -175                  
-195 -356 -11.515377 -12.48255 -5 -12 -177                  
-200 -360 -11.565288 -12.561676 -5 -12 -178                  
-205 -364 -11.617634 -12.649324 -5 -12 -180                  
-210 -369 -11.668153 -12.735147 -5 -13 -182                  
-215 -373 -11.721106 -12.824012 -5 -13 -184                  
-220 -378 -11.775278 -12.914094 -5 -13 -186                  
-225 -383 -11.823972 -12.999308 -6 -13 -188                  
-230 -388 -11.879969 -13.097912 -6 -13 -191                  
-235 -393 -11.92988 -13.188604 -6 -13 -194                  
-240 -399 -11.981617 -13.28173 -6 -13 -197                  
-245 -405 -12.038222 -13.380943 -6 -13 -200                  
-250 -411 -12.094829 -13.477721 -6 -13 -204                  
-255 -417 -12.145956 -13.577542 -6 -13 -207                  
-260 -424 -12.203172 -13.677972 -6 -13 -212                  
-265 -431 -12.259169 -13.780228 -6 -13 -217                  
-270 -439 -12.324296 -13.886136 -6 -13 -222                  
-275 -447 -12.379076 -13.993261 -6 -13 -228                  
-280 -455 -12.438116 -14.101605 -6 -14 -234                  
-285 -465 -12.501418 -14.215425 -6 -14 -241                  
-290 -474 -12.561676 -14.328029 -6 -14 -248                  
-295 -485 -12.618891 -14.445501 -6 -14 -256                  
-300 -496 -12.679757 -14.562366 -6 -14 -266                  
-305 -508 -12.746103 -14.685925 -6 -14 -273                  
-310 -521 -12.806969 -14.810093 -7 -14 -287                  
-315 -534 -12.875748 -14.93487 -7 -14 -300                  
-320 -549 -12.934181 -15.063299 -7 -14 -313                  
-325 -565 -12.99809 -15.19538 -7 -14 -327                  
-330 -582 -13.062001 -15.335373 -7 -15 -340                  
-335 -599 -13.13078 -15.472932 -7 -15 -360                  
-340   -13.201386 -15.612925 -7 -15 -378                  
-345   -13.271383 -15.763267 -7 -15 -400                  
-350   -13.337118 -15.91239 -7 -15 -419                  
-355   -13.411376 -16.073078 -7 -15 -446                  
-360   -13.481373 -16.236201 -7 -16 -471                  
-365   -13.550761 -16.418801 -7 -15 -498                  
-370   -13.62441 -16.644616 -8 -16 -524                  
-375   -13.705362 -17.057901 -8 -16 -560                  
-380   -13.777185 -17.759087 -8 -16 -589                  
-385   -13.856312 -18.519313 -8 -16                    
-390   -13.933612 -19.257626 -8 -16                    
-395   -14.012131 -20.03672 -8 -16                    
-400   -14.093083 -21.019108 -8 -16                    
-405   -14.17647 -22.409304 -8 -16.170464                    
-410   -14.267162 -23.927322 -9 -16.122988                    
-415   -14.354811 -25.633415 -9 -16.313502                    
-420   -14.44185 -27.730884 -9 -16.560012                    
-425   -14.53315 -30.119295 -10 -16.651921                    
-430   -14.618363 -33.101156 -11 -16.644008                    
-435   -14.704794 -37.392259 -12 -16.843651                    
-440   -14.782704 -44.267157 -13 -16.836347                    
-445   -14.862439 -60.294587 -14 -16.959298                    
-450   -14.93974 -101.178767 -15 -17.102943                    
-455   -15.013997 -190.780694 -16 -17.180244                    
-460   -15.107732 -326.464811 -17 -17.185722                    
-465   -15.275724 -481.687142 -18 -17.322064                    
-470   -15.760832   -20 -17.377452                    
-475   -17.061554   -22 -17.429189                    
-480   -20.906506   -24 -17.450492                    
-485   -31.175332   -26 -17.544835                    
-490   -53.055706   -29 -17.543619                    
-495   -87.015084   -33 -17.809606                    
-500   -129.049645   -40 -17.989163                    
A33-02_IVS10.IV A33-02_IVS11.IV A33-02_IVS12.IV A33-02_IVS13.IV   Critera/Quantity:          
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd: No Pass Pass Pass  
0 -0.5 -0.5 -0.1 -0.1   Slope: Pass Pass Pass Pass  
-5 -1.0 -1.1 -0.4 -0.2   Slope: 1.07 1.17 1.10 1.10  
-10 -1.8 -2.2 -0.6 -0.4   Vbd[V]: -25 -205 -500 -500  
-15 -10.4 -4.0 -0.9 -0.5   Iop[nA]: -32.7 -19.6 -2.7 -1.4  
-20 -22.4 -6.4 -1.0 -0.6   I50[nA]: -30.6 -16.8 -2.5 -1.3  
-25 -24.6 -8.9 -1.2 -0.6   (Vop[V]): -150 -150 -150 -150  
-30 -25.3 -10.7 -1.4 -0.7              
-35 -25.8 -11.8 -1.5 -0.8              
-40 -26.2 -12.5 -1.7 -0.8              
-45 -26.6 -13.0 -1.8 -0.9              
-50 -27.1 -13.6 -2.0 -1.0              
-55 -27.5 -14.2 -2.1 -1.1              
-60 -27.8 -14.7 -2.2 -1.1              
-65 -28.2 -15.0 -2.2 -1.2              
-70 -28.6 -15.3 -2.3 -1.2              
-75 -28.9 -15.5 -2.3 -1.2              
-80 -29.3 -15.8 -2.3 -1.2              
-85 -29.7 -16.0 -2.4 -1.2              
-90 -30.0 -16.3 -2.4 -1.3              
