| Tesla Batch A33 Summary: | |||||||||||||||||||||||||
| Wafer: A33-02 | Device: | IVS_T01 | IVS_T02 | IVS_T03 | IVS_S04 | IVS_S05 | IVS_S06 | IVS_S07 | IVS_S08 | IVS_S09 | IVS_M10 | IVS_M11 | IVS_M12 | IVS_M13 | CVD_16 | CVD_17 | BOX_22 | BOX_23 | BOX_24 | BOX_25 | MFE_26 | MFE_27 | SCR | ITS_T01 | |
| Criteria: | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd No | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd No | Vbd No | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vdep Pass | Vdep Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | Vbd Pass | P-spray Pass | Thickness Pass | Slope Pass | ||||
| 2 Tiles Pass | Slope Pass | Slope No | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Slope Pass | Vop Pass | Vop Pass | ||||||||||
| Resistivity Pass | Resistivity Pass | ||||||||||||||||||||||||
| A33-02_IVS01.IV | A33-02_IVS02.IV | A33-02_IVS03.IV | Critera/Quantity: | ||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -7 | -4 | -9 | Slope | Pass | No | Pass | ||
| -5 | -20 | -12 | -21 | Slope: | 1.08 | 2.06 | 1.11 | ||
| -10 | -33 | -20 | -40 | Vbd[V] | -395 | -195 | -260 | ||
| -15 | -51 | -33 | -73 | Iop[nA]: | -148 | -182 | -268 | ||
| -20 | -72 | -46 | -108 | I50[nA]: | -137 | -89 | -241 | ||
| -25 | -88 | -54 | -140 | (Vop[V]} | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -98 | -59 | -168 | ||||||
| -35 | -106 | -62 | -187 | ||||||
| -40 | -111 | -65 | -197 | ||||||
| -45 | -116 | -67 | -205 | ||||||
| -50 | -120 | -71 | -211 | ||||||
| -55 | -124 | -73 | -215 | ||||||
| -60 | -126 | -75 | -219 | ||||||
| -65 | -128 | -76 | -222 | ||||||
| -70 | -130 | -77 | -225 | ||||||
| -75 | -131 | -79 | -228 | ||||||
| -80 | -133 | -80 | -231 | ||||||
| -85 | -134 | -82 | -234 | ||||||
| -90 | -135 | -83 | -236 | ||||||
| -95 | -136 | -86 | -239 | ||||||
| -100 | -137 | -89 | -241 | ||||||
| -105 | -138 | -92 | -244 | ||||||
| -110 | -139 | -97 | -247 | ||||||
| -115 | -141 | -101 | -249 | ||||||
| -120 | -142 | -107 | -252 | ||||||
| -125 | -143 | -117 | -254 | ||||||
| -130 | -144 | -125 | -257 | ||||||
| -135 | -145 | -134 | -260 | ||||||
| -140 | -146 | -149 | -263 | ||||||
| -145 | -147 | -165 | -265 | ||||||
| -150 | -148 | -182 | -268 | ||||||
| -155 | -149 | -203 | -272 | ||||||
| -160 | -150 | -226 | -275 | ||||||
| -165 | -151 | -254 | -278 | ||||||
| -170 | -152 | -278 | -282 | ||||||
| -175 | -153 | -318 | -285 | ||||||
| -180 | -155 | -410 | -289 | ||||||
| -185 | -156 | -769 | -293 | ||||||
| -190 | -157 | -1151 | -297 | ||||||
| -195 | -158 | -1560 | -301 | ||||||
| -200 | -159 | -2013 | -306 | ||||||
| -205 | -160 | -2499 | -311 | ||||||
| -210 | -161 | -3066 | -316 | ||||||
| -215 | -163 | -3716 | -321 | ||||||
| -220 | -164 | -4371 | -327 | ||||||
| -225 | -165 | -5036 | -333 | ||||||
| -230 | -166 | -5677 | -340 | ||||||
| -235 | -167 | -6317 | -349 | ||||||
| -240 | -169 | -6973 | -361 | ||||||
| -245 | -170 | -7656 | -396 | ||||||
| -250 | -171 | -8305 | -495 | ||||||
| -255 | -172 | -8935 | -756 | ||||||
| -260 | -174 | -9611 | -1292 | ||||||
| -265 | -175 | -10503 | -2199 | ||||||
| -270 | -176 | -11524 | -3710 | ||||||
| -275 | -178 | -6320 | |||||||
| -280 | -179 | ||||||||
| -285 | -181 | ||||||||
| -290 | -182 | ||||||||
| -295 | -184 | ||||||||
| -300 | -185 | ||||||||
| -305 | -187 | ||||||||
| -310 | -189 | ||||||||
| -315 | -190 | ||||||||
| -320 | -192 | ||||||||
| -325 | -194 | ||||||||
| -330 | -197 | ||||||||
| -335 | -201 | ||||||||
| -340 | -205 | ||||||||
| -345 | -212 | ||||||||
| -350 | -221 | ||||||||
| -355 | -239 | ||||||||
| -360 | -263 | ||||||||
| -365 | -307 | ||||||||
| -370 | -380 | ||||||||
| -375 | -467 | ||||||||
| -380 | -645 | ||||||||
| -385 | -883 | ||||||||
| -390 | -1218 | ||||||||
| -395 | -1763 | ||||||||
| -400 | -2429 | ||||||||
| -405 | -3270 | ||||||||
| -410 | -4394 | ||||||||
| -415 | -5847 | ||||||||
| -420 | -7919 | ||||||||
| -425 | -10493 | ||||||||
| -430 | -11665 | ||||||||
| -435 | |||||||||
| -440 | |||||||||
| -445 | |||||||||
| -450 | |||||||||
| -455 | |||||||||
| -460 | |||||||||
| -465 | |||||||||
| -470 | |||||||||
| -475 | |||||||||
| -480 | |||||||||
| -485 | |||||||||
| -490 | |||||||||
| -495 | |||||||||
| -500 |
| A33-02_IVS04.IV | A33-02_IVS05.IV | A33-02_IVS06.IV | A33-02_IVS07.IV | A33-02_IVS08.IV | A33-02_IVS09.IV | Critera/Quantity: | |||||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd: | No | Pass | Pass | Pass | Pass | No | ||
| 0 | -3 | -0.421277 | -0.447462 | 0 | -1 | -3 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -8 | -1.218856 | -1.763979 | -1 | -2 | -11 | Slope: | 1.10 | 1.06 | 1.07 | 1.09 | 1.06 | 1.08 | ||
| -10 | -36 | -2.061861 | -2.913264 | -1 | -3 | -28 | Vbd[V]: | -10 | -495 | -445 | -500 | -500 | -30 | ||
| -15 | -111 | -4.209847 | -3.911479 | -2 | -4 | -46 | Iop[nA]: | -325 | -11.0345 | -11.7692 | -5 | -12 | -165 | ||
| -20 | -176 | -5.592496 | -4.800864 | -2 | -5 | -63 | I50[nA]: | -294 | -10.4581 | -10.9627 | -4 | -11 | -153 | ||
| -25 | -214 | -6.341705 | -5.611365 | -2 | -6 | -79 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -236 | -6.889505 | -6.333792 | -2 | -7 | -94 | |||||||||
| -35 | -247 | -7.375831 | -6.983849 | -3 | -8 | -109 | |||||||||
| -40 | -253 | -7.815289 | -7.582778 | -3 | -8 | -121 | |||||||||
| -45 | -258 | -8.397783 | -8.394131 | -3 | -9 | -130 | |||||||||
| -50 | -262 | -8.906629 | -9.109924 | -4 | -10 | -136 | |||||||||
| -55 | -265 | -9.301654 | -9.640681 | -4 | -10 | -140 | |||||||||
| -60 | -268 | -9.570076 | -9.969362 | -4 | -10 | -142 | |||||||||
| -65 | -271 | -9.755111 | -10.164744 | -4 | -10 | -144 | |||||||||
| -70 | -274 | -9.91093 | -10.318129 | -4 | -11 | -146 | |||||||||
| -75 | -277 | -10.033881 | -10.44534 | -4 | -11 | -147 | |||||||||
| -80 | -281 | -10.13918 | -10.573161 | -4 | -11 | -148 | |||||||||
| -85 | -284 | -10.229872 | -10.681503 | -4 | -11 | -150 | |||||||||
| -90 | -288 | -10.311433 | -10.781325 | -4 | -11 | -151 | |||||||||
| -95 | -291 | -10.389343 | -10.87019 | -4 | -11 | -152 | |||||||||
| -100 | -294 | -10.458122 | -10.962708 | -4 | -11 | -153 | |||||||||
| -105 | -298 | -10.51838 | -11.043051 | -5 | -11 | -154 | |||||||||
| -110 | -301 | -10.579855 | -11.130091 | -5 | -11 | -156 | |||||||||
| -115 | -304 | -10.643766 | -11.215304 | -5 | -11 | -157 | |||||||||
| -120 | -307 | -10.696719 | -11.290779 | -5 | -11 | -158 | |||||||||
| -125 | -310 | -10.758195 | -11.372949 | -5 | -11 | -159 | |||||||||
| -130 | -313 | -10.812366 | -11.45451 | -5 | -12 | -160 | |||||||||
| -135 | -316 | -10.873842 | -11.531811 | -5 | -12 | -161 | |||||||||
| -140 | -319 | -10.931056 | -11.612764 | -5 | -12 | -163 | |||||||||
| -145 | -322 | -10.982793 | -11.689456 | -5 | -12 | -164 | |||||||||
| -150 | -325 | -11.03453 | -11.769191 | -5 | -12 | -165 | |||||||||
| -155 | -328 | -11.08931 | -11.845884 | -5 | -12 | -166 | |||||||||
| -160 | -331 | -11.14409 | -11.918315 | -5 | -12 | -167 | |||||||||
| -165 | -335 | -11.195218 | -12.000485 | -5 | -12 | -168 | |||||||||
| -170 | -338 | -11.246955 | -12.079003 | -5 | -12 | -170 | |||||||||
| -175 | -342 | -11.305995 | -12.162999 | -5 | -12 | -171 | |||||||||
| -180 | -345 | -11.361993 | -12.237866 | -5 | -12 | -172 | |||||||||
| -185 | -349 | -11.410078 | -12.31334 | -5 | -12 | -174 | |||||||||
| -190 | -352 | -11.461206 | -12.400988 | -5 | -12 | -175 | |||||||||
| -195 | -356 | -11.515377 | -12.48255 | -5 | -12 | -177 | |||||||||
| -200 | -360 | -11.565288 | -12.561676 | -5 | -12 | -178 | |||||||||
| -205 | -364 | -11.617634 | -12.649324 | -5 | -12 | -180 | |||||||||
| -210 | -369 | -11.668153 | -12.735147 | -5 | -13 | -182 | |||||||||
| -215 | -373 | -11.721106 | -12.824012 | -5 | -13 | -184 | |||||||||
| -220 | -378 | -11.775278 | -12.914094 | -5 | -13 | -186 | |||||||||
| -225 | -383 | -11.823972 | -12.999308 | -6 | -13 | -188 | |||||||||
| -230 | -388 | -11.879969 | -13.097912 | -6 | -13 | -191 | |||||||||
| -235 | -393 | -11.92988 | -13.188604 | -6 | -13 | -194 | |||||||||
| -240 | -399 | -11.981617 | -13.28173 | -6 | -13 | -197 | |||||||||
| -245 | -405 | -12.038222 | -13.380943 | -6 | -13 | -200 | |||||||||
| -250 | -411 | -12.094829 | -13.477721 | -6 | -13 | -204 | |||||||||
| -255 | -417 | -12.145956 | -13.577542 | -6 | -13 | -207 | |||||||||
| -260 | -424 | -12.203172 | -13.677972 | -6 | -13 | -212 | |||||||||
| -265 | -431 | -12.259169 | -13.780228 | -6 | -13 | -217 | |||||||||
| -270 | -439 | -12.324296 | -13.886136 | -6 | -13 | -222 | |||||||||
| -275 | -447 | -12.379076 | -13.993261 | -6 | -13 | -228 | |||||||||
| -280 | -455 | -12.438116 | -14.101605 | -6 | -14 | -234 | |||||||||
| -285 | -465 | -12.501418 | -14.215425 | -6 | -14 | -241 | |||||||||
| -290 | -474 | -12.561676 | -14.328029 | -6 | -14 | -248 | |||||||||
| -295 | -485 | -12.618891 | -14.445501 | -6 | -14 | -256 | |||||||||
| -300 | -496 | -12.679757 | -14.562366 | -6 | -14 | -266 | |||||||||
| -305 | -508 | -12.746103 | -14.685925 | -6 | -14 | -273 | |||||||||
| -310 | -521 | -12.806969 | -14.810093 | -7 | -14 | -287 | |||||||||
| -315 | -534 | -12.875748 | -14.93487 | -7 | -14 | -300 | |||||||||