-95 -30.3 -16.5 -2.4 -1.3              
-100 -30.6 -16.8 -2.5 -1.3              
-105 -30.9 -17.0 -2.5 -1.3              
-110 -31.2 -17.3 -2.5 -1.3              
-115 -31.4 -17.5 -2.5 -1.3              
-120 -31.6 -17.8 -2.6 -1.4              
-125 -31.8 -18.1 -2.6 -1.4              
-130 -32.0 -18.4 -2.6 -1.4              
-135 -32.2 -18.7 -2.6 -1.4              
-140 -32.4 -19.0 -2.7 -1.4              
-145 -32.5 -19.3 -2.7 -1.4              
-150 -32.7 -19.6 -2.7 -1.4              
-155 -32.9 -20.0 -2.7 -1.4              
-160 -33.0 -20.3 -2.8 -1.5              
-165 -33.2 -20.7 -2.8 -1.5              
-170 -33.3 -21.1 -2.8 -1.5              
-175 -33.5 -21.5 -2.8 -1.5              
-180 -33.6 -21.9 -2.8 -1.5              
-185 -33.8 -22.4 -2.9 -1.5              
-190 -34.0 -22.9 -2.9 -1.5              
-195 -34.1 -23.4 -2.9 -1.5              
-200 -34.3 -23.9 -2.9 -1.6              
-205 -34.5 -24.4 -2.9 -1.6              
-210 -34.6 -25.0 -3.0 -1.6              
-215 -34.8 -25.6 -3.0 -1.6              
-220 -35.0 -26.3 -3.0 -1.6              
-225 -35.1 -27.0 -3.0 -1.6              
-230 -35.3 -27.8 -3.0 -1.6              
-235 -35.5 -28.6 -3.1 -1.6              
-240 -35.7 -29.5 -3.1 -1.7              
-245 -35.9 -30.4 -3.1 -1.7              
-250 -36.1 -31.4 -3.1 -1.7              
-255 -36.2 -32.5 -3.1 -1.7              
-260 -36.4 -33.7 -3.2 -1.7              
-265 -36.6 -35.0 -3.2 -1.7              
-270 -36.8 -36.4 -3.2 -1.7              
-275 -37.0 -37.9 -3.2 -1.7              
-280 -37.3 -39.4 -3.2 -1.8              
-285 -37.5 -41.2 -3.3 -1.8              
-290 -37.7 -43.3 -3.3 -1.8              
-295 -37.9 -45.3 -3.3 -1.8              
-300 -38.1 -47.6 -3.3 -1.8              
-305 -38.4 -50.2 -3.3 -1.8              
-310 -38.6 -52.9 -3.4 -1.8              
-315 -38.8 -56.1 -3.4 -1.9              
-320 -39.0 -59.4 -3.4 -1.9              
-325 -39.3 -63.0 -3.4 -1.9              
-330 -39.5 -67.1 -3.4 -1.9              
-335 -39.8 -71.5 -3.5 -1.9              
-340 -40.1 -76.4 -3.5 -1.9              
-345 -40.3 -81.9 -3.5 -2.0              
-350 -40.6 -87.7 -3.5 -2.0              
-355 -40.9 -94.1 -3.6 -2.0              
-360 -41.2 -101.5 -3.6 -2.0              
-365 -41.4 -109.5 -3.6 -2.0              
-370 -41.8 -118.0 -3.6 -2.1              
-375 -42.1 -127.4 -3.7 -2.1              
-380 -42.4 -137.7 -3.7 -2.1              
-385 -42.7 -148.2 -3.7 -2.1              
-390 -43.0   -3.8 -2.1              
-395 -43.3   -3.8 -2.2              
-400 -43.7   -3.8 -2.2              
-405 -44.1   -3.9 -2.2              
-410 -44.4   -3.9 -2.3              
-415 -44.8   -4.0 -2.3              
-420 -45.2   -4.0 -2.3              
-425 -45.6   -4.2 -2.4              
-430 -46.0   -4.4 -2.5              
-435 -46.4   -4.6 -2.7              
-440 -46.8   -4.8 -3.0              
-445 -47.2   -5.1 -3.4              
-450 -47.6   -5.6 -3.8              
-455 -48.1   -5.7 -4.1              
-460 -48.5   -6.2 -4.4              
-465 -48.9   -6.7 -4.8              
-470 -49.2   -7.2 -5.3              
-475 -49.5   -7.9 -5.0              
-480 -49.8   -8.8 -5.2              
-485 -50.1   -10.0 -5.6              
-490 -50.3   -11.8 -6.6              
-495 -50.5   -14.8 -7.6              
-500 -50.8   -19.8 -8.9              
A33-02_IVD16.IV A33-02_IVD17.IV   Criteria/Quantity:      
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd[V] -500 -370  
0 -0.3 0.0   Iop[nA]: -10.39 -1.62  
-5 -0.8 -0.2   (Vop[V]) -150 -150  
-10 -1.9 -0.3          
-15 -3.6 -0.5          
-20 -5.0 -0.6          
-25 -5.8 -0.7          
-30 -6.4 -0.8          
-35 -6.8 -0.9          
-40 -7.2 -1.0          
-45 -7.5 -1.1          
-50 -7.7 -1.2          
-55 -8.0 -1.3          
-60 -8.2 -1.3          
-65 -8.4 -1.3          
-70 -8.6 -1.4          
-75 -8.7 -1.4          
-80 -8.9 -1.4          
-85 -9.0 -1.4          
-90 -9.2 -1.4          
-95 -9.3 -1.5          
-100 -9.4 -1.5          
-105 -9.5 -1.5          
-110 -9.7 -1.5          
-115 -9.8 -1.5          
-120 -9.9 -1.5          
-125 -10.0 -1.6          
-130 -10.0 -1.6          
-135 -10.1 -1.6          
-140 -10.2 -1.6          
-145 -10.3 -1.6          
-150 -10.4 -1.6          
-155 -10.5 -1.6          
-160 -10.6 -1.6          
-165 -10.6 -1.7          
-170 -10.7 -1.7          
-175 -10.8 -1.7          
-180 -10.8 -1.7          
-185 -10.9 -1.7          
-190 -11.0 -1.7          
-195 -11.1 -1.7          
-200 -11.1 -1.7          
-205 -11.2 -1.7          
-210 -11.2 -1.8          
-215 -11.3 -1.8          
-220 -11.4 -1.8          
-225 -11.4 -1.8          
-230 -11.5 -1.8          
-235 -11.6 -1.8          
-240 -11.6 -1.8          
-245 -11.7 -1.8          
-250 -11.7 -1.8          
-255 -11.8 -1.8          
-260 -11.9 -1.9          
-265 -11.9 -1.9          
-270 -12.0 -1.9          
-275 -12.0 -1.9          
-280 -12.1 -1.9          
-285 -12.1 -1.9          
-290 -12.2 -1.9          
-295 -12.3 -1.9          
-300 -12.3 -1.9          
-305 -12.4 -2.0          
-310 -12.4 -2.0          
-315 -12.5 -2.0          
-320 -12.6 -2.1          
-325 -12.6 -2.4          
-330 -12.7 -2.9          
-335 -12.8 -3.2          
-340 -12.8 -3.6          
-345 -12.9 -4.2          
-350 -12.9 -5.4          
-355 -13.0 -7.5          
-360 -13.0 -10.5          
-365 -13.1 -13.8          
-370 -13.2 -19.1          
-375 -13.2 -26.1          
-380 -13.3 -36.6          
-385 -13.3 -52.6          
-390 -13.4 -76.4          
-395 -13.4 -107.4          
-400 -13.5            
-405 -13.5            
-410 -13.6            
-415 -13.7            
-420 -13.7            
-425 -13.8            
-430 -13.8            
-435 -13.9            
-440 -13.9            
-445 -14.0            
-450 -14.1            
-455 -14.1            
-460 -14.2            
-465 -14.2            
-470 -14.3            
-475 -14.3            
-480 -14.4            
-485 -14.5            
-490 -14.6            
-495 -14.6            
-500 -14.7            
A33-02_CVD16.CV   A33-02_CVD17.CV     Criteria/Quantity:        
Bias [V] Capacitance [pF^-2] C[pF] Capacitance [pF^-2] C[pF]     Vdep Pass   Pass  
0 0.000244 63.9917 0.00019 72.59     Vop Pass   Pass  
-5 0.00544 13.5584 0.00474 14.5252     Resistivity Pass Pass  
-10 0.010111 9.94472 0.009012 10.5337   Vdep[V]:   -90 -75  
-15 0.014356 8.34601 0.013031 8.76005   Vop [V]:   -150 -150  
-20 0.018271 7.39801 0.01652 7.78036   Resistivity[kOhmcm]:   2.39 2.87  
-25 0.022034 6.73678 0.019832 7.1009   Cdep[pF]   3.00 2.96  
-30 0.02546 6.26715 0.023009 6.59253   Cmin[pF]   2.25 2.33  
-35 0.028769 5.89569 0.025982 6.2039   (Thickness[um]):   252.9 252.9  
-40 0.031731 5.61379 0.028687 5.90411   (Vbd[V]):   -500 -370  
-45 0.034448 5.38786 0.0311 5.67047            
-50 0.036655 5.22319 0.033107 5.49595            
-55 0.038186 5.11738 0.034363 5.39452            
-60 0.038976 5.06524 0.035218 5.32866            
-65 0.039514 5.03068 0.04313 4.81518            
-70 0.039878 5.00766 0.101732 3.13525            
-75 0.041229 4.92493 0.114267 2.95828            
-80 0.067402 3.85181 0.156295 2.52946            
-85 0.105824 3.07403 0.157906 2.51652            
-90 0.110833 3.00376 0.161632 2.48735            
-95 0.116502 2.92977 0.160485 2.49622            
-100 0.131401 2.75868 0.162679 2.47933            
-105 0.167416 2.444 0.165595 2.4574            
-110 0.177123 2.37609 0.166181 2.45307            
-115 0.179808 2.35828 0.167472 2.44359            
-120 0.181534 2.34704 0.168317 2.43745            
-125 0.18368 2.33329 0.169907 2.42602            
-130 0.184935 2.32536 0.170573 2.42128            
-135 0.186452 2.31588 0.170743 2.42007            
-140 0.187907 2.3069 0.174114 2.39653            
-145 0.188388 2.30395 0.173428 2.40127            
-150 0.189715 2.29588 0.173582 2.4002            
-155 0.190666 2.29015 0.176374 2.38113            
-160 0.191467 2.28535 0.175372 2.38792            
-165 0.19249 2.27927 0.174998 2.39047            
-170 0.193135 2.27546 0.177036 2.37667            
-175 0.19364 2.27249 0.180395 2.35444            
-180 0.193995 2.27041 0.178242 2.36862            
-185 0.194626 2.26673 0.178207 2.36885            
-190 0.195491 2.26171 0.182619 2.34006            
-195 0.196534 2.2557 0.180467 2.35397            
-200 0.197241 2.25165 0.184248 2.32969            
  A33-02_BOX23.IV A33-02_BOX24.IV A33-02_BOX25.IV   Criteria/Quantity:          
Bias [V] Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C Current [nA]@20C   Vbd   Pass Pass Pass  
0   -0.000956 -0.000852 -0.000237   Vbd[V]:   100 100 100  
2   -0.000286 -0.000274 0.00028              
4   -0.000018 0.000055 0.000487              
6   0.000256 0.000207 0.000694              
8   0.000463 0.000317 0.000822              
10   0.000639 0.000475 0.000901              
12   0.000974 0.000688 0.001065              
14   0.001193 0.000749 0.00126              
16   0.001583 0.000937 0.00143              
18   0.001893 0.001096 0.001589              
20   0.002258 0.001309 0.001716              
22   0.002532 0.001418 0.001802              
24   0.002818 0.001564 0.001905              
26   0.003019 0.001771 0.002057              
28   0.003226 0.001984 0.002155              
30   0.003421 0.002112 0.002222              
32   0.003561 0.002191 0.002331              
34   0.003749 0.002301 0.002489              
36   0.003822 0.002453 0.002526              
38   0.003926 0.002544 0.002605              
40   0.004048 0.002709 0.002605              
42   0.004102 0.002715 0.002642              
44   0.004279 0.002849 0.002782              
46   0.004303 0.002891 0.002849              
48   0.004407 0.002982 0.002903              