| -320 | -549 | -12.934181 | -15.063299 | -7 | -14 | -313 | |||||||||
| -325 | -565 | -12.99809 | -15.19538 | -7 | -14 | -327 | |||||||||
| -330 | -582 | -13.062001 | -15.335373 | -7 | -15 | -340 | |||||||||
| -335 | -599 | -13.13078 | -15.472932 | -7 | -15 | -360 | |||||||||
| -340 | -13.201386 | -15.612925 | -7 | -15 | -378 | ||||||||||
| -345 | -13.271383 | -15.763267 | -7 | -15 | -400 | ||||||||||
| -350 | -13.337118 | -15.91239 | -7 | -15 | -419 | ||||||||||
| -355 | -13.411376 | -16.073078 | -7 | -15 | -446 | ||||||||||
| -360 | -13.481373 | -16.236201 | -7 | -16 | -471 | ||||||||||
| -365 | -13.550761 | -16.418801 | -7 | -15 | -498 | ||||||||||
| -370 | -13.62441 | -16.644616 | -8 | -16 | -524 | ||||||||||
| -375 | -13.705362 | -17.057901 | -8 | -16 | -560 | ||||||||||
| -380 | -13.777185 | -17.759087 | -8 | -16 | -589 | ||||||||||
| -385 | -13.856312 | -18.519313 | -8 | -16 | |||||||||||
| -390 | -13.933612 | -19.257626 | -8 | -16 | |||||||||||
| -395 | -14.012131 | -20.03672 | -8 | -16 | |||||||||||
| -400 | -14.093083 | -21.019108 | -8 | -16 | |||||||||||
| -405 | -14.17647 | -22.409304 | -8 | -16.170464 | |||||||||||
| -410 | -14.267162 | -23.927322 | -9 | -16.122988 | |||||||||||
| -415 | -14.354811 | -25.633415 | -9 | -16.313502 | |||||||||||
| -420 | -14.44185 | -27.730884 | -9 | -16.560012 | |||||||||||
| -425 | -14.53315 | -30.119295 | -10 | -16.651921 | |||||||||||
| -430 | -14.618363 | -33.101156 | -11 | -16.644008 | |||||||||||
| -435 | -14.704794 | -37.392259 | -12 | -16.843651 | |||||||||||
| -440 | -14.782704 | -44.267157 | -13 | -16.836347 | |||||||||||
| -445 | -14.862439 | -60.294587 | -14 | -16.959298 | |||||||||||
| -450 | -14.93974 | -101.178767 | -15 | -17.102943 | |||||||||||
| -455 | -15.013997 | -190.780694 | -16 | -17.180244 | |||||||||||
| -460 | -15.107732 | -326.464811 | -17 | -17.185722 | |||||||||||
| -465 | -15.275724 | -481.687142 | -18 | -17.322064 | |||||||||||
| -470 | -15.760832 | -20 | -17.377452 | ||||||||||||
| -475 | -17.061554 | -22 | -17.429189 | ||||||||||||
| -480 | -20.906506 | -24 | -17.450492 | ||||||||||||
| -485 | -31.175332 | -26 | -17.544835 | ||||||||||||
| -490 | -53.055706 | -29 | -17.543619 | ||||||||||||
| -495 | -87.015084 | -33 | -17.809606 | ||||||||||||
| -500 | -129.049645 | -40 | -17.989163 |
| A33-02_IVS10.IV | A33-02_IVS11.IV | A33-02_IVS12.IV | A33-02_IVS13.IV | Critera/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd: | No | Pass | Pass | Pass | ||
| 0 | -0.5 | -0.5 | -0.1 | -0.1 | Slope: | Pass | Pass | Pass | Pass | ||
| -5 | -1.0 | -1.1 | -0.4 | -0.2 | Slope: | 1.07 | 1.17 | 1.10 | 1.10 | ||
| -10 | -1.8 | -2.2 | -0.6 | -0.4 | Vbd[V]: | -25 | -205 | -500 | -500 | ||
| -15 | -10.4 | -4.0 | -0.9 | -0.5 | Iop[nA]: | -32.7 | -19.6 | -2.7 | -1.4 | ||
| -20 | -22.4 | -6.4 | -1.0 | -0.6 | I50[nA]: | -30.6 | -16.8 | -2.5 | -1.3 | ||
| -25 | -24.6 | -8.9 | -1.2 | -0.6 | (Vop[V]): | -150 | -150 | -150 | -150 | ||
| -30 | -25.3 | -10.7 | -1.4 | -0.7 | |||||||
| -35 | -25.8 | -11.8 | -1.5 | -0.8 | |||||||
| -40 | -26.2 | -12.5 | -1.7 | -0.8 | |||||||
| -45 | -26.6 | -13.0 | -1.8 | -0.9 | |||||||
| -50 | -27.1 | -13.6 | -2.0 | -1.0 | |||||||
| -55 | -27.5 | -14.2 | -2.1 | -1.1 | |||||||
| -60 | -27.8 | -14.7 | -2.2 | -1.1 | |||||||
| -65 | -28.2 | -15.0 | -2.2 | -1.2 | |||||||
| -70 | -28.6 | -15.3 | -2.3 | -1.2 | |||||||
| -75 | -28.9 | -15.5 | -2.3 | -1.2 | |||||||
| -80 | -29.3 | -15.8 | -2.3 | -1.2 | |||||||
| -85 | -29.7 | -16.0 | -2.4 | -1.2 | |||||||
| -90 | -30.0 | -16.3 | -2.4 | -1.3 | |||||||
| -95 | -30.3 | -16.5 | -2.4 | -1.3 | |||||||
| -100 | -30.6 | -16.8 | -2.5 | -1.3 | |||||||
| -105 | -30.9 | -17.0 | -2.5 | -1.3 | |||||||
| -110 | -31.2 | -17.3 | -2.5 | -1.3 | |||||||
| -115 | -31.4 | -17.5 | -2.5 | -1.3 | |||||||
| -120 | -31.6 | -17.8 | -2.6 | -1.4 | |||||||
| -125 | -31.8 | -18.1 | -2.6 | -1.4 | |||||||
| -130 | -32.0 | -18.4 | -2.6 | -1.4 | |||||||
| -135 | -32.2 | -18.7 | -2.6 | -1.4 | |||||||
| -140 | -32.4 | -19.0 | -2.7 | -1.4 | |||||||
| -145 | -32.5 | -19.3 | -2.7 | -1.4 | |||||||
| -150 | -32.7 | -19.6 | -2.7 | -1.4 | |||||||
| -155 | -32.9 | -20.0 | -2.7 | -1.4 | |||||||
| -160 | -33.0 | -20.3 | -2.8 | -1.5 | |||||||
| -165 | -33.2 | -20.7 | -2.8 | -1.5 | |||||||
| -170 | -33.3 | -21.1 | -2.8 | -1.5 | |||||||
| -175 | -33.5 | -21.5 | -2.8 | -1.5 | |||||||
| -180 | -33.6 | -21.9 | -2.8 | -1.5 | |||||||
| -185 | -33.8 | -22.4 | -2.9 | -1.5 | |||||||
| -190 | -34.0 | -22.9 | -2.9 | -1.5 | |||||||
| -195 | -34.1 | -23.4 | -2.9 | -1.5 | |||||||
| -200 | -34.3 | -23.9 | -2.9 | -1.6 | |||||||
| -205 | -34.5 | -24.4 | -2.9 | -1.6 | |||||||
| -210 | -34.6 | -25.0 | -3.0 | -1.6 | |||||||
| -215 | -34.8 | -25.6 | -3.0 | -1.6 | |||||||
| -220 | -35.0 | -26.3 | -3.0 | -1.6 | |||||||
| -225 | -35.1 | -27.0 | -3.0 | -1.6 | |||||||
| -230 | -35.3 | -27.8 | -3.0 | -1.6 | |||||||
| -235 | -35.5 | -28.6 | -3.1 | -1.6 | |||||||
| -240 | -35.7 | -29.5 | -3.1 | -1.7 | |||||||
| -245 | -35.9 | -30.4 | -3.1 | -1.7 | |||||||
| -250 | -36.1 | -31.4 | -3.1 | -1.7 | |||||||
| -255 | -36.2 | -32.5 | -3.1 | -1.7 | |||||||
| -260 | -36.4 | -33.7 | -3.2 | -1.7 | |||||||
| -265 | -36.6 | -35.0 | -3.2 | -1.7 | |||||||
| -270 | -36.8 | -36.4 | -3.2 | -1.7 | |||||||
| -275 | -37.0 | -37.9 | -3.2 | -1.7 | |||||||
| -280 | -37.3 | -39.4 | -3.2 | -1.8 | |||||||
| -285 | -37.5 | -41.2 | -3.3 | -1.8 | |||||||
| -290 | -37.7 | -43.3 | -3.3 | -1.8 | |||||||
| -295 | -37.9 | -45.3 | -3.3 | -1.8 | |||||||
| -300 | -38.1 | -47.6 | -3.3 | -1.8 | |||||||
| -305 | -38.4 | -50.2 | -3.3 | -1.8 | |||||||
| -310 | -38.6 | -52.9 | -3.4 | -1.8 | |||||||
| -315 | -38.8 | -56.1 | -3.4 | -1.9 | |||||||
| -320 | -39.0 | -59.4 | -3.4 | -1.9 | |||||||
| -325 | -39.3 | -63.0 | -3.4 | -1.9 | |||||||
| -330 | -39.5 | -67.1 | -3.4 | -1.9 | |||||||
| -335 | -39.8 | -71.5 | -3.5 | -1.9 | |||||||
| -340 | -40.1 | -76.4 | -3.5 | -1.9 | |||||||
| -345 | -40.3 | -81.9 | -3.5 | -2.0 | |||||||
| -350 | -40.6 | -87.7 | -3.5 | -2.0 | |||||||
| -355 | -40.9 | -94.1 | -3.6 | -2.0 | |||||||
| -360 | -41.2 | -101.5 | -3.6 | -2.0 | |||||||
| -365 | -41.4 | -109.5 | -3.6 | -2.0 | |||||||
| -370 | -41.8 | -118.0 | -3.6 | -2.1 | |||||||
| -375 | -42.1 | -127.4 | -3.7 | -2.1 | |||||||
| -380 | -42.4 | -137.7 | -3.7 | -2.1 | |||||||
| -385 | -42.7 | -148.2 | -3.7 | -2.1 | |||||||
| -390 | -43.0 | -3.8 | -2.1 | ||||||||
| -395 | -43.3 | -3.8 | -2.2 | ||||||||
| -400 | -43.7 | -3.8 | -2.2 | ||||||||
| -405 | -44.1 | -3.9 | -2.2 | ||||||||
| -410 | -44.4 | -3.9 | -2.3 | ||||||||
| -415 | -44.8 | -4.0 | -2.3 | ||||||||
| -420 | -45.2 | -4.0 | -2.3 | ||||||||
| -425 | -45.6 | -4.2 | -2.4 | ||||||||
| -430 | -46.0 | -4.4 | -2.5 | ||||||||
| -435 | -46.4 | -4.6 | -2.7 | ||||||||
| -440 | -46.8 | -4.8 | -3.0 | ||||||||
| -445 | -47.2 | -5.1 | -3.4 | ||||||||
| -450 | -47.6 | -5.6 | -3.8 | ||||||||
| -455 | -48.1 | -5.7 | -4.1 | ||||||||
| -460 | -48.5 | -6.2 | -4.4 | ||||||||
| -465 | -48.9 | -6.7 | -4.8 | ||||||||
| -470 | -49.2 | -7.2 | -5.3 | ||||||||
| -475 | -49.5 | -7.9 | -5.0 | ||||||||
| -480 | -49.8 | -8.8 | -5.2 | ||||||||
| -485 | -50.1 | -10.0 | -5.6 | ||||||||
| -490 | -50.3 | -11.8 | -6.6 | ||||||||
| -495 | -50.5 | -14.8 | -7.6 | ||||||||
| -500 | -50.8 | -19.8 | -8.9 |
| A33-02_IVD16.IV | A33-02_IVD17.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd[V] | -500 | -370 | ||
| 0 | -0.3 | 0.0 | Iop[nA]: | -10.39 | -1.62 | ||
| -5 | -0.8 | -0.2 | (Vop[V]) | -150 | -150 | ||
| -10 | -1.9 | -0.3 | |||||
| -15 | -3.6 | -0.5 | |||||
| -20 | -5.0 | -0.6 | |||||
| -25 | -5.8 | -0.7 | |||||
| -30 | -6.4 | -0.8 | |||||
| -35 | -6.8 | -0.9 | |||||
| -40 | -7.2 | -1.0 | |||||
| -45 | -7.5 | -1.1 | |||||
| -50 | -7.7 | -1.2 | |||||
| -55 | -8.0 | -1.3 | |||||
| -60 | -8.2 | -1.3 | |||||
| -65 | -8.4 | -1.3 | |||||
| -70 | -8.6 | -1.4 | |||||
| -75 | -8.7 | -1.4 | |||||
| -80 | -8.9 | -1.4 | |||||
| -85 | -9.0 | -1.4 | |||||
| -90 | -9.2 | -1.4 | |||||
| -95 | -9.3 | -1.5 | |||||
| -100 | -9.4 | -1.5 | |||||
| -105 | -9.5 | -1.5 | |||||
| -110 | -9.7 | -1.5 | |||||
| -115 | -9.8 | -1.5 | |||||
| -120 | -9.9 | -1.5 | |||||
| -125 | -10.0 | -1.6 | |||||
| -130 | -10.0 | -1.6 | |||||
| -135 | -10.1 | -1.6 | |||||
| -140 | -10.2 | -1.6 | |||||
| -145 | -10.3 | -1.6 | |||||
| -150 | -10.4 | -1.6 | |||||
| -155 | -10.5 | -1.6 | |||||
| -160 | -10.6 | -1.6 | |||||
| -165 | -10.6 | -1.7 | |||||
| -170 | -10.7 | -1.7 | |||||
| -175 | -10.8 | -1.7 | |||||
| -180 | -10.8 | -1.7 | |||||
| -185 | -10.9 | -1.7 | |||||
| -190 | -11.0 | -1.7 | |||||
| -195 | -11.1 | -1.7 | |||||
| -200 | -11.1 | -1.7 | |||||
| -205 | -11.2 | -1.7 | |||||
| -210 | -11.2 | -1.8 | |||||
| -215 | -11.3 | -1.8 | |||||
| -220 | -11.4 | -1.8 | |||||
| -225 | -11.4 | -1.8 | |||||
| -230 | -11.5 | -1.8 | |||||
| -235 | -11.6 | -1.8 | |||||
| -240 | -11.6 | -1.8 | |||||
| -245 | -11.7 | -1.8 | |||||
| -250 | -11.7 | -1.8 | |||||
| -255 | -11.8 | -1.8 | |||||
| -260 | -11.9 | -1.9 | |||||
| -265 | -11.9 | -1.9 | |||||
| -270 | -12.0 | -1.9 | |||||
| -275 | -12.0 | -1.9 | |||||
| -280 | -12.1 | -1.9 | |||||