50   0.004395 0.003025 0.002958              
52   0.004352 0.00308 0.002976              
54   0.004449 0.003092 0.003043              
56   0.004504 0.003129 0.003019              
58   0.004522 0.003153 0.00311              
60   0.004589 0.003171 0.003202              
62   0.004571 0.003238 0.003177              
64   0.004632 0.003281 0.00322              
66   0.004717 0.003378 0.003287              
68   0.004851 0.00336 0.003269              
70   0.004808 0.003354 0.003329              
72   0.004863 0.003384 0.003396              
74   0.004924 0.003475 0.003427              
76   0.004869 0.003512 0.003421              
78   0.004985 0.003536 0.0035              
80   0.005034 0.003469 0.00353              
82   0.00504 0.003524 0.00353              
84   0.004942 0.003561 0.003615              
86   0.004979 0.003549 0.003622              
88   0.004991 0.00364 0.003768              
90   0.004948 0.003615 0.003676              
92   0.005095 0.003664 0.003749              
94   0.005082 0.003567 0.003762              
96   0.005095 0.003707 0.00381              
98   0.005131 0.003658 0.003798              
100   0.005204 0.003731 0.003829              
  A33-02_COX22.CV A33-02_COX23.CV A33-02_COX24.CV A33-02_COX25.CV   Criteria/Quantity:          
Bias [V] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF] Capacitance [pF]   Cox [pF]: 276.577 280.155 277.775 279.301  
0 276.577011 280.15501 277.774997 279.300999   Cmin [pF]: 6.48366 18.5185 2.4403 3.01733  
-2 261.287991 279.745005 277.049994 277.798007   CFB [pF]: 51.0 51.1 51.0 51.1  
-4 11.7841 278.638002 275.014012 270.870992   VFB [V]: 4 12 8 7  
-6 8.04607 274.344991 264.843009 107.561002   (Vdep[V]): -90 -90 -90 -90  
-8 7.81334 218.689997 40.6956 8.74766   CFB [pF]: 47.3 47.4 47.3 47.4  
-10 7.66603 114.454002 6.60143 5.91445   VFB [V]: 4 12 8 7  
-12 7.26941 18.691699 4.84048 4.9553   (Vdep[V]): -75 -75 -75 -75  
-14 7.45138 18.655201 4.15037 4.44642   (Thickness[um]): 252.9 252.9 252.9 252.9  
-16 7.21436 18.646 3.76794 4.11951   (T[C]): 25 25 25 25  
-18 7.42702 18.6288 3.50364 3.89398              
-20 7.11257 18.6085 3.32302 3.73844              
-22 7.38922 18.5878 3.18511 3.61125              
-24 7.22833 18.569399 3.07624 3.52439              
-26 7.01161 18.552901 2.98035 3.44547              
-28 7.35449 18.5446 2.90455 3.3809              
-30 7.22358 18.5403 2.84043 3.33676              
-32 6.7858 18.518499 2.78108 3.30123              
-34 6.85689 18.5223 2.72417 3.24491              
-36 6.62377 18.5283 2.67317 3.19518              
-38 6.7882 18.535101 2.62821 3.15543              
-40 6.5924 18.5421 2.58847 3.12317              
-42 6.78811 18.5491 2.55335 3.09394              
-44 6.59706 18.557 2.52343 3.071              
-46 6.48366 18.5618 2.4932 3.04994              
-48 6.74686 18.5728 2.46578 3.0314              
-50 6.59015 18.5771 2.4403 3.01733              
  A33-02_IVG22.IV A33-02_IVG24.IV   Criteria/Quantity:      
Bias [V] I_K487ox[nA]@20C I_K487ox[nA]@20C   Itop(VFB+3) [nA]: -0.16048 -0.06943  
0 -0.000282 0.000141   Ibot(VFB-3) [nA]: -0.03541 -0.0081  
-1 -0.035411 -0.008097   Iox [nA]: -0.1251 -0.0613  
-2 -0.042502 -0.009491   (VFB)[V]: 4 4  
-3 -0.101344 -0.010745   (VFB+3)[V]: 7 7  
-4 -0.112701 -0.012045   (VFB-3)[V]: 1 1  
-5 -0.111371 -0.013357   Itop(VFB+3) [nA]: -0.42738 -0.08568  
-6 -0.13702 -0.014858   Ibot(VFB-3) [nA]: -0.21356 -0.07507  
-7 -0.160481 -0.069434   Iox [nA]: -0.21382 -0.01062  
-8 -0.185036 -0.076913   (VFB)[V]: 12 12  
-9 -0.213563 -0.075065   (VFB+3)[V]: 15 15  
-10 -0.257553 -0.079537   (VFB-3)[V]: 9 9  
-11 -0.281761 -0.080791          
-12 -0.320185 -0.081985          
-13 -0.341145 -0.083321          
-14 -0.394815 -0.084403          
-15 -0.427384 -0.08568          
-16 -0.457847 -0.086916          
-17 -0.486114 -0.088105          
-18 -0.510416 -0.089399          
-19 -0.532694 -0.090541          
-20 -0.553924 -0.091776          
-21 -0.575555 -0.093053          
-22 -0.596762 -0.094165          
-23 -0.61808 -0.095325          
-24 -0.637587 -0.096449          
-25 -0.654816 -0.097684          
-26 -0.670974 -0.098879          
-27 -0.686843 -0.100038          
-28 -0.706691 -0.101262          
-29 -0.687085 -0.102262          
-30 -0.732028 -0.103333          
  A33-02_MFE26D.IV A33-02_MFE26H.IV   Criteria/Quantity:                
Bias [V] I_K487[nA]@20C I_K487[nA]@20C   P-spray Pass Pass            
0 -0.001053 -0.001193   Vth [V]: 24 24            
2 -0.001376 -0.001193   P-spray [cm-2]: 2.36E+12 2.36E+12            
4 -0.001376 0.004157   (Cox[pF]:) 278.0 278            
6 -0.00137 -0.001388   (VFB[V]:) 0 0          
8 -0.001363 -0.001388                    
10 -0.001863 -0.001382   Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB.                
12 -0.001869 -0.001783                    
14 -0.001869 -0.001789                    
16 -0.002891 -0.002769                    
18 -0.002897 -0.002776                    
20 -0.003664 0.012952                    
22 -0.004382 -0.004413                    
24 -0.004875 -0.004419                    
26 94.331263 55.07587                    
28 3363.860869 2727.620915                    
30 4726.058333 3650.969172                    
32 5378.428216 4054.51577                    
34 5758.236486 4291.348241                    
36 6003.346634 4423.855018                    
38 6192.155512 4550.701165                    
40   4622.098001                    
Wafer: A33-02  
Measured Thickness[um]:    
Vendor's Thickness [um]: 252.9  
     
Criteria/Quantity:    
Thickness Pass  
     
    A33-02_ITS01.IT       Criteria/Quantity:      
Time[s.10] Bias[V] I[nA]@20C         Slope Pass  
0 -150 -149.608366   Start 26/11/2001     Slope: 0.99  
1 -150 -149.292829   at 12:20     Istart[nA]: -149.61  
2 -150 -149.124995   T= 24C     Istop[nA]: -148.81  
3 -150 -149.185414              
4 -150 -149.104856   Stop 27/11/2001          
5 -150 -149.151851   at 05:20 AM          
6 -150 -149.131712   T= 24C          
7 -150 -149.178707              
8 -150 -149.218987              
9 -150 -149.306262              
10 -150 -149.23241              
11 -150 -149.326401              
12 -150 -149.319685              
13 -150 -149.353257              
14 -150 -149.393537              
15 -150 -149.487518              
16 -150 -149.420383              
17 -150 -149.433816              
18 -150 -149.447239              
19 -150 -149.467379              
20 -150 -149.487518              
21 -150 -149.494235              
22 -150 -149.460672              
23 -150 -149.514374              
24 -150 -149.521091              
25 -150 -149.594933              
26 -150 -149.527798              
27 -150 -149.574793              
28 -150 -149.541231              
29 -150 -149.568087              
30 -150 -149.514374              
31 -150 -149.541231              
32 -150 -149.521091              
33 -150 -149.514374              
34 -150 -149.507658              
35 -150 -149.500951              
36 -150 -149.521091              
37 -150 -149.521091              
38 -150 -149.527798              
39 -150 -149.527798              
40 -150 -149.507658              
41 -150 -149.527798              
42 -150 -149.494235              
43 -150 -149.527798              
44 -150 -149.507658              
45 -150 -149.494235              
46 -150 -149.494235              
47 -150 -149.541231              
48 -150 -149.467379              
49 -150 -149.58151              
50 -150 -149.460672              
51 -150 -149.40696              
52 -150 -149.420383              
53 -150 -149.507658              
54 -150 -149.380104              
55 -150 -149.373397              
56 -150 -149.359964              
57 -150 -149.380104              
58 -150 -149.393537              
59 -150 -149.373397              
60 -150 -149.339825              
61 -150 -149.326401              
62 -150 -149.333108              
63 -150 -149.319685              
64 -150 -149.359964              
65 -150 -149.265982              
66 -150 -149.306262              
67 -150 -149.292829              
68 -150 -149.279406              
69 -150 -149.279406              
70 -150 -149.380104              
71 -150 -149.286122              
72 -150 -149.38682              
73 -150 -149.272689              
74 -150 -149.286122              
75 -150 -149.265982              
76 -150 -149.23241              
77 -150 -149.306262              
78 -150 -149.272689              
79 -150 -149.245843              
80 -150 -149.218987              
81 -150 -149.205554              
82 -150 -149.239126              
83 -150 -149.192131              
84 -150 -149.198847              
85 -150 -149.178707              
86 -150 -149.165275              
87 -150 -149.158568              
88 -150 -149.21227              
89 -150 -149.225694              
90 -150 -149.171991              
91 -150 -149.158568              
92 -150 -149.124995              
93 -150 -149.178707              
94 -150 -149.138428              
95 -150 -149.205554              
96 -150 -149.131712              
97 -150 -149.104856              
98 -150 -149.198847              
99 -150 -149.104856              
100 -150 -149.118279              
101 -150 -149.084716              
102 -150 -149.098139              
103 -150 -149.151851              
104 -150 -149.098139              
105 -150 -149.098139              
106 -150 -149.078              
107 -150 -149.084716              
108 -150 -149.084716              
109 -150 -149.091433              
110 -150 -149.104856              
111 -150 -149.05786              
112 -150 -149.05786              
113 -150 -149.004158              
114 -150 -149.024297              
115 -150 -149.024297              
116 -150 -149.138428              
117 -150 -149.084716              
118 -150 -149.031014              
119 -150 -149.004158              
120 -150 -149.024297              
121 -150 -149.010864              
122 -150 -149.010864              
123 -150 -148.977302              
124 -150 -149.004158              
125 -150 -149.004158              
126 -150 -148.997441              
127 -150 -148.997441              
128 -150 -149.004158              
129 -150 -149.031014              
130 -150 -148.990725              
131 -150 -148.970585              
132 -150 -149.004158              
133 -150 -148.970585              
134 -150 -148.984018              
135 -150 -148.984018              
136 -150 -148.963878              
137 -150 -148.963878              
138 -150 -148.957162              
139 -150 -149.024297              
140 -150 -148.937022              
141 -150 -148.930306              
142 -150 -148.890027              
143 -150 -148.930306              
144 -150 -148.923599              
145 -150 -148.957162              
146 -150 -148.923599              
147 -150 -148.930306              
148 -150 -148.916883              
149 -150 -148.910166              
150 -150 -148.930306              
151 -150 -148.896743              
152 -150 -148.937022              
153 -150 -148.937022              
154 -150 -148.90345              
155 -150 -148.977302              
156 -150 -148.896743              
157 -150 -148.88331              
158 -150 -148.869887              
159 -150 -148.890027              
160 -150 -148.869887              
161 -150 -148.863171              
162 -150 -148.856464              
163 -150 -148.863171              
164 -150 -148.856464              
165 -150 -148.876603              
166 -150 -148.863171              
167 -150 -148.950446              
168 -150 -148.856464              
169 -150 -148.863171              
170 -150 -148.843031              
171 -150 -148.822891              
172 -150 -148.923599              
173 -150 -148.836324              
174 -150 -148.809468              
175 -150 -148.802752              
176 -150 -148.829608              
177 -150 -148.822891              
178 -150 -148.836324              
179 -150 -148.843031              
180 -150 -148.822891              
181 -150 -148.809468              
182 -150 -148.816184              
183 -150 -148.822891              
184 -150 -148.849747              
185 -150 -148.822891              
186 -150 -148.809468              
187 -150 -148.856464              
188 -150 -148.809468              
189 -150 -148.809468              
190 -150 -148.782612              
191 -150 -148.782612              
192 -150 -148.762472              
193 -150 -148.782612              
194 -150 -148.722193              
195 -150 -148.796035              
196 -150 -148.762472              
197 -150 -148.816184              
198 -150 -148.775896              
199 -150 -148.72891              
200 -150 -148.762472              