| -285 | -12.1 | -1.9 | |||||
| -290 | -12.2 | -1.9 | |||||
| -295 | -12.3 | -1.9 | |||||
| -300 | -12.3 | -1.9 | |||||
| -305 | -12.4 | -2.0 | |||||
| -310 | -12.4 | -2.0 | |||||
| -315 | -12.5 | -2.0 | |||||
| -320 | -12.6 | -2.1 | |||||
| -325 | -12.6 | -2.4 | |||||
| -330 | -12.7 | -2.9 | |||||
| -335 | -12.8 | -3.2 | |||||
| -340 | -12.8 | -3.6 | |||||
| -345 | -12.9 | -4.2 | |||||
| -350 | -12.9 | -5.4 | |||||
| -355 | -13.0 | -7.5 | |||||
| -360 | -13.0 | -10.5 | |||||
| -365 | -13.1 | -13.8 | |||||
| -370 | -13.2 | -19.1 | |||||
| -375 | -13.2 | -26.1 | |||||
| -380 | -13.3 | -36.6 | |||||
| -385 | -13.3 | -52.6 | |||||
| -390 | -13.4 | -76.4 | |||||
| -395 | -13.4 | -107.4 | |||||
| -400 | -13.5 | ||||||
| -405 | -13.5 | ||||||
| -410 | -13.6 | ||||||
| -415 | -13.7 | ||||||
| -420 | -13.7 | ||||||
| -425 | -13.8 | ||||||
| -430 | -13.8 | ||||||
| -435 | -13.9 | ||||||
| -440 | -13.9 | ||||||
| -445 | -14.0 | ||||||
| -450 | -14.1 | ||||||
| -455 | -14.1 | ||||||
| -460 | -14.2 | ||||||
| -465 | -14.2 | ||||||
| -470 | -14.3 | ||||||
| -475 | -14.3 | ||||||
| -480 | -14.4 | ||||||
| -485 | -14.5 | ||||||
| -490 | -14.6 | ||||||
| -495 | -14.6 | ||||||
| -500 | -14.7 |
| A33-02_CVD16.CV | A33-02_CVD17.CV | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Capacitance [pF^-2] | C[pF] | Vdep Pass | Pass | ||||
| 0 | 0.000244 | 63.9917 | 0.00019 | 72.59 | Vop Pass | Pass | ||||
| -5 | 0.00544 | 13.5584 | 0.00474 | 14.5252 | Resistivity | Pass | Pass | |||
| -10 | 0.010111 | 9.94472 | 0.009012 | 10.5337 | Vdep[V]: | -90 | -75 | |||
| -15 | 0.014356 | 8.34601 | 0.013031 | 8.76005 | Vop [V]: | -150 | -150 | |||
| -20 | 0.018271 | 7.39801 | 0.01652 | 7.78036 | Resistivity[kOhmcm]: | 2.39 | 2.87 | |||
| -25 | 0.022034 | 6.73678 | 0.019832 | 7.1009 | Cdep[pF] | 3.00 | 2.96 | |||
| -30 | 0.02546 | 6.26715 | 0.023009 | 6.59253 | Cmin[pF] | 2.25 | 2.33 | |||
| -35 | 0.028769 | 5.89569 | 0.025982 | 6.2039 | (Thickness[um]): | 252.9 | 252.9 | |||
| -40 | 0.031731 | 5.61379 | 0.028687 | 5.90411 | (Vbd[V]): | -500 | -370 | |||
| -45 | 0.034448 | 5.38786 | 0.0311 | 5.67047 | ||||||
| -50 | 0.036655 | 5.22319 | 0.033107 | 5.49595 | ||||||
| -55 | 0.038186 | 5.11738 | 0.034363 | 5.39452 | ||||||
| -60 | 0.038976 | 5.06524 | 0.035218 | 5.32866 | ||||||
| -65 | 0.039514 | 5.03068 | 0.04313 | 4.81518 | ||||||
| -70 | 0.039878 | 5.00766 | 0.101732 | 3.13525 | ||||||
| -75 | 0.041229 | 4.92493 | 0.114267 | 2.95828 | ||||||
| -80 | 0.067402 | 3.85181 | 0.156295 | 2.52946 | ||||||
| -85 | 0.105824 | 3.07403 | 0.157906 | 2.51652 | ||||||
| -90 | 0.110833 | 3.00376 | 0.161632 | 2.48735 | ||||||
| -95 | 0.116502 | 2.92977 | 0.160485 | 2.49622 | ||||||
| -100 | 0.131401 | 2.75868 | 0.162679 | 2.47933 | ||||||
| -105 | 0.167416 | 2.444 | 0.165595 | 2.4574 | ||||||
| -110 | 0.177123 | 2.37609 | 0.166181 | 2.45307 | ||||||
| -115 | 0.179808 | 2.35828 | 0.167472 | 2.44359 | ||||||
| -120 | 0.181534 | 2.34704 | 0.168317 | 2.43745 | ||||||
| -125 | 0.18368 | 2.33329 | 0.169907 | 2.42602 | ||||||
| -130 | 0.184935 | 2.32536 | 0.170573 | 2.42128 | ||||||
| -135 | 0.186452 | 2.31588 | 0.170743 | 2.42007 | ||||||
| -140 | 0.187907 | 2.3069 | 0.174114 | 2.39653 | ||||||
| -145 | 0.188388 | 2.30395 | 0.173428 | 2.40127 | ||||||
| -150 | 0.189715 | 2.29588 | 0.173582 | 2.4002 | ||||||
| -155 | 0.190666 | 2.29015 | 0.176374 | 2.38113 | ||||||
| -160 | 0.191467 | 2.28535 | 0.175372 | 2.38792 | ||||||
| -165 | 0.19249 | 2.27927 | 0.174998 | 2.39047 | ||||||
| -170 | 0.193135 | 2.27546 | 0.177036 | 2.37667 | ||||||
| -175 | 0.19364 | 2.27249 | 0.180395 | 2.35444 | ||||||
| -180 | 0.193995 | 2.27041 | 0.178242 | 2.36862 | ||||||
| -185 | 0.194626 | 2.26673 | 0.178207 | 2.36885 | ||||||
| -190 | 0.195491 | 2.26171 | 0.182619 | 2.34006 | ||||||
| -195 | 0.196534 | 2.2557 | 0.180467 | 2.35397 | ||||||
| -200 | 0.197241 | 2.25165 | 0.184248 | 2.32969 |
| A33-02_BOX23.IV | A33-02_BOX24.IV | A33-02_BOX25.IV | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Bias [V] | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Current [nA]@20C | Vbd | Pass | Pass | Pass | |||
| 0 | -0.000956 | -0.000852 | -0.000237 | Vbd[V]: | 100 | 100 | 100 | ||||
| 2 | -0.000286 | -0.000274 | 0.00028 | ||||||||
| 4 | -0.000018 | 0.000055 | 0.000487 | ||||||||
| 6 | 0.000256 | 0.000207 | 0.000694 | ||||||||
| 8 | 0.000463 | 0.000317 | 0.000822 | ||||||||
| 10 | 0.000639 | 0.000475 | 0.000901 | ||||||||
| 12 | 0.000974 | 0.000688 | 0.001065 | ||||||||
| 14 | 0.001193 | 0.000749 | 0.00126 | ||||||||
| 16 | 0.001583 | 0.000937 | 0.00143 | ||||||||
| 18 | 0.001893 | 0.001096 | 0.001589 | ||||||||
| 20 | 0.002258 | 0.001309 | 0.001716 | ||||||||
| 22 | 0.002532 | 0.001418 | 0.001802 | ||||||||
| 24 | 0.002818 | 0.001564 | 0.001905 | ||||||||
| 26 | 0.003019 | 0.001771 | 0.002057 | ||||||||
| 28 | 0.003226 | 0.001984 | 0.002155 | ||||||||
| 30 | 0.003421 | 0.002112 | 0.002222 | ||||||||
| 32 | 0.003561 | 0.002191 | 0.002331 | ||||||||
| 34 | 0.003749 | 0.002301 | 0.002489 | ||||||||
| 36 | 0.003822 | 0.002453 | 0.002526 | ||||||||
| 38 | 0.003926 | 0.002544 | 0.002605 | ||||||||
| 40 | 0.004048 | 0.002709 | 0.002605 | ||||||||
| 42 | 0.004102 | 0.002715 | 0.002642 | ||||||||
| 44 | 0.004279 | 0.002849 | 0.002782 | ||||||||
| 46 | 0.004303 | 0.002891 | 0.002849 | ||||||||
| 48 | 0.004407 | 0.002982 | 0.002903 | ||||||||
| 50 | 0.004395 | 0.003025 | 0.002958 | ||||||||
| 52 | 0.004352 | 0.00308 | 0.002976 | ||||||||
| 54 | 0.004449 | 0.003092 | 0.003043 | ||||||||
| 56 | 0.004504 | 0.003129 | 0.003019 | ||||||||
| 58 | 0.004522 | 0.003153 | 0.00311 | ||||||||
| 60 | 0.004589 | 0.003171 | 0.003202 | ||||||||
| 62 | 0.004571 | 0.003238 | 0.003177 | ||||||||
| 64 | 0.004632 | 0.003281 | 0.00322 | ||||||||
| 66 | 0.004717 | 0.003378 | 0.003287 | ||||||||
| 68 | 0.004851 | 0.00336 | 0.003269 | ||||||||
| 70 | 0.004808 | 0.003354 | 0.003329 | ||||||||
| 72 | 0.004863 | 0.003384 | 0.003396 | ||||||||
| 74 | 0.004924 | 0.003475 | 0.003427 | ||||||||
| 76 | 0.004869 | 0.003512 | 0.003421 | ||||||||
| 78 | 0.004985 | 0.003536 | 0.0035 | ||||||||
| 80 | 0.005034 | 0.003469 | 0.00353 | ||||||||
| 82 | 0.00504 | 0.003524 | 0.00353 | ||||||||
| 84 | 0.004942 | 0.003561 | 0.003615 | ||||||||
| 86 | 0.004979 | 0.003549 | 0.003622 | ||||||||
| 88 | 0.004991 | 0.00364 | 0.003768 | ||||||||
| 90 | 0.004948 | 0.003615 | 0.003676 | ||||||||
| 92 | 0.005095 | 0.003664 | 0.003749 | ||||||||
| 94 | 0.005082 | 0.003567 | 0.003762 | ||||||||
| 96 | 0.005095 | 0.003707 | 0.00381 | ||||||||
| 98 | 0.005131 | 0.003658 | 0.003798 | ||||||||
| 100 | 0.005204 | 0.003731 | 0.003829 |
| A33-02_COX22.CV | A33-02_COX23.CV | A33-02_COX24.CV | A33-02_COX25.CV | Criteria/Quantity: | |||||||
| Bias [V] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Capacitance [pF] | Cox [pF]: | 276.577 | 280.155 | 277.775 | 279.301 | ||
| 0 | 276.577011 | 280.15501 | 277.774997 | 279.300999 | Cmin [pF]: | 6.48366 | 18.5185 | 2.4403 | 3.01733 | ||
| -2 | 261.287991 | 279.745005 | 277.049994 | 277.798007 | CFB [pF]: | 51.0 | 51.1 | 51.0 | 51.1 | ||
| -4 | 11.7841 | 278.638002 | 275.014012 | 270.870992 | VFB [V]: | 4 | 12 | 8 | 7 | ||
| -6 | 8.04607 | 274.344991 | 264.843009 | 107.561002 | (Vdep[V]): | -90 | -90 | -90 | -90 | ||
| -8 | 7.81334 | 218.689997 | 40.6956 | 8.74766 | CFB [pF]: | 47.3 | 47.4 | 47.3 | 47.4 | ||
| -10 | 7.66603 | 114.454002 | 6.60143 | 5.91445 | VFB [V]: | 4 | 12 | 8 | 7 | ||
| -12 | 7.26941 | 18.691699 | 4.84048 | 4.9553 | (Vdep[V]): | -75 | -75 | -75 | -75 | ||
| -14 | 7.45138 | 18.655201 | 4.15037 | 4.44642 | (Thickness[um]): | 252.9 | 252.9 | 252.9 | 252.9 | ||
| -16 | 7.21436 | 18.646 | 3.76794 | 4.11951 | (T[C]): | 25 | 25 | 25 | 25 | ||
| -18 | 7.42702 | 18.6288 | 3.50364 | 3.89398 | |||||||
| -20 | 7.11257 | 18.6085 | 3.32302 | 3.73844 | |||||||
| -22 | 7.38922 | 18.5878 | 3.18511 | 3.61125 | |||||||
| -24 | 7.22833 | 18.569399 | 3.07624 | 3.52439 | |||||||
| -26 | 7.01161 | 18.552901 | 2.98035 | 3.44547 | |||||||
| -28 | 7.35449 | 18.5446 | 2.90455 | 3.3809 | |||||||
| -30 | 7.22358 | 18.5403 | 2.84043 | 3.33676 | |||||||
| -32 | 6.7858 | 18.518499 | 2.78108 | 3.30123 | |||||||
| -34 | 6.85689 | 18.5223 | 2.72417 | 3.24491 | |||||||
| -36 | 6.62377 | 18.5283 | 2.67317 | 3.19518 | |||||||
| -38 | 6.7882 | 18.535101 | 2.62821 | 3.15543 | |||||||
| -40 | 6.5924 | 18.5421 | 2.58847 | 3.12317 | |||||||
| -42 | 6.78811 | 18.5491 | 2.55335 | 3.09394 | |||||||
| -44 | 6.59706 | 18.557 | 2.52343 | 3.071 | |||||||
| -46 | 6.48366 | 18.5618 | 2.4932 | 3.04994 | |||||||
| -48 | 6.74686 | 18.5728 | 2.46578 | 3.0314 | |||||||
| -50 | 6.59015 | 18.5771 | 2.4403 | 3.01733 |
| A33-02_IVG22.IV | A33-02_IVG24.IV | Criteria/Quantity: | |||||
| Bias [V] | I_K487ox[nA]@20C | I_K487ox[nA]@20C | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.16048 | -0.06943 | ||
| 0 | -0.000282 | 0.000141 | Ibot(VFB-3) [nA]: | -0.03541 | -0.0081 | ||
| -1 | -0.035411 | -0.008097 | Iox [nA]: | -0.1251 | -0.0613 | ||
| -2 | -0.042502 | -0.009491 | (VFB)[V]: | 4 | 4 | ||
| -3 | -0.101344 | -0.010745 | (VFB+3)[V]: | 7 | 7 | ||