201 -150 -148.775896              
202 -150 -148.816184              
203 -150 -148.755756              
204 -150 -148.762472              
205 -150 -148.789328              
206 -150 -148.749049              
207 -150 -148.836324              
208 -150 -148.755756              
209 -150 -148.742333              
210 -150 -148.762472              
211 -150 -148.742333              
212 -150 -148.735616              
213 -150 -148.755756              
214 -150 -148.789328              
215 -150 -148.749049              
216 -150 -148.735616              
217 -150 -148.762472              
218 -150 -148.735616              
219 -150 -148.749049              
220 -150 -148.796035              
221 -150 -148.775896              
222 -150 -148.735616              
223 -150 -148.695337              
224 -150 -148.695337              
225 -150 -148.695337              
226 -150 -148.742333              
227 -150 -148.702053              
228 -150 -148.802752              
229 -150 -148.695337              
230 -150 -148.70877              
231 -150 -148.789328              
232 -150 -148.70877              
233 -150 -148.70877              
234 -150 -148.749049              
235 -150 -148.72891              
236 -150 -148.802752              
237 -150 -148.70877              
238 -150 -148.70877              
239 -150 -148.681914              
240 -150 -148.715477              
241 -150 -148.668481              
242 -150 -148.688621              
243 -150 -148.762472              
244 -150 -148.749049              
245 -150 -148.70877              
246 -150 -148.648341              
247 -150 -148.755756              
248 -150 -148.668481              
249 -150 -148.681914              
250 -150 -148.755756              
251 -150 -148.641635              
252 -150 -148.742333              
253 -150 -148.668481              
254 -150 -148.675197              
255 -150 -148.641635              
256 -150 -148.661774              
257 -150 -148.661774              
258 -150 -148.735616              
259 -150 -148.648341              
260 -150 -148.668481              
261 -150 -148.648341              
262 -150 -148.655058              
263 -150 -148.648341              
264 -150 -148.628202              
265 -150 -148.661774              
266 -150 -148.661774              
267 -150 -148.621495              
268 -150 -148.608062              
269 -150 -148.601355              
270 -150 -148.668481              
271 -150 -148.634918              
272 -150 -148.621495              
273 -150 -148.587923              
274 -150 -148.614779              
275 -150 -148.628202              
276 -150 -148.614779              
277 -150 -148.614779              
278 -150 -148.614779              
279 -150 -148.561066              
280 -150 -148.608062              
281 -150 -148.648341              
282 -150 -148.655058              
283 -150 -148.628202              
284 -150 -148.594639              
285 -150 -148.594639              
286 -150 -148.628202              
287 -150 -148.628202              
288 -150 -148.634918              
289 -150 -148.574499              
290 -150 -148.594639              
291 -150 -148.587923              
292 -150 -148.581206              
293 -150 -148.601355              
294 -150 -148.587923              
295 -150 -148.628202              
296 -150 -148.574499              
297 -150 -148.661774              
298 -150 -148.587923              
299 -150 -148.641635              
300 -150 -148.614779              
301 -150 -148.587923              
302 -150 -148.574499              
303 -150 -148.574499              
304 -150 -148.614779              
305 -150 -148.594639              
306 -150 -148.561066              
307 -150 -148.547643              
308 -150 -148.567783              
309 -150 -148.547643              
310 -150 -148.567783              
311 -150 -148.540927              
312 -150 -148.561066              
313 -150 -148.520787              
314 -150 -148.540927              
315 -150 -148.567783              
316 -150 -148.614779              
317 -150 -148.601355              
318 -150 -148.53422              
319 -150 -148.587923              
320 -150 -148.540927              
321 -150 -148.527504              
322 -150 -148.561066              
323 -150 -148.628202              
324 -150 -148.547643              
325 -150 -148.53422              
326 -150 -148.561066              
327 -150 -148.51408              
328 -150 -148.527504              
329 -150 -148.581206              
330 -150 -148.601355              
331 -150 -148.53422              
332 -150 -148.507364              
333 -150 -148.540927              
334 -150 -148.507364              
335 -150 -148.520787              
336 -150 -148.493941              
337 -150 -148.527504              
338 -150 -148.520787              
339 -150 -148.51408              
340 -150 -148.507364              
341 -150 -148.507364              
342 -150 -148.520787              
343 -150 -148.493941              
344 -150 -148.500648              
345 -150 -148.507364              
346 -150 -148.540927              
347 -150 -148.51408              
348 -150 -148.473792              
349 -150 -148.55436              
350 -150 -148.561066              
351 -150 -148.527504              
352 -150 -148.507364              
353 -150 -148.547643              
354 -150 -148.473792              
355 -150 -148.500648              
356 -150 -148.507364              
357 -150 -148.453652              
358 -150 -148.520787              
359 -150 -148.51408              
360 -150 -148.493941              
361 -150 -148.500648              
362 -150 -148.487224              
363 -150 -148.480508              
364 -150 -148.574499              
365 -150 -148.507364              
366 -150 -148.500648              
367 -150 -148.527504              
368 -150 -148.487224              
369 -150 -148.561066              
370 -150 -148.527504              
371 -150 -148.55436              
372 -150 -148.460368              
373 -150 -148.500648              
374 -150 -148.507364              
375 -150 -148.487224              
376 -150 -148.507364              
377 -150 -148.561066              
378 -150 -148.493941              
379 -150 -148.473792              
380 -150 -148.507364              
381 -150 -148.507364              
382 -150 -148.601355              
383 -150 -148.460368              
384 -150 -148.493941              
385 -150 -148.473792              
386 -150 -148.487224              
387 -150 -148.500648              
388 -150 -148.581206              
389 -150 -148.55436              
390 -150 -148.493941              
391 -150 -148.594639              
392 -150 -148.507364              
393 -150 -148.51408              
394 -150 -148.493941              
395 -150 -148.467085              
396 -150 -148.520787              
397 -150 -148.51408              
398 -150 -148.55436              
399 -150 -148.493941              
400 -150 -148.467085              
401 -150 -148.500648              
402 -150 -148.480508              
403 -150 -148.487224              
404 -150 -148.540927              
405 -150 -148.493941              
406 -150 -148.581206              
407 -150 -148.473792              
408 -150 -148.51408              
409 -150 -148.460368              
410 -150 -148.467085              
411 -150 -148.520787              
412 -150 -148.487224              
413 -150 -148.540927              
414 -150 -148.487224              
415 -150 -148.51408              
416 -150 -148.480508              
417 -150 -148.493941              
418 -150 -148.440229              
419 -150 -148.473792              
420 -150 -148.493941              
421 -150 -148.460368              
422 -150 -148.446945              
423 -150 -148.55436              
424 -150 -148.453652              
425 -150 -148.473792              
426 -150 -148.453652              
427 -150 -148.467085              
428 -150 -148.520787              
429 -150 -148.473792              
430 -150 -148.473792              
431 -150 -148.453652              
432 -150 -148.453652              
433 -150 -148.453652              
434 -150 -148.440229              
435 -150 -148.453652              
436 -150 -148.480508              
437 -150 -148.467085              
438 -150 -148.426805              
439 -150 -148.440229              
440 -150 -148.493941              
441 -150 -148.453652              
442 -150 -148.446945              
443 -150 -148.467085              
444 -150 -148.420089              
445 -150 -148.446945              
446 -150 -148.453652              
447 -150 -148.453652              
448 -150 -148.440229              
449 -150 -148.446945              
450 -150 -148.453652              
451 -150 -148.446945              
452 -150 -148.433512              
453 -150 -148.473792              
454 -150 -148.399949              
455 -150 -148.467085              
456 -150 -148.399949              
457 -150 -148.473792              
458 -150 -148.507364              
459 -150 -148.440229              
460 -150 -148.433512              
461 -150 -148.480508              
462 -150 -148.426805              
463 -150 -148.420089              
464 -150 -148.399949              
465 -150 -148.406666              
466 -150 -148.413373              
467 -150 -148.399949              
468 -150 -148.413373              
469 -150 -148.393233              
470 -150 -148.406666              
471 -150 -148.399949              
472 -150 -148.406666              
473 -150 -148.399949              
474 -150 -148.467085              
475 -150 -148.440229              
476 -150 -148.35967              
477 -150 -148.373093              
478 -150 -148.467085              
479 -150 -148.399949              
480 -150 -148.393233              
481 -150 -148.426805              
482 -150 -148.460368              
483 -150 -148.426805              
484 -150 -148.399949              
485 -150 -148.406666              
486 -150 -148.393233              
487 -150 -148.393233              
488 -150 -148.413373              
489 -150 -148.393233              
490 -150 -148.346237              
491 -150 -148.399949              
492 -150 -148.399949              
493 -150 -148.386526              
494 -150 -148.346237              
495 -150 -148.386526              
496 -150 -148.37981              
497 -150 -148.399949              
498 -150 -148.399949              
499 -150 -148.373093              
500 -150 -148.366377              
501 -150 -148.467085              
502 -150 -148.373093              
503 -150 -148.406666              
504 -150 -148.393233              
505 -150 -148.373093              
506 -150 -148.386526              
507 -150 -148.460368              
508 -150 -148.373093              
509 -150 -148.393233              
510 -150 -148.35967              
511 -150 -148.37981              
512 -150 -148.35967              
513 -150 -148.386526              
514 -150 -148.373093              
515 -150 -148.332814              
516 -150 -148.406666              
517 -150 -148.33953              
518 -150 -148.305958              
519 -150 -148.33953              
520 -150 -148.366377              
521 -150 -148.346237              
522 -150 -148.399949              
523 -150 -148.346237              
524 -150 -148.373093              
525 -150 -148.366377              
526 -150 -148.420089              
527 -150 -148.399949              
528 -150 -148.35967              
529 -150 -148.352954              
530 -150 -148.352954              
531 -150 -148.346237              
532 -150 -148.346237              
533 -150 -148.440229              
534 -150 -148.346237              
535 -150 -148.366377              
536 -150 -148.440229              
537 -150 -148.35967              
538 -150 -148.346237              
539 -150 -148.440229              
540 -150 -148.406666              
541 -150 -148.332814              
542 -150 -148.326098              
543 -150 -148.332814              
544 -150 -148.346237              
545 -150 -148.319391              
546 -150 -148.373093              
547 -150 -148.352954              
548 -150 -148.346237              
549 -150 -148.319391              
550 -150 -148.366377              
551 -150 -148.33953              
552 -150 -148.292535              
553 -150 -148.33953              
554 -150 -148.352954              
555 -150 -148.35967              
556 -150 -148.33953              
557 -150 -148.326098              
558 -150 -148.33953              
559 -150 -148.37981              
560 -150 -148.346237              
561 -150 -148.352954              
562 -150 -148.332814              
563 -150 -148.352954              
564 -150 -148.37981              
565 -150 -148.33953              
566 -150 -148.346237              
567 -150 -148.413373              
568 -150 -148.433512              
569 -150 -148.33953              
570 -150 -148.33953              
571 -150 -148.346237              
572 -150 -148.352954              
573 -150 -148.37981              
574 -150 -148.420089              
575 -150 -148.426805              
576 -150 -148.33953              
577 -150 -148.346237              
578 -150 -148.299251              
579 -150 -148.352954              
580 -150 -148.366377              
581 -150 -148.35967              
582 -150 -148.352954              
583 -150 -148.426805              
584 -150 -148.37981              
585 -150 -148.326098              
586 -150 -148.37981              
587 -150 -148.373093              
588 -150 -148.319391              
589 -150 -148.413373              
590 -150 -148.332814              
591 -150 -148.366377              
592 -150 -148.35967              
593 -150 -148.37981              
594 -150 -148.346237              
595 -150 -148.366377              
596 -150 -148.33953              
597 -150 -148.35967              
598 -150 -148.366377              
599 -150 -148.35967              
600 -150 -148.346237              
601 -150 -148.33953              
602 -150 -148.332814              
603 -150 -148.35967              
604 -150 -148.319391              
605 -150 -148.332814              
606 -150 -148.319391              
607 -150 -148.366377              
608 -150 -148.299251              
609 -150 -148.332814              
610 -150 -148.299251              
611 -150 -148.346237              
612 -150 -148.332814              
613 -150 -148.33953              
614 -150 -148.332814              
615 -150 -148.346237              
616 -150 -148.319391              
617 -150 -148.332814              
618 -150 -148.312674              
619 -150 -148.326098              
620 -150 -148.292535              
621 -150 -148.332814              
622 -150 -148.326098              
623 -150 -148.319391              
624 -150 -148.319391              
625 -150 -148.312674              
626 -150 -148.366377              
627 -150 -148.319391              
628 -150 -148.305958              
629 -150 -148.319391              
630 -150 -148.326098              
631 -150 -148.305958              
632 -150 -148.326098              
633 -150 -148.299251              
634 -150 -148.279112              
635 -150 -148.285818              
636 -150 -148.305958              
637 -150 -148.305958              
638 -150 -148.326098              
639 -150 -148.332814              
640 -150 -148.305958              
641 -150 -148.299251              
642 -150 -148.319391              
643 -150 -148.299251              
644 -150 -148.305958              
645 -150 -148.319391              
646 -150 -148.319391              
647 -150 -148.305958              
648 -150 -148.305958              
649 -150 -148.299251              
650 -150 -148.279112              
651 -150 -148.312674              
652 -150 -148.279112              
653 -150 -148.279112              
654 -150 -148.35967              