| -4 | -0.112701 | -0.012045 | (VFB-3)[V]: | 1 | 1 | ||
| -5 | -0.111371 | -0.013357 | Itop(VFB+3) [nA]: | -0.42738 | -0.08568 | ||
| -6 | -0.13702 | -0.014858 | Ibot(VFB-3) [nA]: | -0.21356 | -0.07507 | ||
| -7 | -0.160481 | -0.069434 | Iox [nA]: | -0.21382 | -0.01062 | ||
| -8 | -0.185036 | -0.076913 | (VFB)[V]: | 12 | 12 | ||
| -9 | -0.213563 | -0.075065 | (VFB+3)[V]: | 15 | 15 | ||
| -10 | -0.257553 | -0.079537 | (VFB-3)[V]: | 9 | 9 | ||
| -11 | -0.281761 | -0.080791 | |||||
| -12 | -0.320185 | -0.081985 | |||||
| -13 | -0.341145 | -0.083321 | |||||
| -14 | -0.394815 | -0.084403 | |||||
| -15 | -0.427384 | -0.08568 | |||||
| -16 | -0.457847 | -0.086916 | |||||
| -17 | -0.486114 | -0.088105 | |||||
| -18 | -0.510416 | -0.089399 | |||||
| -19 | -0.532694 | -0.090541 | |||||
| -20 | -0.553924 | -0.091776 | |||||
| -21 | -0.575555 | -0.093053 | |||||
| -22 | -0.596762 | -0.094165 | |||||
| -23 | -0.61808 | -0.095325 | |||||
| -24 | -0.637587 | -0.096449 | |||||
| -25 | -0.654816 | -0.097684 | |||||
| -26 | -0.670974 | -0.098879 | |||||
| -27 | -0.686843 | -0.100038 | |||||
| -28 | -0.706691 | -0.101262 | |||||
| -29 | -0.687085 | -0.102262 | |||||
| -30 | -0.732028 | -0.103333 |
| A33-02_MFE26D.IV | A33-02_MFE26H.IV | Criteria/Quantity: | ||||||||||
| Bias [V] | I_K487[nA]@20C | I_K487[nA]@20C | P-spray | Pass | Pass | |||||||
| 0 | -0.001053 | -0.001193 | Vth [V]: | 24 | 24 | |||||||
| 2 | -0.001376 | -0.001193 | P-spray [cm-2]: | 2.36E+12 | 2.36E+12 | |||||||
| 4 | -0.001376 | 0.004157 | (Cox[pF]:) | 278.0 | 278 | |||||||
| 6 | -0.00137 | -0.001388 | (VFB[V]:) | 0 | 0 | |||||||
| 8 | -0.001363 | -0.001388 | ||||||||||
| 10 | -0.001863 | -0.001382 | Comment: VFB value is set to 0 because of the new P-spray formula excludes influence of the VFB. | |||||||||
| 12 | -0.001869 | -0.001783 | ||||||||||
| 14 | -0.001869 | -0.001789 | ||||||||||
| 16 | -0.002891 | -0.002769 | ||||||||||
| 18 | -0.002897 | -0.002776 | ||||||||||
| 20 | -0.003664 | 0.012952 | ||||||||||
| 22 | -0.004382 | -0.004413 | ||||||||||
| 24 | -0.004875 | -0.004419 | ||||||||||
| 26 | 94.331263 | 55.07587 | ||||||||||
| 28 | 3363.860869 | 2727.620915 | ||||||||||
| 30 | 4726.058333 | 3650.969172 | ||||||||||
| 32 | 5378.428216 | 4054.51577 | ||||||||||
| 34 | 5758.236486 | 4291.348241 | ||||||||||
| 36 | 6003.346634 | 4423.855018 | ||||||||||
| 38 | 6192.155512 | 4550.701165 | ||||||||||
| 40 | 4622.098001 |
| Wafer: | A33-02 | |
| Measured Thickness[um]: | ||
| Vendor's Thickness [um]: | 252.9 | |
| Criteria/Quantity: | ||
| Thickness | Pass | |
| A33-02_ITS01.IT | Criteria/Quantity: | ||||||||
| Time[s.10] | Bias[V] | I[nA]@20C | Slope | Pass | |||||
| 0 | -150 | -149.608366 | Start 26/11/2001 | Slope: | 0.99 | ||||
| 1 | -150 | -149.292829 | at 12:20 | Istart[nA]: | -149.61 | ||||
| 2 | -150 | -149.124995 | T= 24C | Istop[nA]: | -148.81 | ||||
| 3 | -150 | -149.185414 | |||||||
| 4 | -150 | -149.104856 | Stop 27/11/2001 | ||||||
| 5 | -150 | -149.151851 | at 05:20 AM | ||||||
| 6 | -150 | -149.131712 | T= 24C | ||||||
| 7 | -150 | -149.178707 | |||||||
| 8 | -150 | -149.218987 | |||||||
| 9 | -150 | -149.306262 | |||||||
| 10 | -150 | -149.23241 | |||||||
| 11 | -150 | -149.326401 | |||||||
| 12 | -150 | -149.319685 | |||||||
| 13 | -150 | -149.353257 | |||||||
| 14 | -150 | -149.393537 | |||||||
| 15 | -150 | -149.487518 | |||||||
| 16 | -150 | -149.420383 | |||||||
| 17 | -150 | -149.433816 | |||||||
| 18 | -150 | -149.447239 | |||||||
| 19 | -150 | -149.467379 | |||||||
| 20 | -150 | -149.487518 | |||||||
| 21 | -150 | -149.494235 | |||||||
| 22 | -150 | -149.460672 | |||||||
| 23 | -150 | -149.514374 | |||||||
| 24 | -150 | -149.521091 | |||||||
| 25 | -150 | -149.594933 | |||||||
| 26 | -150 | -149.527798 | |||||||
| 27 | -150 | -149.574793 | |||||||
| 28 | -150 | -149.541231 | |||||||
| 29 | -150 | -149.568087 | |||||||
| 30 | -150 | -149.514374 | |||||||
| 31 | -150 | -149.541231 | |||||||
| 32 | -150 | -149.521091 | |||||||
| 33 | -150 | -149.514374 | |||||||
| 34 | -150 | -149.507658 | |||||||
| 35 | -150 | -149.500951 | |||||||
| 36 | -150 | -149.521091 | |||||||
| 37 | -150 | -149.521091 | |||||||
| 38 | -150 | -149.527798 | |||||||
| 39 | -150 | -149.527798 | |||||||
| 40 | -150 | -149.507658 | |||||||
| 41 | -150 | -149.527798 | |||||||
| 42 | -150 | -149.494235 | |||||||
| 43 | -150 | -149.527798 | |||||||
| 44 | -150 | -149.507658 | |||||||
| 45 | -150 | -149.494235 | |||||||
| 46 | -150 | -149.494235 | |||||||
| 47 | -150 | -149.541231 | |||||||
| 48 | -150 | -149.467379 | |||||||
| 49 | -150 | -149.58151 | |||||||
| 50 | -150 | -149.460672 | |||||||
| 51 | -150 | -149.40696 | |||||||
| 52 | -150 | -149.420383 | |||||||
| 53 | -150 | -149.507658 | |||||||
| 54 | -150 | -149.380104 | |||||||
| 55 | -150 | -149.373397 | |||||||
| 56 | -150 | -149.359964 | |||||||
| 57 | -150 | -149.380104 | |||||||
| 58 | -150 | -149.393537 | |||||||
| 59 | -150 | -149.373397 | |||||||
| 60 | -150 | -149.339825 | |||||||
| 61 | -150 | -149.326401 | |||||||
| 62 | -150 | -149.333108 | |||||||
| 63 | -150 | -149.319685 | |||||||
| 64 | -150 | -149.359964 | |||||||
| 65 | -150 | -149.265982 | |||||||
| 66 | -150 | -149.306262 | |||||||
| 67 | -150 | -149.292829 | |||||||
| 68 | -150 | -149.279406 | |||||||
| 69 | -150 | -149.279406 | |||||||
| 70 | -150 | -149.380104 | |||||||
| 71 | -150 | -149.286122 | |||||||
| 72 | -150 | -149.38682 | |||||||
| 73 | -150 | -149.272689 | |||||||
| 74 | -150 | -149.286122 | |||||||
| 75 | -150 | -149.265982 | |||||||
| 76 | -150 | -149.23241 | |||||||
| 77 | -150 | -149.306262 | |||||||
| 78 | -150 | -149.272689 | |||||||
| 79 | -150 | -149.245843 | |||||||
| 80 | -150 | -149.218987 | |||||||
| 81 | -150 | -149.205554 | |||||||
| 82 | -150 | -149.239126 | |||||||
| 83 | -150 | -149.192131 | |||||||
| 84 | -150 | -149.198847 | |||||||
| 85 | -150 | -149.178707 | |||||||
| 86 | -150 | -149.165275 | |||||||
| 87 | -150 | -149.158568 | |||||||
| 88 | -150 | -149.21227 | |||||||
| 89 | -150 | -149.225694 | |||||||
| 90 | -150 | -149.171991 | |||||||
| 91 | -150 | -149.158568 | |||||||
| 92 | -150 | -149.124995 | |||||||
| 93 | -150 | -149.178707 | |||||||
| 94 | -150 | -149.138428 | |||||||
| 95 | -150 | -149.205554 | |||||||
| 96 | -150 | -149.131712 | |||||||
| 97 | -150 | -149.104856 | |||||||
| 98 | -150 | -149.198847 | |||||||
| 99 | -150 | -149.104856 | |||||||
| 100 | -150 | -149.118279 | |||||||
| 101 | -150 | -149.084716 | |||||||
| 102 | -150 | -149.098139 | |||||||
| 103 | -150 | -149.151851 | |||||||
| 104 | -150 | -149.098139 | |||||||
| 105 | -150 | -149.098139 | |||||||
| 106 | -150 | -149.078 | |||||||
| 107 | -150 | -149.084716 | |||||||
| 108 | -150 | -149.084716 | |||||||
| 109 | -150 | -149.091433 | |||||||
| 110 | -150 | -149.104856 | |||||||
| 111 | -150 | -149.05786 | |||||||
| 112 | -150 | -149.05786 | |||||||
| 113 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 114 | -150 | -149.024297 | |||||||
| 115 | -150 | -149.024297 | |||||||
| 116 | -150 | -149.138428 | |||||||
| 117 | -150 | -149.084716 | |||||||
| 118 | -150 | -149.031014 | |||||||
| 119 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 120 | -150 | -149.024297 | |||||||
| 121 | -150 | -149.010864 | |||||||
| 122 | -150 | -149.010864 | |||||||
| 123 | -150 | -148.977302 | |||||||
| 124 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 125 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 126 | -150 | -148.997441 | |||||||
| 127 | -150 | -148.997441 | |||||||
| 128 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 129 | -150 | -149.031014 | |||||||
| 130 | -150 | -148.990725 | |||||||
| 131 | -150 | -148.970585 | |||||||
| 132 | -150 | -149.004158 | |||||||
| 133 | -150 | -148.970585 | |||||||
| 134 | -150 | -148.984018 | |||||||
| 135 | -150 | -148.984018 | |||||||
| 136 | -150 | -148.963878 | |||||||
| 137 | -150 | -148.963878 | |||||||
| 138 | -150 | -148.957162 | |||||||
| 139 | -150 | -149.024297 | |||||||
| 140 | -150 | -148.937022 | |||||||
| 141 | -150 | -148.930306 | |||||||
| 142 | -150 | -148.890027 | |||||||
| 143 | -150 | -148.930306 | |||||||
| 144 | -150 | -148.923599 | |||||||
| 145 | -150 | -148.957162 | |||||||
| 146 | -150 | -148.923599 | |||||||
| 147 | -150 | -148.930306 | |||||||
| 148 | -150 | -148.916883 | |||||||
| 149 | -150 | -148.910166 | |||||||
| 150 | -150 | -148.930306 | |||||||
| 151 | -150 | -148.896743 | |||||||
| 152 | -150 | -148.937022 | |||||||
| 153 | -150 | -148.937022 | |||||||
| 154 | -150 | -148.90345 | |||||||
| 155 | -150 | -148.977302 | |||||||
| 156 | -150 | -148.896743 | |||||||
| 157 | -150 | -148.88331 | |||||||
| 158 | -150 | -148.869887 | |||||||
| 159 | -150 | -148.890027 | |||||||
| 160 | -150 | -148.869887 | |||||||
| 161 | -150 | -148.863171 | |||||||
| 162 | -150 | -148.856464 | |||||||
| 163 | -150 | -148.863171 | |||||||
| 164 | -150 | -148.856464 | |||||||
| 165 | -150 | -148.876603 | |||||||
| 166 | -150 | -148.863171 | |||||||
| 167 | -150 | -148.950446 | |||||||
| 168 | -150 | -148.856464 | |||||||