655 -150 -148.272395              
656 -150 -148.285818              
657 -150 -148.279112              
658 -150 -148.33953              
659 -150 -148.292535              
660 -150 -148.373093              
661 -150 -148.299251              
662 -150 -148.285818              
663 -150 -148.279112              
664 -150 -148.279112              
665 -150 -148.346237              
666 -150 -148.326098              
667 -150 -148.272395              
668 -150 -148.258962              
669 -150 -148.279112              
670 -150 -148.279112              
671 -150 -148.292535              
672 -150 -148.285818              
673 -150 -148.252256              
674 -150 -148.352954              
675 -150 -148.272395              
676 -150 -148.33953              
677 -150 -148.285818              
678 -150 -148.332814              
679 -150 -148.265679              
680 -150 -148.232116              
681 -150 -148.265679              
682 -150 -148.245539              
683 -150 -148.252256              
684 -150 -148.258962              
685 -150 -148.272395              
686 -150 -148.238823              
687 -150 -148.346237              
688 -150 -148.319391              
689 -150 -148.285818              
690 -150 -148.232116              
691 -150 -148.265679              
692 -150 -148.265679              
693 -150 -148.285818              
694 -150 -148.238823              
695 -150 -148.285818              
696 -150 -148.245539              
697 -150 -148.272395              
698 -150 -148.292535              
699 -150 -148.258962              
700 -150 -148.265679              
701 -150 -148.346237              
702 -150 -148.312674              
703 -150 -148.245539              
704 -150 -148.272395              
705 -150 -148.252256              
706 -150 -148.258962              
707 -150 -148.272395              
708 -150 -148.326098              
709 -150 -148.279112              
710 -150 -148.252256              
711 -150 -148.319391              
712 -150 -148.326098              
713 -150 -148.312674              
714 -150 -148.352954              
715 -150 -148.252256              
716 -150 -148.258962              
717 -150 -148.272395              
718 -150 -148.299251              
719 -150 -148.272395              
720 -150 -148.319391              
721 -150 -148.299251              
722 -150 -148.279112              
723 -150 -148.272395              
724 -150 -148.252256              
725 -150 -148.252256              
726 -150 -148.292535              
727 -150 -148.265679              
728 -150 -148.258962              
729 -150 -148.265679              
730 -150 -148.279112              
731 -150 -148.33953              
732 -150 -148.245539              
733 -150 -148.245539              
734 -150 -148.279112              
735 -150 -148.258962              
736 -150 -148.245539              
737 -150 -148.245539              
738 -150 -148.238823              
739 -150 -148.292535              
740 -150 -148.211976              
741 -150 -148.245539              
742 -150 -148.252256              
743 -150 -148.238823              
744 -150 -148.238823              
745 -150 -148.258962              
746 -150 -148.245539              
747 -150 -148.218683              
748 -150 -148.265679              
749 -150 -148.232116              
750 -150 -148.258962              
751 -150 -148.225399              
752 -150 -148.258962              
753 -150 -148.18512              
754 -150 -148.211976              
755 -150 -148.218683              
756 -150 -148.225399              
757 -150 -148.225399              
758 -150 -148.238823              
759 -150 -148.272395              
760 -150 -148.171697              
761 -150 -148.225399              
762 -150 -148.198543              
763 -150 -148.198543              
764 -150 -148.18512              
765 -150 -148.18512              
766 -150 -148.158264              
767 -150 -148.232116              
768 -150 -148.279112              
769 -150 -148.225399              
770 -150 -148.191837              
771 -150 -148.164981              
772 -150 -148.18512              
773 -150 -148.218683              
774 -150 -148.171697              
775 -150 -148.198543              
776 -150 -148.252256              
777 -150 -148.225399              
778 -150 -148.178404              
779 -150 -148.178404              
780 -150 -148.258962              
781 -150 -148.20526              
782 -150 -148.232116              
783 -150 -148.178404              
784 -150 -148.171697              
785 -150 -148.245539              
786 -150 -148.164981              
787 -150 -148.18512              
788 -150 -148.151548              
789 -150 -148.232116              
790 -150 -148.238823              
791 -150 -148.151548              
792 -150 -148.158264              
793 -150 -148.151548              
794 -150 -148.124701              
795 -150 -148.191837              
796 -150 -148.238823              
797 -150 -148.151548              
798 -150 -148.198543              
799 -150 -148.171697              
800 -150 -148.158264              
801 -150 -148.138125              
802 -150 -148.18512              
803 -150 -148.164981              
804 -150 -148.171697              
805 -150 -148.171697              
806 -150 -148.171697              
807 -150 -148.252256              
808 -150 -148.218683              
809 -150 -148.164981              
810 -150 -148.144841              
811 -150 -148.138125              
812 -150 -148.158264              
813 -150 -148.138125              
814 -150 -148.18512              
815 -150 -148.164981              
816 -150 -148.144841              
817 -150 -148.097845              
818 -150 -148.158264              
819 -150 -148.151548              
820 -150 -148.117985              
821 -150 -148.138125              
822 -150 -148.138125              
823 -150 -148.138125              
824 -150 -148.138125              
825 -150 -148.198543              
826 -150 -148.144841              
827 -150 -148.144841              
828 -150 -148.124701              
829 -150 -148.144841              
830 -150 -148.151548              
831 -150 -148.151548              
832 -150 -148.131408              
833 -150 -148.211976              
834 -150 -148.178404              
835 -150 -148.158264              
836 -150 -148.171697              
837 -150 -148.151548              
838 -150 -148.144841              
839 -150 -148.124701              
840 -150 -148.211976              
841 -150 -148.138125              
842 -150 -148.225399              
843 -150 -148.138125              
844 -150 -148.171697              
845 -150 -148.198543              
846 -150 -148.138125              
847 -150 -148.131408              
848 -150 -148.158264              
849 -150 -148.138125              
850 -150 -148.117985              
851 -150 -148.117985              
852 -150 -148.084422              
853 -150 -148.111269              
854 -150 -148.131408              
855 -150 -148.164981              
856 -150 -148.138125              
857 -150 -148.225399              
858 -150 -148.117985              
859 -150 -148.158264              
860 -150 -148.131408              
861 -150 -148.144841              
862 -150 -148.144841              
863 -150 -148.171697              
864 -150 -148.117985              
865 -150 -148.144841              
866 -150 -148.131408              
867 -150 -148.124701              
868 -150 -148.104562              
869 -150 -148.124701              
870 -150 -148.198543              
871 -150 -148.124701              
872 -150 -148.117985              
873 -150 -148.091129              
874 -150 -148.131408              
875 -150 -148.097845              
876 -150 -148.171697              
877 -150 -148.191837              
878 -150 -148.164981              
879 -150 -148.164981              
880 -150 -148.104562              
881 -150 -148.091129