| 169 | -150 | -148.863171 | |||||||
| 170 | -150 | -148.843031 | |||||||
| 171 | -150 | -148.822891 | |||||||
| 172 | -150 | -148.923599 | |||||||
| 173 | -150 | -148.836324 | |||||||
| 174 | -150 | -148.809468 | |||||||
| 175 | -150 | -148.802752 | |||||||
| 176 | -150 | -148.829608 | |||||||
| 177 | -150 | -148.822891 | |||||||
| 178 | -150 | -148.836324 | |||||||
| 179 | -150 | -148.843031 | |||||||
| 180 | -150 | -148.822891 | |||||||
| 181 | -150 | -148.809468 | |||||||
| 182 | -150 | -148.816184 | |||||||
| 183 | -150 | -148.822891 | |||||||
| 184 | -150 | -148.849747 | |||||||
| 185 | -150 | -148.822891 | |||||||
| 186 | -150 | -148.809468 | |||||||
| 187 | -150 | -148.856464 | |||||||
| 188 | -150 | -148.809468 | |||||||
| 189 | -150 | -148.809468 | |||||||
| 190 | -150 | -148.782612 | |||||||
| 191 | -150 | -148.782612 | |||||||
| 192 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 193 | -150 | -148.782612 | |||||||
| 194 | -150 | -148.722193 | |||||||
| 195 | -150 | -148.796035 | |||||||
| 196 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 197 | -150 | -148.816184 | |||||||
| 198 | -150 | -148.775896 | |||||||
| 199 | -150 | -148.72891 | |||||||
| 200 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 201 | -150 | -148.775896 | |||||||
| 202 | -150 | -148.816184 | |||||||
| 203 | -150 | -148.755756 | |||||||
| 204 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 205 | -150 | -148.789328 | |||||||
| 206 | -150 | -148.749049 | |||||||
| 207 | -150 | -148.836324 | |||||||
| 208 | -150 | -148.755756 | |||||||
| 209 | -150 | -148.742333 | |||||||
| 210 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 211 | -150 | -148.742333 | |||||||
| 212 | -150 | -148.735616 | |||||||
| 213 | -150 | -148.755756 | |||||||
| 214 | -150 | -148.789328 | |||||||
| 215 | -150 | -148.749049 | |||||||
| 216 | -150 | -148.735616 | |||||||
| 217 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 218 | -150 | -148.735616 | |||||||
| 219 | -150 | -148.749049 | |||||||
| 220 | -150 | -148.796035 | |||||||
| 221 | -150 | -148.775896 | |||||||
| 222 | -150 | -148.735616 | |||||||
| 223 | -150 | -148.695337 | |||||||
| 224 | -150 | -148.695337 | |||||||
| 225 | -150 | -148.695337 | |||||||
| 226 | -150 | -148.742333 | |||||||
| 227 | -150 | -148.702053 | |||||||
| 228 | -150 | -148.802752 | |||||||
| 229 | -150 | -148.695337 | |||||||
| 230 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 231 | -150 | -148.789328 | |||||||
| 232 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 233 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 234 | -150 | -148.749049 | |||||||
| 235 | -150 | -148.72891 | |||||||
| 236 | -150 | -148.802752 | |||||||
| 237 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 238 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 239 | -150 | -148.681914 | |||||||
| 240 | -150 | -148.715477 | |||||||
| 241 | -150 | -148.668481 | |||||||
| 242 | -150 | -148.688621 | |||||||
| 243 | -150 | -148.762472 | |||||||
| 244 | -150 | -148.749049 | |||||||
| 245 | -150 | -148.70877 | |||||||
| 246 | -150 | -148.648341 | |||||||
| 247 | -150 | -148.755756 | |||||||
| 248 | -150 | -148.668481 | |||||||
| 249 | -150 | -148.681914 | |||||||
| 250 | -150 | -148.755756 | |||||||
| 251 | -150 | -148.641635 | |||||||
| 252 | -150 | -148.742333 | |||||||
| 253 | -150 | -148.668481 | |||||||
| 254 | -150 | -148.675197 | |||||||
| 255 | -150 | -148.641635 | |||||||
| 256 | -150 | -148.661774 | |||||||
| 257 | -150 | -148.661774 | |||||||
| 258 | -150 | -148.735616 | |||||||
| 259 | -150 | -148.648341 | |||||||
| 260 | -150 | -148.668481 | |||||||
| 261 | -150 | -148.648341 | |||||||
| 262 | -150 | -148.655058 | |||||||
| 263 | -150 | -148.648341 | |||||||
| 264 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 265 | -150 | -148.661774 | |||||||
| 266 | -150 | -148.661774 | |||||||
| 267 | -150 | -148.621495 | |||||||
| 268 | -150 | -148.608062 | |||||||
| 269 | -150 | -148.601355 | |||||||
| 270 | -150 | -148.668481 | |||||||
| 271 | -150 | -148.634918 | |||||||
| 272 | -150 | -148.621495 | |||||||
| 273 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 274 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 275 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 276 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 277 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 278 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 279 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 280 | -150 | -148.608062 | |||||||
| 281 | -150 | -148.648341 | |||||||
| 282 | -150 | -148.655058 | |||||||
| 283 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 284 | -150 | -148.594639 | |||||||
| 285 | -150 | -148.594639 | |||||||
| 286 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 287 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 288 | -150 | -148.634918 | |||||||
| 289 | -150 | -148.574499 | |||||||
| 290 | -150 | -148.594639 | |||||||
| 291 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 292 | -150 | -148.581206 | |||||||
| 293 | -150 | -148.601355 | |||||||
| 294 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 295 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 296 | -150 | -148.574499 | |||||||
| 297 | -150 | -148.661774 | |||||||
| 298 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 299 | -150 | -148.641635 | |||||||
| 300 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 301 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 302 | -150 | -148.574499 | |||||||
| 303 | -150 | -148.574499 | |||||||
| 304 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 305 | -150 | -148.594639 | |||||||
| 306 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 307 | -150 | -148.547643 | |||||||
| 308 | -150 | -148.567783 | |||||||
| 309 | -150 | -148.547643 | |||||||
| 310 | -150 | -148.567783 | |||||||
| 311 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 312 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 313 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 314 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 315 | -150 | -148.567783 | |||||||
| 316 | -150 | -148.614779 | |||||||
| 317 | -150 | -148.601355 | |||||||
| 318 | -150 | -148.53422 | |||||||
| 319 | -150 | -148.587923 | |||||||
| 320 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 321 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 322 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 323 | -150 | -148.628202 | |||||||
| 324 | -150 | -148.547643 | |||||||
| 325 | -150 | -148.53422 | |||||||
| 326 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 327 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 328 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 329 | -150 | -148.581206 | |||||||
| 330 | -150 | -148.601355 | |||||||
| 331 | -150 | -148.53422 | |||||||
| 332 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 333 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 334 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 335 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 336 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 337 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 338 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 339 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 340 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 341 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 342 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 343 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 344 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 345 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 346 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 347 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 348 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 349 | -150 | -148.55436 | |||||||
| 350 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 351 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 352 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 353 | -150 | -148.547643 | |||||||
| 354 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 355 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 356 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 357 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 358 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 359 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 360 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 361 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 362 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 363 | -150 | -148.480508 | |||||||
| 364 | -150 | -148.574499 | |||||||
| 365 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 366 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 367 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 368 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 369 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 370 | -150 | -148.527504 | |||||||
| 371 | -150 | -148.55436 | |||||||
| 372 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 373 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 374 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 375 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 376 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 377 | -150 | -148.561066 | |||||||
| 378 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 379 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 380 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 381 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 382 | -150 | -148.601355 | |||||||
| 383 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 384 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 385 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 386 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 387 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 388 | -150 | -148.581206 | |||||||
| 389 | -150 | -148.55436 | |||||||
| 390 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 391 | -150 | -148.594639 | |||||||
| 392 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 393 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 394 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 395 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 396 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 397 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 398 | -150 | -148.55436 | |||||||
| 399 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 400 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 401 | -150 | -148.500648 | |||||||
| 402 | -150 | -148.480508 | |||||||
| 403 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 404 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 405 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 406 | -150 | -148.581206 | |||||||
| 407 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 408 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 409 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 410 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 411 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 412 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 413 | -150 | -148.540927 | |||||||
| 414 | -150 | -148.487224 | |||||||
| 415 | -150 | -148.51408 | |||||||
| 416 | -150 | -148.480508 | |||||||
| 417 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 418 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 419 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 420 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 421 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 422 | -150 | -148.446945 | |||||||
| 423 | -150 | -148.55436 | |||||||
| 424 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 425 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 426 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 427 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 428 | -150 | -148.520787 | |||||||
| 429 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 430 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 431 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 432 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 433 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 434 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 435 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 436 | -150 | -148.480508 | |||||||
| 437 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 438 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 439 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 440 | -150 | -148.493941 | |||||||
| 441 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 442 | -150 | -148.446945 | |||||||
| 443 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 444 | -150 | -148.420089 | |||||||
| 445 | -150 | -148.446945 | |||||||
| 446 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 447 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 448 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 449 | -150 | -148.446945 | |||||||
| 450 | -150 | -148.453652 | |||||||
| 451 | -150 | -148.446945 | |||||||
| 452 | -150 | -148.433512 | |||||||
| 453 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 454 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 455 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 456 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 457 | -150 | -148.473792 | |||||||
| 458 | -150 | -148.507364 | |||||||
| 459 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 460 | -150 | -148.433512 | |||||||
| 461 | -150 | -148.480508 | |||||||
| 462 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 463 | -150 | -148.420089 | |||||||
| 464 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 465 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 466 | -150 | -148.413373 | |||||||
| 467 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 468 | -150 | -148.413373 | |||||||
| 469 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 470 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 471 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 472 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 473 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 474 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 475 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 476 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 477 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 478 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 479 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 480 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 481 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 482 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 483 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 484 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 485 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 486 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 487 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 488 | -150 | -148.413373 | |||||||
| 489 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 490 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 491 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 492 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 493 | -150 | -148.386526 | |||||||
| 494 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 495 | -150 | -148.386526 | |||||||
| 496 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 497 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 498 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 499 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 500 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 501 | -150 | -148.467085 | |||||||
| 502 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 503 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 504 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 505 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 506 | -150 | -148.386526 | |||||||
| 507 | -150 | -148.460368 | |||||||
| 508 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 509 | -150 | -148.393233 | |||||||
| 510 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 511 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 512 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 513 | -150 | -148.386526 | |||||||
| 514 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 515 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 516 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 517 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 518 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 519 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 520 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 521 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 522 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 523 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 524 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 525 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 526 | -150 | -148.420089 | |||||||
| 527 | -150 | -148.399949 | |||||||
| 528 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 529 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 530 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 531 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 532 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 533 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 534 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 535 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 536 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 537 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 538 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 539 | -150 | -148.440229 | |||||||
| 540 | -150 | -148.406666 | |||||||
| 541 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 542 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 543 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 544 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 545 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 546 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 547 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 548 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 549 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 550 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 551 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 552 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 553 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 554 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 555 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 556 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 557 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 558 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 559 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 560 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 561 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 562 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 563 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 564 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 565 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 566 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 567 | -150 | -148.413373 | |||||||
| 568 | -150 | -148.433512 | |||||||
| 569 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 570 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 571 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 572 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 573 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 574 | -150 | -148.420089 | |||||||
| 575 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 576 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 577 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 578 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 579 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 580 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 581 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 582 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 583 | -150 | -148.426805 | |||||||
| 584 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 585 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 586 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 587 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 588 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 589 | -150 | -148.413373 | |||||||
| 590 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 591 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 592 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 593 | -150 | -148.37981 | |||||||
| 594 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 595 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 596 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 597 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 598 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 599 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 600 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 601 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 602 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 603 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 604 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 605 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 606 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 607 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 608 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 609 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 610 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 611 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 612 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 613 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 614 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 615 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 616 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 617 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 618 | -150 | -148.312674 | |||||||
| 619 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 620 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 621 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 622 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 623 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 624 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 625 | -150 | -148.312674 | |||||||
| 626 | -150 | -148.366377 | |||||||
| 627 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 628 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 629 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 630 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 631 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 632 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 633 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 634 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 635 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 636 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 637 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 638 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 639 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 640 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 641 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 642 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 643 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 644 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 645 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 646 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 647 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 648 | -150 | -148.305958 | |||||||
| 649 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 650 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 651 | -150 | -148.312674 | |||||||
| 652 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 653 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 654 | -150 | -148.35967 | |||||||
| 655 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 656 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 657 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 658 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 659 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 660 | -150 | -148.373093 | |||||||
| 661 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 662 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 663 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 664 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 665 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 666 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 667 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 668 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 669 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 670 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 671 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 672 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 673 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 674 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 675 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 676 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 677 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 678 | -150 | -148.332814 | |||||||
| 679 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 680 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 681 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 682 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 683 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 684 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 685 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 686 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 687 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 688 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 689 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 690 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 691 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 692 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 693 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 694 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 695 | -150 | -148.285818 | |||||||
| 696 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 697 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 698 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 699 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 700 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 701 | -150 | -148.346237 | |||||||
| 702 | -150 | -148.312674 | |||||||
| 703 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 704 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 705 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 706 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 707 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 708 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 709 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 710 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 711 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 712 | -150 | -148.326098 | |||||||
| 713 | -150 | -148.312674 | |||||||
| 714 | -150 | -148.352954 | |||||||
| 715 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 716 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 717 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 718 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 719 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 720 | -150 | -148.319391 | |||||||
| 721 | -150 | -148.299251 | |||||||
| 722 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 723 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 724 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 725 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 726 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 727 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 728 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 729 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 730 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 731 | -150 | -148.33953 | |||||||
| 732 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 733 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 734 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 735 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 736 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 737 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 738 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 739 | -150 | -148.292535 | |||||||
| 740 | -150 | -148.211976 | |||||||
| 741 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 742 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 743 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 744 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 745 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 746 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 747 | -150 | -148.218683 | |||||||
| 748 | -150 | -148.265679 | |||||||
| 749 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 750 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 751 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 752 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 753 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 754 | -150 | -148.211976 | |||||||
| 755 | -150 | -148.218683 | |||||||
| 756 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 757 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 758 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 759 | -150 | -148.272395 | |||||||
| 760 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 761 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 762 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 763 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 764 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 765 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 766 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 767 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 768 | -150 | -148.279112 | |||||||
| 769 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 770 | -150 | -148.191837 | |||||||
| 771 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 772 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 773 | -150 | -148.218683 | |||||||
| 774 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 775 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 776 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 777 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 778 | -150 | -148.178404 | |||||||
| 779 | -150 | -148.178404 | |||||||
| 780 | -150 | -148.258962 | |||||||
| 781 | -150 | -148.20526 | |||||||
| 782 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 783 | -150 | -148.178404 | |||||||
| 784 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 785 | -150 | -148.245539 | |||||||
| 786 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 787 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 788 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 789 | -150 | -148.232116 | |||||||
| 790 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 791 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 792 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 793 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 794 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 795 | -150 | -148.191837 | |||||||
| 796 | -150 | -148.238823 | |||||||
| 797 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 798 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 799 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 800 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 801 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 802 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 803 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 804 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 805 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 806 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 807 | -150 | -148.252256 | |||||||
| 808 | -150 | -148.218683 | |||||||
| 809 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 810 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 811 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 812 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 813 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 814 | -150 | -148.18512 | |||||||
| 815 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 816 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 817 | -150 | -148.097845 | |||||||
| 818 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 819 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 820 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 821 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 822 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 823 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 824 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 825 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 826 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 827 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 828 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 829 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 830 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 831 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 832 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 833 | -150 | -148.211976 | |||||||
| 834 | -150 | -148.178404 | |||||||
| 835 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 836 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 837 | -150 | -148.151548 | |||||||
| 838 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 839 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 840 | -150 | -148.211976 | |||||||
| 841 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 842 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 843 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 844 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 845 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 846 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 847 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 848 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 849 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 850 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 851 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 852 | -150 | -148.084422 | |||||||
| 853 | -150 | -148.111269 | |||||||
| 854 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 855 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 856 | -150 | -148.138125 | |||||||
| 857 | -150 | -148.225399 | |||||||
| 858 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 859 | -150 | -148.158264 | |||||||
| 860 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 861 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 862 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 863 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 864 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 865 | -150 | -148.144841 | |||||||
| 866 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 867 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 868 | -150 | -148.104562 | |||||||
| 869 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 870 | -150 | -148.198543 | |||||||
| 871 | -150 | -148.124701 | |||||||
| 872 | -150 | -148.117985 | |||||||
| 873 | -150 | -148.091129 | |||||||
| 874 | -150 | -148.131408 | |||||||
| 875 | -150 | -148.097845 | |||||||
| 876 | -150 | -148.171697 | |||||||
| 877 | -150 | -148.191837 | |||||||
| 878 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 879 | -150 | -148.164981 | |||||||
| 880 | -150 | -148.104562 | |||||||
| 881 | -150 | -148.091129 | |||||||